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公开(公告)号：CN110234965A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201880009200.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。
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公开(公告)号：CN109791099A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
CPC classification number: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN109564119A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780032215.3
申请日：2017-08-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1-X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。
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公开(公告)号：CN109477791A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780018319.9
申请日：2017-07-25
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供了一种浓度测定装置(100)，具备：测定单元(4)，其具有被测定流体的流路(4c)和与流路连接的透光性的窗部(3)；光源(1)，其发射经由窗部向测定单元入射的光；反射部件(5)，其反射在测定单元内传播的光并使反射的光经由窗部从测定单元射出；光检测器(7)，其检测从测定单元的窗部射出的光；运算部(8)，其基于光检测器的检测信号计算被测定流体的浓度；和光学设备(10)，其将从光源发射的光向测定单元的窗部导光，并且将从测定单元的窗部射出的光向光检测器导光。
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公开(公告)号：CN109477586A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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公开(公告)号：CN105247433B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201480003757.4
申请日：2014-03-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F1/50 , G01F15/005 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供一种带流量监控器的流量控制装置，通过有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，将衰减式流量监控器部组合在压力式流量控制部的上游侧，能够接近于实时地进行流量监控，并且能够使用监控流量自动调整压力式流量控制部的设定流量，而且能够实现装置的大幅度小型化和低成本化。本发明由下述部件构成：设置在上游侧的衰减式流量监控器部(BDM)；设置在其下游侧的压力式流量控制部(FCS)；将衰减式流量监控器部(BDM)与压力式流量控制部(FCS)连结，并将衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)向压力式流量控制部(FCS)传输的信号传输电路(CT)；和设置于压力式流量控制部(FCS)，利用来自所述衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)调整压力式流量控制部(FCS)的设定流量(Qs)的流量设定值调整机构(QSR)。
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公开(公告)号：CN103493181B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201280020255.3
申请日：2012-02-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/4481 , C23C16/45557 , C23C16/52 , Y10T137/7837
Abstract: 本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。
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公开(公告)号：CN105179799A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510674731.9
申请日：2010-11-04
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , F16K49/00 , F16K37/00 , G05D7/06
Abstract: 本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN105102872A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480004462.9
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16L55/02718
Abstract: 本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P2/P1变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。
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