公开(公告)号：CN109884342A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201811311158.5

申请日：2018-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴德满 ,  柳成润 ,  孙荣薰 ,  全忠森 ,  池仑庭

IPC: G01Q30/00

Abstract: 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。

公开(公告)号：CN107782742A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201710606610.X

申请日：2017-07-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳成润 ,  全忠森 ,  梁裕信 ,  池仑庭 ,  宋吉宇

IPC: G01N21/95

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06K9/00013 ,  G06K9/00624 ,  G06K9/2018 ,  G06K9/4604 ,  H01L21/77 ,  H01L22/14 ,  H01L22/20 ,  H01L22/26 ,  H01L22/34 ,  G01N21/9501

Abstract: 提供了检查表面的方法和制造半导体器件的方法。所述的方法包括：制备基板；通过设定成像光学系统的放大倍率选择第一光学装置的空间分辨率；朝向基板的第一测量区域发射多波长光并获得第一特定波长图像；基于第一特定波长图像，产生第一光谱数据；基于第一特定波长图像，产生各个像素的第一光谱数据；以及从第一光谱数据提取具有第一测量区域或更小的范围的至少一个第一检查区域的光谱；以及分析该光谱。第一光学装置包括光源、物镜、检测器和成像光学系统。获得第一特定波长图像包括使用成像光学系统和检测器。

公开(公告)号：CN109884342B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN201811311158.5

申请日：2018-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴德满 ,  柳成润 ,  孙荣薰 ,  全忠森 ,  池仑庭

IPC: G01Q30/00

Abstract: 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。

公开(公告)号：CN107782742B

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN201710606610.X

申请日：2017-07-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳成润 ,  全忠森 ,  梁裕信 ,  池仑庭 ,  宋吉宇

IPC: G01N21/95

Abstract: 提供了检查表面的方法和制造半导体器件的方法。所述的方法包括：制备基板；通过设定成像光学系统的放大倍率选择第一光学装置的空间分辨率；朝向基板的第一测量区域发射多波长光并获得第一特定波长图像；基于第一特定波长图像，产生第一光谱数据；基于第一特定波长图像，产生各个像素的第一光谱数据；以及从第一光谱数据提取具有第一测量区域或更小的范围的至少一个第一检查区域的光谱；以及分析该光谱。第一光学装置包括光源、物镜、检测器和成像光学系统。获得第一特定波长图像包括使用成像光学系统和检测器。