-
公开(公告)号:CN102540724A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110238394.0
申请日:2011-08-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/312
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物,其包括:(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。
-
公开(公告)号:CN102566275A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110378325.X
申请日:2011-11-24
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明披露了一种正型光敏树脂组合物,包括(A)碱溶性树脂;(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂;(C)光敏性重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;和(E)溶剂,以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜,和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]
-
公开(公告)号:CN102102019A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN201010251042.4
申请日:2010-08-09
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337 , C08G73/10
CPC classification number: C09K19/56 , C08G73/1042 , C08L79/08 , Y10T428/1005 , Y10T428/1018 , Y10T428/1023
Abstract: 本发明公开了一种液晶光取向剂,所述液晶光取向剂包括:包括由以下化学通式1表示的光二胺衍生的第一结构单元和由以下化学通式2表示的第二结构单元的聚酰胺酸或聚酰亚胺,或者它们的聚合物化合物组合;和溶剂。[化学通式1][化学通式2]在化学通式1和2中,各取代基与详细说明书中限定的相同。
-
公开(公告)号:CN102566274B
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201110349054.5
申请日:2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物,包括:(A)碱溶性树脂;(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;和(E)溶剂,以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。
-
公开(公告)号:CN102566274A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110349054.5
申请日:2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物,包括:(A)碱溶性树脂;(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;和(E)溶剂,以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]
-
公开(公告)号:CN101747906A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910168291.4
申请日:2009-08-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C09K19/3809 , C08K5/1515 , C09K19/56 , Y10T428/10 , Y10T428/1005 , Y10T428/1018 , Y10T428/1023
Abstract: 本发明公开了一种液晶取向剂、液晶取向膜和包括该液晶取向膜的液晶显示器(LCD)。所述液晶取向剂包括聚酰胺酸、聚酰亚胺或它们的混合物的聚合物,以及由以下化学式1表示的环氧化合物。[化学式1]在以上化学式1中,各个取代基与说明书中限定的相同。
-
-
-
-
-