公开(公告)号：CN107850533A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680025146.9

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/03

Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。

公开(公告)号：CN108139760A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680042129.6

申请日：2016-10-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉田胜幸 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  平田薰 ,  泷本昌彦 ,  河岛将慈 ,  今井嵩浩

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种适用于通过控制节流部的上游侧的压力来控制流量的压力式流量控制装置的流量信号补正方法，其包括：基于设置于节流部的上游侧的压力传感器的输出而生成表示流量的一次信号的步骤；和以用一次信号的当前值和包含一次信号的单个或多个过去值的信息的值，导出通过规定的关系式补正过的当前值的方式，生成作为一次信号的补正信号的二次信号的步骤，在流量稳定期间将二次信号作为流量信号输出，在过渡变化期间不将二次信号作为流量信号输出。

公开(公告)号：CN107923841B

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN201680025238.7

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/05

Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。

公开(公告)号：CN112470093A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980043297.0

申请日：2019-07-16

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  山下哲 ,  河岛将慈 ,  泷本昌彦 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3)，具备：记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31)；存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32)；和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33)，其中，第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭，此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2)，第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭，此后，经过规定时间(Δt)后，将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。

公开(公告)号：CN107850533B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201680025146.9

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/03

Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。

公开(公告)号：CN107923841A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680025238.7

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/05

CPC classification number: G01N21/3103 ,  G01J3/10 ,  G01J3/42 ,  G01N21/33 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/157 ,  G01N2021/3133 ,  G01N2201/0627 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/1211

Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。