公开(公告)号：CN102566275A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110378325.X

申请日：2011-11-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  任美罗 ,  田桓承 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]

公开(公告)号：CN101978322B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN200880128156.0

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑斗瑛 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  Y10S430/107

Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物，其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元；光敏性重氮醌化合物；硅烷化合物；酚化合物；及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化，并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。

公开(公告)号：CN103135354A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210272274.7

申请日：2012-08-01

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  李珍泳 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  车明焕 ,  黄银夏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G02F1/1333 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

公开(公告)号：CN102540724A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110238394.0

申请日：2011-08-18

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  李种和 ,  任美罗 ,  赵显龙 ,  车明焕 ,  田桓承

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/312

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。

公开(公告)号：CN101978322A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200880128156.0

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑斗瑛 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  Y10S430/107

Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物，其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元；光敏性重氮醌化合物；硅烷化合物；酚化合物；及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化，并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。

公开(公告)号：CN103186039B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201210287599.2

申请日：2012-08-13

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C08G8/30 ,  G03F7/09 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/28 ,  C08G73/22 ,  C08L61/14 ,  C08L79/04 ,  G03F7/023 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。

公开(公告)号：CN103135354B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201210272274.7

申请日：2012-08-01

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  李珍泳 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  车明焕 ,  黄银夏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G02F1/1333 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

公开(公告)号：CN103186039A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201210287599.2

申请日：2012-08-13

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C08G8/30 ,  G03F7/09 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/28 ,  C08G73/22 ,  C08L61/14 ,  C08L79/04 ,  G03F7/023 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。

公开(公告)号：CN102159995A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200880131180.X

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  俞龙植 ,  郑知英 ,  李种和 ,  郑闵鞠 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  Y10S430/107

Abstract: 本发明提供了一种正性光敏树脂组合物，包括：(A)聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)聚酰胺酸酯化合物；以及(E)溶剂。该正性光敏树脂组合物可以减少膜收缩，具有高感光度、高分辨率、以及极好的残留物去除性能，并且可以实现良好的图案形状。

公开(公告)号：CN102109763A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN201010597687.3

申请日：2010-12-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李廷宇 ,  俞龙植 ,  赵显龙 ,  郑知英 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  郑闵鞠 ,  车明焕 ,  田桓承

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0755

Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物，包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体；(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂；(C)产酸剂；(D)硅烷基化合物；以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元，或由化学式1和2表示的两种重复单元，并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中，每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中，每个取代基与说明书中定义的相同。