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公开(公告)号：CN118957535A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410876049.7
申请日：2024-07-02
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，具体为可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔及其使用方法。本发明反应腔包括U型管反应腔、粉末进料装置、粉末出料装置、前驱体输送系统、流化气输送系统、尾气处理及真空系统、加热和电气控制系统；U型管反应腔分为进料输送管道和粉末流化管道；粉末进料装置用于分批次往反应腔进料，流化气和前驱体脉冲气体从进料输送管道引入，粉末在流化气体作用下分散并发生原子层沉积反应；粉末包覆完成后，粉末进料装置再次进料，开启下一批次粉末包覆工艺，实现半连续粉末包覆过程。本发明反应腔在不频繁拆、装反应腔并保留原子层沉积反应的清洗步骤的情况下，实现分批次、连续性进料、包覆、收集，提高粉末包覆效率。
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公开(公告)号：CN118668188A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410736577.2
申请日：2024-06-07
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/442 , C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积镀膜技术领域，具体为一种用于粉末流化原子层沉积的反应腔装置及其使用方法。本发明反应腔装置包括反应腔本体、底部进气口、顶部出气口、反应腔旁路和吹扫气体支路，反应腔旁路是与反应腔气体输送主管路并联的气体输送管路，该旁路起始于反应腔底部进气端，终止于反应腔顶部出气端的隔膜阀，该旁路的开启由控制阀控制；底部滤片为非均一孔隙的金属粉末烧结滤片，顶部过滤器上耦合有测温穿插件和气体吹扫支路。本发明利用流化气体从下至上分散反应腔内的粉末，有效提高粉末流化原子层沉积的残余气体抽取效率，抑制粉末稀相层高度，监测反应腔体内部温度，对顶部过滤器上的附着粉末进行吹扫，有效流化反应腔内的粉末。
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公开(公告)号：CN118571598A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410810109.5
申请日：2024-06-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种集成磁性薄膜的自卷曲管状微型片上电感器及其制备方法，属于集成电路、微纳电磁学元器件技术领域。本申请方案通过在三维管状结构中引入磁性薄膜，并将磁性薄膜图形化成连续条带或块状阵列，增强了软磁材料的磁各向异性，从而诱导特定的磁域模式，提升磁性薄膜的磁约束能力和铁磁共振频率。此外，图形化磁性薄膜的易磁化方向平行于电流方向，可以避免易轴上的反复磁化引起的损耗，利用难轴磁化减小整体损耗，提高电感值。进一步地，本方案中的管状结构为多层结构，只需在二维平面结构上沉积一层磁性薄膜，在卷曲后，内部线圈被多层磁性薄膜层包裹，从而达到更好的磁约束效果。
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公开(公告)号：CN117987879A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410081526.0
申请日：2024-01-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于水解制氢反应技术领域，具体为一种Nafion与Cu‑BDC复合质子交换膜及其制备方法和应用。本发明首先在Nafion薄膜上采用特定参数原子层沉积ZnO纳米薄膜，然后通过水热反应将沉积ZnO纳米薄膜的Nafion薄膜分别在硝酸锌和对苯二甲酸有机配体溶液中反应合成Cu‑BDC薄膜，形成Nafion薄膜与Cu‑BDC薄膜紧密结合的复合质子交换膜；该复合质子交换膜，均匀，离子扩散导电通路稳定；具有优异的析氢性能，在10mA cm‑2下84mV的过电位，58mV dec‑1的Tafel斜率，以及在1.0M NaOH电解质中的良好稳定性；可以用于水解析氢反应的催化电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117896859A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410196106.7
申请日：2024-02-22
Applicant: 复旦大学义乌研究院 , 宜兴凯甲科技有限公司
