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公开(公告)号:CN106876441A
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201710087046.5
申请日:2017-02-17
IPC: H01L29/06
Abstract: 本发明公开一种具有固定界面电荷场限环的功率器件,包括场氧层和有源层,场氧层位于有源层之上。场氧层内设有至少1个固定界面电荷区,该固定界面电荷区位于场氧层的下部,并与场氧层的下表面即场氧层和有源层的交界面相接触。本发明能够克服现有功率器件的FLR区中的杂质扩散而导致的击穿电压下降和器件失效的问题,并有效提高了器件的击穿电压和改善了有源层表面的电场分布,使得电场分布更加均匀。
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公开(公告)号:CN106783613A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201710026316.1
申请日:2017-01-13
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H01L21/335 , H01L29/778 , H01L29/06 , H01L29/20
CPC classification number: H01L29/66431 , H01L29/0684 , H01L29/20 , H01L29/7786
Abstract: 本发明公开一种III‑V族半导体MOSHEMT器件及其制备方法,其组分渐变缓冲层降低III‑V半导体之间晶格失配,减少位错引进的缺陷。同时该器件结构不仅降低MOS界面态密度,并且通过对外延材料采用高In组分In0.7Ga0.3As/In0.6Ga0.4As/In0.5Ga0.5As复合沟道设计以及势垒层和缓冲层平面处的双掺杂设计充分的提高了2‑DEG的浓度与电子迁移率,降低了沟道的方块电阻。本发明具有二维电子气浓度高、沟道电子迁移率大、器件特征频率和振荡频率高和制造工艺简单易于实现等特点。
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公开(公告)号:CN119644616A
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202411886792.7
申请日:2024-12-20
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明涉及电光调制器技术领域,具体涉及一种下沉式双层电极铌酸锂电光调制器,包括衬底、氧化层、光波导、过渡层和金属电极;所述衬底位于最下方,所述氧化层位于所述衬底的顶部,所述光波导、过渡层和金属电极均设置在所述氧化层的上方,光波导为X型切割LN薄膜,采用传统的脊状结构,金属电极为双层电极结构,包括一层的行波电极与二层的T型结构电极,可有效降低损耗,提高调制效率。为了减少光吸收损耗,使用0.2um的二氧化硅过渡层分隔金属电极和光波导,金属电极沿光波导的Z轴排列,下沉式双层电极铌酸锂电光调制器在0.14dB/cm的光吸收损耗下实现了1.52V·cm的半波电压长度积,对电光调制器的设计具有重要的指导意义。
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公开(公告)号:CN117497593A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202311460353.5
申请日:2023-11-06
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H01L29/78 , H01L29/423 , H01L29/06
Abstract: 本发明公开一种高密度倾斜沟道功率半导体器件,在现有功率半导体器件的沟道区内开设有至少一个倒V形的嵌入槽;嵌入槽纵向贯通沟道区,即嵌入槽的上表面与沟道区的上表面相平,嵌入槽的下表面与沟道区的下表面相平;嵌入槽的整个内侧表面覆有绝缘介质,嵌入槽内填充有栅极介质;填充在嵌入槽内的栅极介质形成嵌入栅,嵌入栅的上表面直接与环表面栅连接,嵌入栅的下表面通过绝缘介质与埋氧层连接。本发明利用倒V形的嵌入栅的倾斜交叉结构提高有效沟道长度以及宽度,降低器件的导通电阻,提高整体导通性能,实现沟道区的三维完全包裹。
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公开(公告)号:CN117276316A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202311429491.7
申请日:2023-10-31
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/423 , H01L29/78
Abstract: 本发明公开一种褶皱环栅SOI LDMOS器件,利用环表面栅、埋栅和槽栅共同形成褶皱环栅结构,这样的褶皱环栅结构显著增加了SOI LDMOS器件沟道的有效长度以及宽度,缓解了因沟道长度和宽度的限制所导致的器件的耐压和导通电阻之间的矛盾,在耐压的前提下,有效地降低了器件的导通电阻,提高整体导通性能,同时能够增加电流通量,并提供更好的热传导和散热能力,对于器件性能的改善具有重要意义。此外,该褶皱环栅结构与传统功率集成电路工艺兼容,在一定程度上解决了沟道宽度较小的SOI LDMOS器件在工艺上的挑战,适合SOI智能功率集成电路的发展要求。
