一种多晶硅薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN103266352B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201310163296.4

    申请日:2013-05-06

    Abstract: 一种低成本高效多晶硅基薄膜的制备方法,属于晶硅薄膜太阳能电池领域。其工艺流程包括薄膜沉积和固相晶化两部分。首先,采用等离子增强型化学气相沉积法,在玻璃衬底上生长500-2000nm的前驱体硅基薄膜,通过调节反应气体中硅烷与氢气的比例,在薄膜内部引入不同含量的结晶成分;随后,将薄膜样品在500-600℃下退火处理4-12小时,薄膜内的非晶成分逐渐晶化,最终得到结晶性良好的多晶硅薄膜材料。本发明中,由于在前驱体硅基薄膜内引入结晶成分,固相晶化过程中不需要形核,有效降低了薄膜的晶化温度,缩短了晶化所需时间。

    同时具有上下转光的高透非晶氟化物薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN102719252B

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201210193736.6

    申请日:2012-06-12

    CPC classification number: Y02E10/52

    Abstract: 一种同时具有上下转光的高透非晶氟化物薄膜及其制备方法,属于固体发光材料领域。薄膜的材料组成为:YbF3、ErF3,其中ErF3摩尔分数为0.5%~15%。制备方法是在YbF3粉体中加入ErF3粉体,球磨混合,烘干后压片,并用碳包覆的方法在600℃~750℃煅烧6h~8h,烧制成陶瓷靶材;利用电子束沉积方法:以硅片和石英为衬底,在真空条件下,衬底温度为400℃~500℃,靶间距为25cm~32cm,沉积束流为3mA~6mA,沉积时间为15min~90min。非晶薄膜实现上下转换两种机制的结合,有效地把紫外光波段(300nm~400nm)和红外光波段(980nm附近)转换到可见光波段(656nm附近),薄膜透过率均在95%以上,有望应用到太阳能电池提高其光电效率。

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