公开(公告)号：CN107405920B

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201680014432.5

申请日：2016-03-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  滨口敏昭 ,  长沼阳一 ,  高部本规

IPC: B41J2/14

Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；以及电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号，其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层，所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成，并且在所述限定区域外的区域中，所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。

公开(公告)号：CN106313895B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610494817.8

申请日：2016-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  矢崎士郎 ,  福泽祐马 ,  平井荣树

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/081 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0838 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332

Abstract: 本发明提供一种能够缓和能动部的端部处的应力的压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置。通过对作为空室的压力室(22)进行划分的压力室形成基板(20)、和被接合于该压力室形成基板上的连通基板(14)而构成了空室部件。以在压力室形成基板的一个面上在与压力室之间夹着可挠面(21)的方式而设置有压电元件(26)。通过利用连通基板(14)来封堵压力室形成基板的凹部(34)从而划分形成空部(35)。该空部(35)被形成于，在俯视观察时与压电元件的能动部的两端(E)重叠的位置处。

公开(公告)号：CN107539944A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201710485605.8

申请日：2017-06-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  平井荣树 ,  西面宗英 ,  松本泰幸 ,  田中秀一 ,  依田刚

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B41J2/01 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14201 ,  B41J2/04581 ,  B41J2/1404 ,  B41J2/14072 ,  B41J2/14088 ,  B41J2/1433 ,  B41J2/1607 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/18

Abstract: 本发明提供一种能够抑制埋入配线中的碟形凹陷的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件的特征在于，具备：配线(46)，其通过在于基板(33)的第一面开口的凹部(47)中埋入导电部(48)而形成；和凸块电极(42)，其与配线电连接，在第一面上的与配线所延伸的第一方向交叉的第二方向上，配线与凸块电极被连接的连接区域内的凹部的开口的总宽度窄于连接区域以外的区域内的凹部的开口宽度。

公开(公告)号：CN107032285A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611021448.7

申请日：2016-11-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 塚原克智 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  中山雅夫 ,  西面宗英

IPC: B81B3/00 ,  B41J2/14

CPC classification number: B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14266 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11 ,  B41J2202/18 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/052 ,  B81B3/0032

Abstract: 本发明提供抑制了层压于压电体层(38)上的上电极层(39)的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。MEMS器件具备：驱动区域(35)，其具有下电极层(37)、压电体层(38)及上电极层(39)依次层压所形成的压电元件(32)，压电元件(32)从驱动区域(35)延伸到非驱动区域(36)，且在该延伸方向上，下电极层(37)及压电体层(38)延伸到与上电极层(39)相比靠外侧，覆盖延伸方向上的上电极层(39)的端部的树脂部(43)被层压在非驱动区域(36)内的上电极层(39)上以及形成在与该上电极层(39)相比靠外侧处的压电体层(38)上，与上电极层(39)电连接的导电层(44)层压在树脂部(43)上及从该树脂部(43)偏离出的区域内的上电极层(39)上，上电极层(39)的端部被形成在与导电层(44)的树脂部(43)侧的端部相比靠驱动区域(35)侧处。

公开(公告)号：CN107020808A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201610811780.7

申请日：2016-09-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长沼阳一 ,  平井荣树 ,  滨口敏昭 ,  高部本规

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其与第一基板(33)层压配置，并在第一基板(33)侧具有压电元件(32)，第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。

公开(公告)号：CN105966068A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610133071.8

申请日：2016-03-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨口敏昭 ,  平井荣树 ,  长沼阳一 ,  高部本规

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01

CPC classification number: H01L41/0471 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/18 ,  H01L41/042 ,  H01L41/0973 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供头以及液体喷射装置，其能够使构成保持部的驱动电路基板小型化并实现成本的降低。所述头具备：形成有两列压电致动器列(310)的流道形成基板(10)；设置有驱动电路(120)、第一凸起(31)以及第二凸起(32)的驱动电路基板(30)，第一凸起(31)被设置于压电致动器列(310)的外侧，粘合层(39)被设置于第一凸起(31)以及第二凸起(32)的两侧，在驱动电路基板(30)上设置有第一贯通孔(35)以及第二贯通孔(36)，在这些贯通孔中设置有第一连接配线(311)以及第二连接配线(312)，压电致动器(300)的第一电极(60)和第一连接配线(311)通过第一凸起(31)而被电连接，第二电极(80)和第二连接配线(312)通过第二凸起(32)而被电连接。

公开(公告)号：CN103240994B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201310042767.6

申请日：2013-01-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  角浩二 ,  高部本规 ,  小岛力 ,  伊藤浩 ,  清水稔弘 ,  上條隆弘 ,  鸟本达朗 ,  加藤治郎

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14274 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0805

Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。

公开(公告)号：CN104044346A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410088461.9

申请日：2014-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢崎士郎 ,  上條隆弘 ,  清水稔弘 ,  高部本规

IPC: B41J2/045

CPC classification number: H01L41/047 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。

公开(公告)号：CN101274517B

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200810088065.0

申请日：2008-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  角浩二

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/25 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种能够切实抑制压电元件的位移量的变化、具有稳定的油墨喷出特性的液体喷射头及其制造方法。该液体喷射头具备：流道形成基板，其形成有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室；压电元件，其由设置于该流道形成基板的一个表面侧的下电极、压电体层及上电极构成，上述压电体层由锆钛酸铅构成，是在(100)面上优先取向的菱形晶系构造或者单斜晶系构造，且饱和极化Pm以及剩余极化Pr满足33％≤2Pr/2Pm≤46％。

公开(公告)号：CN101049758B

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200710091653.5

申请日：2007-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  角浩二 ,  野口元久 ,  横山直人 ,  齐藤刚

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。