半导体工艺装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117497387A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202310902429.9

    申请日:2023-07-21

    Abstract: 半导体工艺装置包括限定内部区域的室壳体和位于内部区域内的多个静电卡盘。室壳体包括窗和光收集单元,光收集单元包括位于窗上的不同的位置处的第一光学系统和第二光学系统。多个第一光学拾取单元连接到第一光学系统,并且多个第二光学拾取单元连接到第二光学系统。传感器包括多个光电检测器,多个光电检测器被配置为将由多个第一光学拾取单元传输的第一光学信号和由多个第二光学拾取单元传输的第二光学信号转换为电信号。处理器被配置为利用由多个光电检测器输出的电信号来生成室壳体的内部区域的空间图像,并且基于空间图像确定室壳体的内部区域中发生电弧的位置。

    电子设备及控制该电子设备的方法

    公开(公告)号:CN102103458A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN201010255264.3

    申请日:2010-08-13

    Inventor: 朴容范

    CPC classification number: G06F3/0482

    Abstract: 一种电子设备和控制该电子设备的方法。所述设备和方法允许容易地滚动文件和目录。所述电子设备优选地包括:显示器;存储单元,存储按目录分类的多个文件;输入单元,从用户接收输入;控制器,控制显示器显示选择的第一目录和第一目录的内容的显示,并显示除第一目录之外的与沿用户输入的方向的浏览对应的至少一个第二目录。

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