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公开(公告)号：CN102533148A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110354111.9
申请日：2011-11-10
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09J7/02 , C09J133/08 , C09J163/00 , C09J175/04 , C09J175/14 , H01L21/68 , H01L21/58
CPC classification number: H01L24/27 , H01L21/6836 , H01L24/29 , H01L24/83 , H01L2224/83191 , H01L2924/01012 , H01L2924/01029 , H01L2924/3512 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了切割芯片粘合膜、用于切割芯片粘合膜的组合物和半导体装置，且所述切割芯片粘合膜包括邻接基膜的第一表面(A)和邻接半导体晶片的第二表面(B)，其中所述第二表面具有高于所述第一表面的剥离强度，并具有0.2N/25mm或更高的剥离强度。所述切割芯片粘合膜与所述基膜接触的表面顺利分离，而不是与所述晶片接触的表面分离，从而表现出优异的拾取性能。
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公开(公告)号：CN102516503A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110305955.4
申请日：2007-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/091 , C08G61/02 , C08G61/10 , G03F7/11 , Y10S438/952
Abstract: 提供了芘主链聚合物和含有该芘主链聚合物的抗反射硬掩模组合物以及材料层的图案化方法。所述硬掩模组合物含有有机溶剂、引发剂、和由式C表示的芘主链聚合物，这些在说明书中有描述。本发明的硬掩模组合物可以用于提供以很高的纵横比图案化的多层薄膜，并且可以将良好的图像转移至下层。另外，通过旋转涂覆技术可以很容易地施覆组合物。
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公开(公告)号：CN101370854B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200780002634.9
申请日：2007-01-15
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L21/31144 , C08G77/20 , G03F7/0752 , G03F7/091 , H01L21/3121
Abstract: 根据本发明的一些实施方式，本发明提供了有机硅烷聚合物，该有机硅烷聚合物是通过使含有(a)至少一种式(I)的化合物Si(OR1)(OR2)(OR3)R4，其中R1、R2和R3可以各自独立地为烷基，且R4可以为-(CH2)nR5，其中R5为芳基或取代的芳基，且n可以为0或正整数；和(b)至少一种式(II)的化合物Si(OR6)(OR7)(OR8)R9，其中R6、R7和R8可以各自独立地为烷基或芳基，且R9可以为烷基的有机硅烷化合物反应而制备得到的。还提供了含有本发明实施方式的有机硅烷化合物或其水解产物的硬掩模组合物。还提供了使用本发明实施方式的硬掩模组合物制备半导体装置的方法，和由该硬掩模组合物制成的半导体装置。
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公开(公告)号：CN101452155B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200810185748.8
申请日：2008-12-08
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供了液晶取向剂、包括该液晶取向剂的液晶取向膜和LCD。所述液晶取向剂包括通过将如下化学式1的化合物和如下化学式2的化合物聚合得到的聚硅氧烷聚合物以及溶剂：化学式1是Si(R1)4，化学式2是(R3)3Si-(R2)n-Si(R3)3，其中R1至R3如说明书所定义。液晶取向剂具有大LCDTV所需的很多优点，例如长期可靠性、高电压保持率(VHR)、稳定的预倾角保持力，杰出的液晶取向性和化学抗性等，因此其可以为LCD提供较高显示质量。此外，由于缺陷印刷而需要再加工时，可以容易地通过溶剂除去该液晶取向剂。
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公开(公告)号：CN102060981A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010566229.3
申请日：2007-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本发明提供了说明书中描述的式3的含芳环的聚合物。本发明还提供了一种具有增透特性的硬掩膜组合物，该组合物含有所述含芳环的聚合物。该硬掩膜组合物适用于平版印刷工艺并且具有优异的光学特性和机械特性。另外，该组合物易于通过旋转涂布技术施用。特别地，该组合物对干蚀刻有很高的抗蚀性。因此，该组合物可用于提供形成高纵横比图案的多层薄膜。
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公开(公告)号：CN101747906A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910168291.4
申请日：2009-08-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C09K19/3809 , C08K5/1515 , C09K19/56 , Y10T428/10 , Y10T428/1005 , Y10T428/1018 , Y10T428/1023
Abstract: 本发明公开了一种液晶取向剂、液晶取向膜和包括该液晶取向膜的液晶显示器(LCD)。所述液晶取向剂包括聚酰胺酸、聚酰亚胺或它们的混合物的聚合物，以及由以下化学式1表示的环氧化合物。[化学式1]在以上化学式1中，各个取代基与说明书中限定的相同。
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公开(公告)号：CN101042533B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200710007513.5
申请日：2007-01-30
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075 , G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/26 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供了硬掩模组合物，该组合物含有通过一种或多种式(I)化合物的反应所制备的有机硅烷聚合物，其中，R1、R2和R3可以各自独立地为烷基、乙酰氧基或肟；且R4可以是氢、烷基、芳基或芳烷基；并且其中有机硅烷聚合物具有大约1.1至大约2的多分散性。Si(OR1)(OR2)(OR3)R4 (I)
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公开(公告)号：CN101506941A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200680055586.5
申请日：2006-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/31144 , C08G77/04 , C09D183/04 , H01L21/0276
Abstract: 本发明公开了一种用于处理抗蚀剂下层膜的硬掩模组合物。这种硬掩模组合物含有：(a)由[RO]3Si－R′(1)表示的化合物制备的含烷氧基有机硅烷聚合物(其中R是甲基或乙基，而R′是取代或未取代的环状或无环烷基)，或由式1的化合物和[RO]3Si－Ar(2)表示的化合物(其中R是甲基或乙基，而Ar是含芳环官能团)制备的含烷氧基有机硅烷聚合物；和(b)溶剂。该硬掩模组合物具有优良的膜特性。另外，该硬掩模组合物表现出优良的硬掩模特性，由此能够把好的图案有效地转印到材料层。特别地，该硬掩模组合物在储存期间是高度稳定的。进而本申请还公开了一种用于采用该硬掩模组合物生产半导体集成电路器件的方法。
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