公开(公告)号：CN109884342B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN201811311158.5

申请日：2018-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴德满 ,  柳成润 ,  孙荣薰 ,  全忠森 ,  池仑庭

IPC: G01Q30/00

Abstract: 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。

公开(公告)号：CN109884342A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201811311158.5

申请日：2018-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴德满 ,  柳成润 ,  孙荣薰 ,  全忠森 ,  池仑庭

IPC: G01Q30/00

Abstract: 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。