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公开(公告)号：CN1279416C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN02805589.6
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制装置，其以Qc＝KP2m(P1-P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制装置，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1＝r可与临界值rc比较，在临界条件(r≤rc)下以Qc＝KP1，在非临界条件(r＞rc)下以Qc＝KP2m(P1-P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。
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公开(公告)号：CN1236418A
公开(公告)日：1999-11-24
申请号：CN98801149.2
申请日：1998-08-13
CPC classification number: G01F1/40 , G05D7/0186
Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔,节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2,该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中,将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状;并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4,该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
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公开(公告)号：CN112771359A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980059797.3
申请日：2019-10-02
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，其具备：以与流体通路(3)连通的状态而气密地安装于形成流体通路(3)的主体(4)上的筒状部件(5)；以及与筒状部件(5)连接并且对在主体(4)的流体通路(3)内流动的流体的压力进行检测的压力传感器部(6)，筒状部件(5)由镍钼铬合金材料或不锈钢材料所形成，压力传感器部(6)具备：具有流体流入的受压室(7)以及与流入受压室(7)的流体接触的隔膜(8a)，并且一端被隔膜(8a)闭塞的传感器主体(8)；以及将隔膜(8a)的位移作为压力而输出的压力检测元件(2)，传感器主体(8)由钴镍合金材料所形成，开口侧端部与筒状部件(5)的一端部气密地连接。
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公开(公告)号：CN103518165B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280022338.6
申请日：2012-04-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。
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公开(公告)号：CN103493181B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201280020255.3
申请日：2012-02-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/4481 , C23C16/45557 , C23C16/52 , Y10T137/7837
Abstract: 本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105179799A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510674731.9
申请日：2010-11-04
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , F16K49/00 , F16K37/00 , G05D7/06
Abstract: 本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN105102872A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480004462.9
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16L55/02718
Abstract: 本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P2/P1变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。
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公开(公告)号：CN105074408A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480009580.9
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社富士金 , 日本电产科宝电子株式会社
IPC: G01L19/00
CPC classification number: F16L21/03 , F16L21/04 , F16L41/008 , G01L9/0051 , G01L19/003 , G01L19/145 , G01L19/147
Abstract: 本发明的目的在于使得即使在压力检测器组装到安装配件主体后，也完全不存在对隔膜的应力影响，另外，也不会受到经年变化的影响。为了达成上述目的，本发明的结构如下：在将压力检测器(1)气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体(15)的插接孔(16)内的压力检测器(1)的安装结构中，具备导管(9)、垫片压件(11)、垫片(12)、开口环(13)和罩盖(14)，将垫片压件(11)和开口环(13)插入安装配件主体(15)的插接孔(16)内，并且将罩盖(14)插装于插接孔(16)，将该罩盖(14)紧固于安装配件主体(15)一侧，利用开口环(13)按压垫片压件(11)和垫片(12)，使垫片(12)的一端面与插接孔(16)的底面之间以及垫片(12)的另一端面与垫片压件(11)的前端面之间分别作为密封部。
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公开(公告)号：CN102934202B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201080064420.6
申请日：2010-10-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
Abstract: 在半导体制造装置用的混合气体供给装置中，防止其他气体种类向过程气体供给线的逆扩散，实现混合气体供给装置的歧管及过程腔室的气体置换的高速化。本发明是一种混合气体供给装置，将由流量控制装置和出口侧切换阀（VO）构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀（VO）的气体出口向歧管（1）连接、并且将距歧管（1）的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用，其中，经由上述流量控制装置的出口侧连结配件（22）及具有气体通路（19a）的安装台（19）将流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的入口侧气密地连结，在上述出口侧连结配件（22）的流路（24）的一部分及或将上述出口侧切换阀（VO）与歧管（1）的混合气体流通路（20）连通的流路（25）中设置小孔部（26），能够实现其他气体向出口侧切换阀（VO）的上游侧或流量控制装置的上游侧的逆扩散的防止和连结在歧管（1）的混合气体出口（2）上的过程腔室（5）的高速气体置换。
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公开(公告)号：CN102640070B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080054335.1
申请日：2010-08-02
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
Abstract: 提供一种即使是温度为100℃～500℃的高温气体、也能够使用以往的温度检测器进行误差为1.0%F.S.以下的高精度的流量控制的高温气体用压力式流量控制装置。具有：阀身（VD），形成有流体通路（15、16）；阀部（V），夹设在流体通路中；阀驱动部（PE、21），驱动阀部（V）将流体通路开闭；节流机构，设在流体通路的阀部的下游侧；温度检测器（TC），检测阀部与节流机构之间的气体温度；压力检测器（P），检测阀部与节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制阀驱动部；将温度检测器（TC）插装到从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。
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