微光刻处理的辐射束特性控制方法和系统

    公开(公告)号:CN1894630B

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN200480037132.6

    申请日:2004-10-13

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 公开了用于控制引导到微光刻工件上的辐射的特性的方法和装置。根据本发明一个实施例的装置包括被定位以将辐射束向着工件引导的辐射源,其中辐射束具有幅度分布、相位分布和偏振分布。自适应结构可以位于辐射束的路径中,并且可以具有多个独立可控、且可选择性透射辐射的元件,其中每一元件被配置为改变辐射束的幅度分布、相位分布和偏振分布中至少一个。控制器可以可操作地连接到自适应结构,以引导自适应结构的元件从一个状态改变为多个其他状态之一。因此,自适应结构可以提供具有多个辐射束特性的多个连续可变分布的辐射束。

    具有多读出电路的节电器

    公开(公告)号:CN1922862B

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN200480042183.8

    申请日:2004-12-16

    摘要: 具有开关电路的成像器,该开关电路位于像素阵列及相应的读出电路之间,并且与所述像素阵列及相应的读出电路相连接。在一个实施例中,所述开关位于列采样保持电路之中;在另一个实施例中,所述开关位于列采样保持电路与读出电路之间。所述开关电路可保证将来自于列采样保持电路的信号导入被激活的读出电路中,其允许选择性地激活、禁止读出电路。通过禁止读出电路,可以减少所述成像器的电力损耗。

    具有状态脉冲串输出的同步快闪存储器

    公开(公告)号:CN101930794A

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN200910221782.0

    申请日:2001-07-27

    IPC分类号: G11C11/4094

    摘要: 公开了一种具有状态脉冲串输出的同步快闪存储器,同步快闪存储器包括非易失性存储单元的阵列。存储器阵列被排列成行和列,以及可被进一步排列成可寻址的块。数据通信连接被使用来与外部设备(诸如,处理器或其他存储器控制器)进行双向数据通信。存储器可以在一系列时钟周期期间在数据通信连接上输出来自存储寄存器的数据,以提供寄存器数据的脉冲串。存储器可以按照规定的时钟等待时间值提供寄存器数据。寄存器数据可包括状态数据、操作设置值数据、制造识别、和存储器器件识别。