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公开(公告)号:CN108306622B
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN201810384680.X
申请日:2018-04-26
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提出S波段宽带MMIC低噪声放大器,包括两级放大器:第一级场效应晶体管放大器、第一级栅极偏置网络、第一级漏极偏置网络、与第一级场效应晶体管放大器串联的第一传输线网、第二级场效应晶体管放大器、第二级栅极偏置网络和第二级漏极偏置网络;三级匹配网络:输入级匹配网络、级间匹配网络以及输出级匹配网络。本发明在第二级场效应晶体管源漏级并联负反馈网络,反馈网络的反馈电阻调节了放大器的增益,反馈网络的电容同时调节了信号的幅度和相位,还起到了直流隔离的作用。使得在较宽的频带内保持良好的增益平坦度,显著提高了低噪声放大器的线性度,降低了噪声系数。
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公开(公告)号:CN116590660A
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202310524470.7
申请日:2023-05-10
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本申请提供一种能够增强氧化镓紫外吸光度的制备方法及根据该方法制备的氧化镓材料,先在一衬底上通过磁控溅射的方式生长一层能产生紫外吸收的氧化镓薄膜,对氧化镓薄膜进行退火处理,再将氧化镓薄膜通过磁控溅射的方式生长一层铜薄膜,然后进行快速退火,使得铜薄膜受热量作用而裂成铜纳米粒子。该制备方法利用铜纳米粒子来增强氧化镓的紫外吸光性能,工艺步骤简单,易操作,进而有效降低制备成本,且通过该制备方法制备的氧化镓材料紫外吸光度提升效果显著。
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公开(公告)号:CN116299827A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310249284.7
申请日:2023-03-15
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G02B5/30
Abstract: 本发明公开了基于金棒和金孔阵列复合结构的中红外偏振转换器,由二氧化硅衬底和上层金棒—蜂窝状金孔阵列复合的超表面结构组成的。本发明可以实现线偏振—圆偏振光和圆偏振—圆偏振光的转换,具有较高的偏振转换率(PCR),这为高性能偏振操纵器件的设计提供了可靠的结果;此外还发现了一些关于金棒旋转角度(θ)与手性之间的规律,为手性传感的设计也提供而一些方法。本发明新颖的结构设计和优异的性能,有望广泛应用于今后微纳偏振操纵器件的设计中。
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公开(公告)号:CN106783613B
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN201710026316.1
申请日:2017-01-13
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H01L21/335 , H01L29/778 , H01L29/06 , H01L29/20
Abstract: 本发明公开一种III‑V族半导体MOSHEMT器件及其制备方法,其组分渐变缓冲层降低III‑V半导体之间晶格失配,减少位错引进的缺陷。同时该器件结构不仅降低MOS界面态密度,并且通过对外延材料采用高In组分In0.7Ga0.3As/In0.6Ga0.4As/In0.5Ga0.5As复合沟道设计以及势垒层和缓冲层平面处的双掺杂设计充分的提高了2‑DEG的浓度与电子迁移率,降低了沟道的方块电阻。本发明具有二维电子气浓度高、沟道电子迁移率大、器件特征频率和振荡频率高和制造工艺简单易于实现等特点。
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公开(公告)号:CN112130238B
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202011057874.2
申请日:2020-09-30
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G02B5/00
Abstract: 本发明涉及一种基于阵列等离子体柱的可调谐光开关,解决的是法诺共振频率不可控和通过几何参数调节法诺共振时出现的可调自由度小的技术问题,从而使得光开关能够在不改变结构几何参数的情况下实现共振峰的连续动态可调,实现多阈值光开关,通过采用包括厚度小于工作波长的超表面,超表面为规则的几何形状,超表面内平行等间距分布有至少3个等离子体柱;等离子体柱的材质为包层石英管和填充的惰性气体;利用米氏散射理论获得单个等离子体柱的米氏散射系数以确定米式共振频率,再阵列等离子体柱获得布拉格散射,使米氏散射与布拉格散射相干涉产生法诺共振现象的技术方案,较好的解决了该问题,可用于光开关领域中。
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