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公开(公告)号：CN108886070A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780014762.9
申请日：2017-03-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L27/148
CPC classification number: H01L27/148 , H01L31/10
Abstract: 半导体光检测元件(SP1)具备硅基板即半导体基板(1)。半导体基板(1)具有光入射面即第二主面(1b)与相对于第二主面(1b)的第一主面(1a)。在半导体基板(1)中，相应于入射光而产生载流子。在第二主面(1b)形成有多个凸部(10)。凸部(10)具有相对于半导体基板(1)的厚度方向倾斜的斜面(10a)。在凸部(10)中，半导体基板(1)的(111)面露出而作为斜面(10a)。凸部(10)的高度为200nm以上。
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公开(公告)号：CN104364906B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201380031682.6
申请日：2013-02-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14
CPC classification number: H01L27/1469 , H01L27/14634 , H01L27/14636 , H01L27/1464 , H01L27/14687 , H01L27/148
Abstract: 本发明提供一种可容易地进行制造的固体摄像装置的制造方法。固体摄像装置(1)的制造方法包括：第1工序，其准备摄像元件(10)，该摄像元件(10)包含入射能量线的主面(S1)、与主面(S1)相对且配置有电极(14)的主面(S2)、及对入射的能量线进行光电转换而产生信号电荷的光电转换部(11)；第2工序，其准备支撑基板(20)，该支撑基板(20)设置有沿厚度方向延伸的至少一个贯通孔(23)且具有相互相对的主面(S3、S4)；第3工序，其以主面(S2、S3)相对且一个电极(14)自一个贯通孔(23)露出的方式对摄像元件(10)与支撑基板(20)进行定位，并接合摄像元件(10)与支撑基板(20)；及第4工序，其在第3工序之后将导电构件(30)埋入至贯通孔(23)内。
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公开(公告)号：CN105684150A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480059141.9
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N1/028 , H04N5/372
CPC classification number: H01L27/14825 , H01L27/14812 , H01L27/14843 , H04N5/3692 , H04N5/37213
Abstract: 光检测部AR以具有沿着列方向排列的多个像素区域PX的方式被分割。将来自多个像素区域PX的信号分别按各光检测部AR累计，作为与一维的光学图像对应的电信号而依时间顺序输出。各个像素区域PX具备促进光电转换区域内的电荷的传送的电阻性栅电极R与电荷存储区域S2，漏极区域ARD隔着沟道区域而邻接于电荷存储区域S2。
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公开(公告)号：CN102326264B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201080008816.9
申请日：2010-02-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/10
CPC classification number: H01L31/0236 , H01L27/1462 , H01L27/1464 , H01L31/02327 , H01L31/035281 , H01L31/103 , Y02E10/50
Abstract: 一种半导体光检测元件(SP)，包括：硅基板(21)，其由第1导电类型的半导体构成，具有彼此相对的第1主面(21a)及第2主面(21b)，并且在第1主面(21a)侧形成有第2导电类型的半导体层(23)；以及电荷传输电极(25)，其设置于第1主面(21a)上，且传输所产生的电荷。在硅基板(21)上，在第2主面(21b)侧形成有具有比硅基板(21)更高的杂质浓度的第1导电类型的累积层(31)，并且在第2主面(21b)上的至少与半导体区域(23)相对的区域形成有不规则的凹凸(10)。硅基板(21)的第2主面(21b)的形成有不规则的凹凸(10)的区域光学性地露出。
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公开(公告)号：CN104995735A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480008752.0
申请日：2014-02-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , G03F7/20
CPC classification number: H04N5/369 , H01L27/14683 , H01L27/14806 , H01L27/14812 , H01L27/14831 , H01L27/14856 , H04N5/353
Abstract: 固体摄像装置(1)包括在半导体基板上以多个图案(2A、2B)在Y轴方向上被接合的方式被曝光而形成的受光部(2)。受光部(2)具有2维状地排列于Y轴方向与正交于Y轴方向的X轴方向的多个像素。在由多个像素中的、排列于X轴方向的多个像素构成的每个像素列，沿X轴方向传输电荷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104364906A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380031682.6
申请日：2013-02-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14
CPC classification number: H01L27/1469 , H01L27/14634 , H01L27/14636 , H01L27/1464 , H01L27/14687 , H01L27/148
