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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109791415A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780037989.5
申请日：2017-10-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 流体控制装置(1)具备：主体块体(10)，其具有通用流入口(11)、通用流出口(12)、与通用流入口以及通用流出口连通的第一流路(F1)以及第二流路(F2)；以及安装于主体块体的安装面的第一流体控制单元(20a)和第二流体控制单元(20b)，第一流路和第二流路在从安装面的法线方向(D3)观察时，包含：沿着第一方向(D1)延伸的第一流路部分(13)；以及沿着与第一方向正交的第二方向(D2)延伸的第二流路部分(14)，第二流路部分由从主体块体的侧面沿着第二方向延伸的孔部(14’)和堵塞孔部的开口部的封闭部件(15)形成。
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公开(公告)号：CN110431508A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880018971.5
申请日：2018-03-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，具备：节流部；设置于节流部的上游侧的控制阀；检测节流部与控制阀之间的压力的上游压力传感器；以及与控制阀以及上游压力传感器连接的运算处理电路，压力式流量控制装置以如下方式构成：基于上游压力传感器的输出来进行控制阀的控制，由此进行流量控制，运算处理电路以如下方式构成：在为了使流过节流部的流体的流量降低而进行将控制阀关闭的动作时，通过反馈控制来进行将控制阀关闭的动作，反馈控制是将比气体从节流部流出时的压力下降特性数据还平缓的指数函数作为目标值。
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公开(公告)号：CN108139760A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680042129.6
申请日：2016-10-24
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种适用于通过控制节流部的上游侧的压力来控制流量的压力式流量控制装置的流量信号补正方法，其包括：基于设置于节流部的上游侧的压力传感器的输出而生成表示流量的一次信号的步骤；和以用一次信号的当前值和包含一次信号的单个或多个过去值的信息的值，导出通过规定的关系式补正过的当前值的方式，生成作为一次信号的补正信号的二次信号的步骤，在流量稳定期间将二次信号作为流量信号输出，在过渡变化期间不将二次信号作为流量信号输出。
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公开(公告)号：CN109791099B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN109791099A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
CPC classification number: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
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