Abstract: 本发明属于石墨烯电热膜材料技术领域，具体为一种柔性高温石墨烯电热膜及其制备方法。本发明方法包括：石墨烯电热膜浆料的配制：按重量份计的组分为：石墨烯2‑10份，粘结剂1‑5份，树脂1‑5份，去离子水10‑50份，醇类溶剂10‑20份；石墨烯电热膜的制备：在绝缘柔性衬底上布设电极金属导线；通过模板在绝缘材料基底上涂覆浆料，经过热处理形成石墨烯薄层作为导电发热层；涂覆耐高温树脂作为保护层，使发热层与柔性衬底牢固结合，并提高电热膜的耐磨性。制备的石墨烯电热膜具有卓越的导电性能和热传导性能，以及最高温度在300℃以上的更大的加热温度范围、更长的使用寿命。
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公开(公告)号：CN117415318A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311307537.8
申请日：2023-10-10
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: B22F1/17 , B22F9/02 , C23C16/455 , H01F1/057 , H01F41/02
Abstract: 本发明属于稀土永磁材料技术领域，具体为集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法。本发明方法是把稀土永磁合金铸锭或铸片的氢破碎过程和原子层沉积包覆镀层的过程集成在相同的反应腔内进行；首先将稀土永磁合金铸锭或铸片放置在真空反应腔中，利用高纯氩气洗气多次后，通入充足的氢气使稀土永磁合金铸锭或铸片吸氢破碎成粉末并充分脱氢；在真空状态下将氢破碎粉末加热到80~250℃保温1.5~4小时，采用原子层沉积方法沉积总厚度为10~50nm的铜镀层。本发明可简化工艺步骤；提升稀土永磁磁粉表面的镀层包覆率；通过对磁粉的表面改性，使得包覆的铜镀层在稀土永磁磁体的烧结及热处理过程中优化磁体的微观组织结构，提升磁性能。
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公开(公告)号：CN117214263A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311379484.0
申请日：2023-10-23
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: G01N27/26 , G01N27/30 , G01N27/327
Abstract: 本发明属于柔性可穿戴生物传感器技术领域，具体为一种双金属MOF修饰的3D生物传感器及其制备方法和应用。本发明的3D生物传感器，由3D柔性导电泡沫以及在导电泡沫表面修饰的双金属MOF薄膜组成；所述双金属为镍和铬，两者质量比为1：（1‑20）；本发明将柔性导电泡沫与双金属MOF相结合，通过增加表面活性位点和多离子通道，加快电子和离子传输速度，从而提高生物因子检测的灵敏度，降低检测限度。该生物传感器用于非侵入式检测人体体液中乳酸，检测灵敏度达到9030 µAmM‑1cm‑2,检测限低至0.16 µM，乳酸检测范围为0.01‑2.2 mM。
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公开(公告)号：CN116926490A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310856694.8
申请日：2023-07-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于金属有机框架薄膜技术领域，具体为一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法。本发明是通过等离子浸没注入的方式，在维持MOF薄膜多孔网络结构的基础上，按需调控MOF薄膜内部稳定化学键连接的金属离子种类和数量，实现MOF薄膜电化学性质的调控，具体步骤包括：把衬底上合成的MOF薄膜置入等离子浸没注入设备的样品台；金属靶材装入等离子浸没注入的靶材室；设置注入电压和注入时间；打开设备将所需离子注入MOF薄膜，实现MOF薄膜内部金属离子种类的改变和电化学性质的调节。本发明方法为气相调控，全过程无有机溶剂参与，一步调控MOF薄膜中金属离子，实现快速大规模制备，且具有普适性和可调控性。
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公开(公告)号：CN115354277A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202211039672.4
申请日：2022-08-29
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种卷对卷式的薄膜脱附方法、卷曲薄膜及其应用，在铜箔上的石墨烯衬底上沉积具有预应力梯度的双层或多层纳米薄膜，然后使铜箔石墨烯通过滚轴弯曲，使得薄膜脱附并卷曲，形成相应材料的纳米卷曲薄膜。可以通过超声使纳米管快速从衬底剥离并落入收集装置中，并通过收卷装置回收铜箔石墨烯。该制备方法工艺简单，操作便捷，无液体污染，薄膜卷曲方向可控，适用于批量地脱附多种材料的薄膜并加工为卷曲薄膜，并且能够快速回收铜箔石墨烯衬底。
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