Abstract: 本发明提供一种可容易地进行制造的固体摄像装置的制造方法。固体摄像装置(1)的制造方法包括：第1工序，其准备摄像元件(10)，该摄像元件(10)包含入射能量线的主面(S1)、与主面(S1)相对且配置有电极(14)的主面(S2)、及对入射的能量线进行光电转换而产生信号电荷的光电转换部(11)；第2工序，其准备支撑基板(20)，该支撑基板(20)设置有沿厚度方向延伸的至少一个贯通孔(23)且具有相互相对的主面(S3、S4)；第3工序，其以主面(S2、S3)相对且一个电极(14)自一个贯通孔(23)露出的方式对摄像元件(10)与支撑基板(20)进行定位，并接合摄像元件(10)与支撑基板(20)；及第4工序，其在第3工序之后将导电构件(30)埋入至贯通孔(23)内。
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公开(公告)号：CN101981698B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200980111025.6
申请日：2009-03-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H04N5/3692 , G01J3/2803 , H01L27/14825 , H04N5/3535
Abstract: 固体摄像装置(1)具备多个光电转换部(3)、多个第1传输部(5)、多个电荷存储部(7)、多个第2传输部(9)以及移位寄存器(11)。各光电转换部(3)具有：平面形状为由两条长边和两条短边形成的大致矩形的光感应区域(13)、和形成沿着从形成光感应区域(13)的平面形状的一个短边侧朝向另一个短边侧的第1方向变高的电位梯度的电位梯度形成区域(15)。各第1传输部(5)配置于形成对应的光感应区域(13)的平面形状的另一个短边侧，将从对应的光感应区域(13)取得的电荷在第1方向上传输。各电荷存储部(7)存储从对应的第1传输部(5)传输的电荷。由此，实现了图像处理不烦杂并且可以高速地读出光感应区域中产生的电荷的固体摄像装置。
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公开(公告)号：CN103782388A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280043113.9
申请日：2012-06-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/369
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/16 , H01L24/32 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L27/14618 , H01L2224/02373 , H01L2224/02375 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/04073 , H01L2224/05548 , H01L2224/05553 , H01L2224/05555 , H01L2224/0603 , H01L2224/06051 , H01L2224/06135 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/4824 , H01L2224/49175 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/15151 , H01L2924/15192 , H01L2924/16195 , H01L2924/19107 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 固体摄像元件（IS1）包括：半导体基板（1），其具有光感应区域（3）；多个第一电极垫（10），其排列于半导体基板（1）的主面（1a）上；多个第二电极垫（12），其在半导体基板（1）的主面（1a）上，排列于沿着排列有多个第一电极垫（10）的方向的方向上；及多根配线（14），其1对1地连接多个第一电极垫（10）与多个第二电极垫（12）。多根配线（14）连接处于相对于中心线（l）成线对称的位置关系的第一电极垫（10）与第二电极垫（12），该中心线（l）与多个第一及第二电极垫（10、12）的排列方向正交。
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公开(公告)号：CN103314441A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201180065078.6
申请日：2011-11-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148
CPC classification number: H01L27/14806 , H01L27/14601 , H01L27/14825 , H01L27/14831 , H04N5/37213
Abstract: 本发明的固体摄像装置(1)具备：光电转换部(2)，其具有多个光感应区域(7)；及电位梯度形成部(3)，其具有与多个光感应区域(7)相对配置的导电性构件(8)。各光感应区域(7)的平面形状形成为由两条长边与两条短边所成的大致矩形形状。多个光感应区域(7)并列设置于与长边交叉的第1方向上。电位梯度形成部(3)形成沿自光感应区域(7)的一个短边侧朝向另一短边侧的第2方向而升高的电位梯度。导电性构件(8)包含：第1区域(8a)，其在第2方向上的两端部间沿第2方向延伸且具有第1电阻率；及第2区域(8b)，其在两端部间沿第2方向延伸且具有小于第1电阻率的第2电阻率。
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公开(公告)号：CN103314440A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201180065063.X
申请日：2011-11-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/353 , H04N5/372
CPC classification number: H01L31/02 , H01L27/14806 , H01L27/14825 , H01L27/14831 , H01L27/14887
Abstract: 固体摄像装置(1)具备：具有多个光感应区域(13)的光电转换部(2)、与相对于多个光感应区域(13)而配置的电位梯度形成部(3)。各光感应区域(13)的平面形状成由两条长边与两条短边而形成的大致矩形形状。多个光感应区域(13)并列设置于与长边交叉的第1方向上。电位梯度形成部(3)形成沿着自光感应区域(13)的一个短边朝向另一短边的第2方向的电位梯度。电位梯度形成部(3)具有形成沿第2方向降低的电位梯度的第1电位梯度形成区域、与形成沿第2方向升高的电位梯度的第2电位梯度形成区域。第2电位梯度形成区域相对于第1电位梯度形成区域而并列设置于第2方向。
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