一种下沉式双层电极铌酸锂电光调制器

    公开(公告)号:CN119644616A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411886792.7

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本发明涉及电光调制器技术领域,具体涉及一种下沉式双层电极铌酸锂电光调制器,包括衬底、氧化层、光波导、过渡层和金属电极;所述衬底位于最下方,所述氧化层位于所述衬底的顶部,所述光波导、过渡层和金属电极均设置在所述氧化层的上方,光波导为X型切割LN薄膜,采用传统的脊状结构,金属电极为双层电极结构,包括一层的行波电极与二层的T型结构电极,可有效降低损耗,提高调制效率。为了减少光吸收损耗,使用0.2um的二氧化硅过渡层分隔金属电极和光波导,金属电极沿光波导的Z轴排列,下沉式双层电极铌酸锂电光调制器在0.14dB/cm的光吸收损耗下实现了1.52V·cm的半波电压长度积,对电光调制器的设计具有重要的指导意义。

    一种高密度倾斜沟道功率半导体器件

    公开(公告)号:CN117497593A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311460353.5

    申请日:2023-11-06

    Abstract: 本发明公开一种高密度倾斜沟道功率半导体器件,在现有功率半导体器件的沟道区内开设有至少一个倒V形的嵌入槽;嵌入槽纵向贯通沟道区,即嵌入槽的上表面与沟道区的上表面相平,嵌入槽的下表面与沟道区的下表面相平;嵌入槽的整个内侧表面覆有绝缘介质,嵌入槽内填充有栅极介质;填充在嵌入槽内的栅极介质形成嵌入栅,嵌入栅的上表面直接与环表面栅连接,嵌入栅的下表面通过绝缘介质与埋氧层连接。本发明利用倒V形的嵌入栅的倾斜交叉结构提高有效沟道长度以及宽度,降低器件的导通电阻,提高整体导通性能,实现沟道区的三维完全包裹。

    一种褶皱环栅SOI LDMOS器件
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117276316A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311429491.7

    申请日:2023-10-31

    Abstract: 本发明公开一种褶皱环栅SOI LDMOS器件,利用环表面栅、埋栅和槽栅共同形成褶皱环栅结构,这样的褶皱环栅结构显著增加了SOI LDMOS器件沟道的有效长度以及宽度,缓解了因沟道长度和宽度的限制所导致的器件的耐压和导通电阻之间的矛盾,在耐压的前提下,有效地降低了器件的导通电阻,提高整体导通性能,同时能够增加电流通量,并提供更好的热传导和散热能力,对于器件性能的改善具有重要意义。此外,该褶皱环栅结构与传统功率集成电路工艺兼容,在一定程度上解决了沟道宽度较小的SOI LDMOS器件在工艺上的挑战,适合SOI智能功率集成电路的发展要求。

    一种S波段宽带MMIC低噪声放大器

    公开(公告)号:CN108306622B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN201810384680.X

    申请日:2018-04-26

    Abstract: 本发明提出S波段宽带MMIC低噪声放大器,包括两级放大器:第一级场效应晶体管放大器、第一级栅极偏置网络、第一级漏极偏置网络、与第一级场效应晶体管放大器串联的第一传输线网、第二级场效应晶体管放大器、第二级栅极偏置网络和第二级漏极偏置网络;三级匹配网络:输入级匹配网络、级间匹配网络以及输出级匹配网络。本发明在第二级场效应晶体管源漏级并联负反馈网络,反馈网络的反馈电阻调节了放大器的增益,反馈网络的电容同时调节了信号的幅度和相位,还起到了直流隔离的作用。使得在较宽的频带内保持良好的增益平坦度,显著提高了低噪声放大器的线性度,降低了噪声系数。

    一种基于阵列等离子体柱的可调谐光开关

    公开(公告)号:CN112130238B

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202011057874.2

    申请日:2020-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种基于阵列等离子体柱的可调谐光开关,解决的是法诺共振频率不可控和通过几何参数调节法诺共振时出现的可调自由度小的技术问题,从而使得光开关能够在不改变结构几何参数的情况下实现共振峰的连续动态可调,实现多阈值光开关,通过采用包括厚度小于工作波长的超表面,超表面为规则的几何形状,超表面内平行等间距分布有至少3个等离子体柱;等离子体柱的材质为包层石英管和填充的惰性气体;利用米氏散射理论获得单个等离子体柱的米氏散射系数以确定米式共振频率,再阵列等离子体柱获得布拉格散射,使米氏散射与布拉格散射相干涉产生法诺共振现象的技术方案,较好的解决了该问题,可用于光开关领域中。

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