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公开(公告)号：CN104019940A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277199.2
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
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公开(公告)号：CN103869833A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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公开(公告)号：CN103309355A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310187795.7
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/00
Abstract: 多轴支撑气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它首先设定质心偏移量阈值，然后将质心偏移量G(x0，y0)与质心偏移量阈值进行比较，当质心偏移量G(x0，y0)小于质心偏移量阈值时，对支撑腿的伸缩长度进行补偿；当质心偏移量G(x0，y0)大于质心偏移量阈值时，通过控制气足的喷嘴喷气使承载平台在水平混凝土基座上平动，跟随承载平台上负载的运动以调整相对位移量(x2，y2)，直到将质心偏移量G(x0，y0)调至质心偏移量阈值范围之内。本发明用于气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控。
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公开(公告)号：CN103279034A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310179857.X
申请日：2013-05-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种分数阶鲁棒控制器的参数整定方法，本发明属于分数阶自动控制技术领域，主要涉及的是一种PDμ结构的分数阶鲁棒控制器的参数整定方法。本发明是要解决现有方法由于不确定因素的影响使得常规的PD控制不能达到满意效果的问题。一、给定待整定系统的各项参数；二、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(1)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；三、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(2)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；四、利用图解法求出步骤二和步骤三所确定的曲线的交点坐标(μ，Kd)；五、将步骤四所求得的Kd和μ代入公式(3)求出Kp。本发明应用于分数阶自动控制技术领域。
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公开(公告)号：CN103277644A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310187887.5
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/32
Abstract: 多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103268381A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN117850316B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410024802.X
申请日：2024-01-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台的柔性模态抑制方法，属于半导体制造装备及运动台振动抑制领域。方法步骤是：步骤一：建立运动台基于模态特性且包含时延的数学模型；步骤二：分解动态输入解耦矩阵，使其包含一个动态参数矩阵，实现刚性模态独立控制，仅针对柔性模态抑制需求对动态参数矩阵设计；步骤三：基于全通滤波的方法，将动态参数矩阵表示为两个全通滤波器的线性组合；步骤四：以满足每个柔性模态谐振频率点的零增益为优化目标，建立优化方程和约束条件，利用启发式智能优化算法对全通滤波器参数进行优化；步骤五：得到满足柔性模态抑制需求的动态输入解耦矩阵。本发明能够实现在有限执行器冗余度条件下对全频段所有可控柔性模态的高性能抑制。
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公开(公告)号：CN117792005B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311837698.8
申请日：2023-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K41/03 , H02K41/035 , H02K11/20 , H02K11/22 , H02K7/00 , H02P25/06 , H02P25/08 , H02P25/034 , H02P7/025 , H02P23/00 , H02P5/00
Abstract: 一种直线磁阻电机的高精度力测量装置及控制方法，属于高端装备技术领域。测量装置包括磁阻电机、音圈电机和运动平台，直线磁阻电机包括E型组件、I型组件和电机底座；运动平台包括运动平台底座、导套、导轨、台体及光栅尺；E型组件固定装在电机底座上，运动平台底座、导套和音圈电机定子均固定于运动平台底座上，导轨滑动穿出导套，导套设置在台体内，台体固定在导轨上；导轨两端分别与I型组件的I型电磁铁及音圈电机动子连接，I型电磁铁与E型组件的双极电磁铁之间设有磁铁间隙，光栅尺安装于导轨位于音圈电机这一端的底部。控制方法包含磁阻电机的磁通控制回路和音圈电机的位置控制回路。本发明能够实现直线磁阻电机的高精度力测量。
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公开(公告)号：CN117850316A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410024802.X
申请日：2024-01-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台的柔性模态抑制方法，属于半导体制造装备及运动台振动抑制领域。方法步骤是：步骤一：建立运动台基于模态特性且包含时延的数学模型；步骤二：分解动态输入解耦矩阵，使其包含一个动态参数矩阵，实现刚性模态独立控制，仅针对柔性模态抑制需求对动态参数矩阵设计；步骤三：基于全通滤波的方法，将动态参数矩阵表示为两个全通滤波器的线性组合；步骤四：以满足每个柔性模态谐振频率点的零增益为优化目标，建立优化方程和约束条件，利用启发式智能优化算法对全通滤波器参数进行优化；步骤五：得到满足柔性模态抑制需求的动态输入解耦矩阵。本发明能够实现在有限执行器冗余度条件下对全频段所有可控柔性模态的高性能抑制。
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公开(公告)号：CN117792005A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311837698.8
申请日：2023-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K41/03 , H02K41/035 , H02K11/20 , H02K11/22 , H02K7/00 , H02P25/06 , H02P25/08 , H02P25/034 , H02P7/025 , H02P23/00 , H02P5/00
Abstract: 一种直线磁阻电机的高精度力测量装置及控制方法，属于高端装备技术领域。测量装置包括磁阻电机、音圈电机和运动平台，直线磁阻电机包括E型组件、I型组件和电机底座；运动平台包括运动平台底座、导套、导轨、台体及光栅尺；E型组件固定装在电机底座上，运动平台底座、导套和音圈电机定子均固定于运动平台底座上，导轨滑动穿出导套，导套设置在台体内，台体固定在导轨上；导轨两端分别与I型组件的I型电磁铁及音圈电机动子连接，I型电磁铁与E型组件的双极电磁铁之间设有磁铁间隙，光栅尺安装于导轨位于音圈电机这一端的底部。控制方法包含磁阻电机的磁通控制回路和音圈电机的位置控制回路。本发明能够实现直线磁阻电机的高精度力测量。
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