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公开(公告)号：CN103383526A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310153408.8
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种粗精动叠层工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有精动台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和精动台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成精动台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架及微动台基座共同组成精动台的定子部分。本发明具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。
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公开(公告)号：CN102506110B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110326616.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: F16F6/00
CPC classification number: F16F6/005 , F16F2228/063
Abstract: 一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构，包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向磁化，外环形永磁体径向磁化，内外环形永磁体构成一个正刚度系统，上、下橡胶片构成负刚度系统，正负刚度系统并联使用可构成低频隔振机构。三个或四个单自由度隔振机构并联使用可实现三自由度的低频隔振；该隔振机构磁场力最大时，其刚度接近于零。本发明不需要外界气源，具有在真空中使用的前景；结构简单，成本低廉，且易于加工的特点；可用于光学、声学、生物学、半导体制造和精密测量等领域。
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公开(公告)号：CN103322927A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310243132.2
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN103309177A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310243147.9
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机工件台系统，包含机架、基台、分别运行于曝光工位和预处理工位的两个硅片台，以及测量光栅、双频激光器、三自由度外差光栅干涉仪和信号接收与处理部件。在每个硅片台四角处各安装一个三自由外差光栅干涉仪，测量光栅安装于硅片台上方的机架上。双频激光器出射的双频正交偏振激光经光纤传输至三自由度外差光栅干涉仪后至测量光栅，测量光栅的四束衍射光回射至三自由度外差干涉仪，最终出射四束测量光信号至信号接收与处理部件。当硅片台相对于测量光栅运动时，利用信号接收与处理部件中的读数通过解算获取硅片台六自由位移。该光刻机工件台系统可提高硅片台的测量精度、动态性能等指标，进而提高光刻机工件台系统整体性能。
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公开(公告)号：CN103226296A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310152958.8
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 刘昊 , 徐登峰 , 张利 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 胡金春 , 穆海华 , 尹文生 , 赵彦坡 , 秦慧超 , 胡清平
Abstract: 一种带激光干涉仪测量的粗精动叠层工作台，主要用于光刻机系统中。叠层工作台含有精动台、粗动台、平衡块、四个隔震器和测量机架；粗动台包括粗动台骨架、四个动铁式电磁力驱动模块和四个气浮轴承；精动台设置在粗动台骨架的中间位置；该系统还含有用于六自由度定位装置的承片台和基座之间位置反馈的激光干涉仪测量组件，激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪组成，可对该装置的运动部分进行实时的六自由度的测量。本发明具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻；粗动台驱动电机采用加长矩形线圈组，在不影响运动精度的前提下，避开了大规模halbach磁钢阵列的制造困难，又增大了驱动电机行程；进而提高了运动的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102635659A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210123469.5
申请日：2012-04-24
Applicant: 清华大学
IPC: F16F9/02
Abstract: 一种扁平型空气隔振器，该隔振器包括三个或四个主腔室，三个或四个附加气室。三个主腔室呈三角形布置，四个主腔室成四边形布置，附加气室并列布置在主腔室所形成的空间内。本发明与传统的双腔室空气隔振器相比，该隔振器采用带阻尼孔的附加气室来代替传统空气弹簧的下腔室，消除了传统空气隔振器下腔室体积和阻尼孔不变的缺点，同时采用上下腔室分离的结构，降低了空气隔振器的重心，使得空气隔振器更稳定，该空气隔振器主要用于超精密试验台、超精密机床和光学平台等设备的隔振。
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公开(公告)号：CN101769764B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010034274.4
申请日：2010-01-19
Applicant: 清华大学
IPC: G01D5/12
Abstract: 一种基于直线磁钢阵列的运动平台一维定位方法，该方法包括以下步骤：在运动系统中运动平台表面运动方向上的直线磁钢阵列一个或一个以上极距内任意不同位置放置2个以上线性霍尔传感器，根据直线磁钢阵列确定磁通密度分布模型，确定上述线性霍尔传感器的安装位置，并转化为相对运动平台质心的相位，在运动过程中记录所述线性霍尔传感器磁通密度测量值，并以所述测量值作为观测量，所述磁通密度分布模型作为计算模型，解算运动平台质心在运动方向上的相位，再以所述相位为依据，确定运动平台质心相对于初始相位的位置，实现运动平台的一维定位。本发明为包含直线磁钢阵列的运动系统提供了一种简单、便捷、鲁棒的平台一维质心位置计算方法。
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公开(公告)号：CN101770180A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN201010105087.0
申请日：2010-02-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台，涉及半导体光刻设备。该线缆台包含一个控制装置和至少一个多关节机械手，每个硅片台对应一个多关节机械手；每个多关节机械手包含一个具有X和Y方向移动自由度的末端连杆和至少一个中间连杆；在末端连杆上安装有测量硅片台相对于末端连杆的平面三自由度位移的传感器，硅片台在平面内运动时，控制装置通过末端连杆上传感器的位置反馈信号驱动末端连杆沿X和Y方向移动，使末端连杆与硅片台的一条边线始终保持平行且距离不变，以保证硅片台的线缆不被拉伸或压缩，从而实现对硅片台拖出的大量线缆的有效管理，有效解决了硅片台线缆对硅片台的运动和定位的影响。
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公开(公告)号：CN100451662C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200710064950.0
申请日：2007-03-30
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
Abstract: 本发明属于数字信号处理领域，其特征在于通过极坐标变换，利用目标信号比背景信号强或者弱的特点进行背景估测。其方法是根据目标信号比背景信号强或者弱的特点，分别以信号的幅值为极径，信号的自变量为极角，进行极坐标变换；之后，在极坐标平面上，计算变换后信号的凸包；接着，将极坐标中所求凸包的顶点进行逆变换，在直角坐标系中就得到了信号上的一些背景点；最后，以找到得背景点为插值关键点，再利用插值方法估测出信号背景。本方法简单易行，精度较高，特别适合于目标边缘模糊且背景不均匀的情况。
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公开(公告)号：CN100347541C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200510115774.X
申请日：2005-11-11
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
CPC classification number: G01N30/95
Abstract: 本发明属于数字图像处理和化学分析领域，其特征在于利用数码相机或摄像机在不同波长的光照条件下对薄层板进行拍摄；对所拍摄的图像进行镜头畸变校正、噪声虑除预处理；利用点样时点均匀分布的特点以及纵向距离等分原则确定控制点；根据控制点再利用插值方法构造出图像背景；将构造出的背景图像从镜头畸变校正后的薄层图像中去除，并根据所构造的背景图像对每一像素点进行亮度归一化；对去掉背景图像后的薄层图像进行分割；根据分割结果对每个区域内的灰度进行积分。本方不仅能够准确的描述所给图像背景信息，分割出目标图像，而且还可以对每一点的光照强度进行修正，图像分割以及样品定量分析结果精度都很高，重复性也非常好，易于推广。
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