公开(公告)号：CN1809737A

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：CN200480017295.8

申请日：2004-06-10

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  杉山一彦 ,  日野昭一 ,  高桥荣治 ,  三枝慎 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  上野山丰己 ,  杉田胜幸

IPC: G01L19/02 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L19/02 ,  G01L9/065 ,  G01L19/0023 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正，能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说，作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器，将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出，并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构，在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值，进而在所述时效零点漂移修正机构的动作条件判定机构中对压力传感器的动作条件进行判定，当所述传感器输出电压大于设定值且压力传感器的动作条件处于预先设定的动作条件下时，通过D/A转换器将与所述传感器的输出电压大小相等而极性相反的零点修正用电压输入给所述放大器的补偿端子，将压力传感器的时效零点漂移消除。

公开(公告)号：CN1149342C

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN98801149.2

申请日：1998-08-13

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘 ,  东京电子株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  加贺爪哲 ,  杉山一彦 ,  深田収 ,  尾泽进 ,  佐藤义浩 ,  土肥亮介 ,  宇野富雄 ,  西野功二 ,  福田浩幸 ,  池田信一 ,  山路道雄

IPC: F15D1/08 ,  B23P15/16

CPC classification number: G01F1/40 ,  G05D7/0186

Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔，节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2，该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中，将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状；并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4，该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。

公开(公告)号：CN1376914A

公开(公告)日：2002-10-30

申请号：CN02107863.7

申请日：2002-03-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 米华克典 ,  皆见幸男 ,  森本明弘 ,  川田幸司 ,  本井傅晃央 ,  中村修 ,  平井畅 ,  池田信一

IPC: G01N27/16

CPC classification number: G01N25/36 ,  G01N25/28 ,  G01N27/16

Abstract: 一种未反应气体检测装置,可准确地检测出残留在目标气体中的可燃性未反应气体浓度,安全地供应原料气体。本发明的未反应气体检测装置40包括:炉主体;与炉主体相连接的传感器主体44;形成于该传感器主体44内,使上述目标气体流通的测定用空间46;具有促进反应用的催化剂层74的温度测定部72c的;设有温度测定部70c的目标气体温度检测传感器70。利用上述促进反应用催化剂层74使残留于目标气体中的未反应气体反应,检测温度测定部72c的温度上升情况,同时用上述温度测定部70c测定目标气体温度To,根据未反应气体检测传感器温度T与目标气体温度之温度差ΔT(=T－To)检测未反应气体浓度。

公开(公告)号：CN1316044A

公开(公告)日：2001-10-03

申请号：CN00801268.7

申请日：2000-09-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 池田信一 ,  森本明弘 ,  皆见幸男 ,  本井傅晃央 ,  川田幸司 ,  米华克典 ,  平井畅 ,  山路道雄

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/14

CPC classification number: B01D53/26 ,  F17D3/14

Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法,其特征为,将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力,并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外,所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气,则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。

公开(公告)号：CN110178002B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201780080827.X

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F23/22 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448 ,  G05D9/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。

公开(公告)号：CN109416275B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201780019538.9

申请日：2017-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34 ,  G01F1/42

Abstract: 本发明提供一种流量控制设备的校正方法，其基于与由流量基准器测量的流量的比较进行流量校正，针对多个流量设定而设定规定容许误差范围，将多个流量设定的中的至少一个特定流量设定的容许误差范围，设定为小于规定容许误差范围。

公开(公告)号：CN107850533B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201680025146.9

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/03

Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。

公开(公告)号：CN110892357A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201880046755.1

申请日：2018-07-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 山下哲 ,  泽田洋平 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种流体控制系统(1)，具备：第一阀(21)，其设置于流量控制器(10)的下游侧；流量测定装置(30)，其设置在第一阀(21)的下游侧并具有第二阀(22)；开闭检测器(26)，其设置于第二阀(22)；以及控制部(25)，其控制第一阀(21)和第二阀(22)的开闭动作，控制部(25)根据开闭检测器(26)输出的信号控制第一阀(21)的开闭。

公开(公告)号：CN110431508A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201880018971.5

申请日：2018-03-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉田胜幸 ,  平田薰 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  泷本昌彦 ,  今井嵩浩 ,  小川慎也

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，具备：节流部；设置于节流部的上游侧的控制阀；检测节流部与控制阀之间的压力的上游压力传感器；以及与控制阀以及上游压力传感器连接的运算处理电路，压力式流量控制装置以如下方式构成：基于上游压力传感器的输出来进行控制阀的控制，由此进行流量控制，运算处理电路以如下方式构成：在为了使流过节流部的流体的流量降低而进行将控制阀关闭的动作时，通过反馈控制来进行将控制阀关闭的动作，反馈控制是将比气体从节流部流出时的压力下降特性数据还平缓的指数函数作为目标值。

公开(公告)号：CN110114601A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780080823.1

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  川田幸司 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/02 ,  F16K37/00 ,  G05D7/06

Abstract: 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。