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公开(公告)号:CN104246572B
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201380020843.1
申请日:2013-04-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B13/00
CPC classification number: G02F1/29 , G02B21/16 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G02B26/0875 , G02B27/0927 , G02B27/0938 , G02B27/56 , G02F2001/294
Abstract: 本发明的光束扩展器(10A)具备:第一透镜部(12),其由SLM或VFL中的任一者构成;第二透镜部(14),其与第一透镜部(12)光学结合,由SLM或VFL中的任一者构成;控制部(16),其控制第一、第二透镜部(12、14)的焦点距离。第一、第二透镜部(12、14)的距离不变。控制部(16)以输入到第一透镜部(12)的光的光径(D1)与从第二透镜部(14)输出的光的光径(D2)相互不同的方式控制第一、第二透镜部(12、14)的焦点距离。由此,实现可以简易构成且能够缩短变更光径时的所需时间的光束扩展器。
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公开(公告)号:CN107209360A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201680006352.5
申请日:2016-01-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 松本直也
Abstract: 一种图像取得装置,具备:空间光调制器,调制照射光;控制部,以在观察对象物中形成多个聚光点的方式控制调制图案;聚光光学系统,对被调制了的所述照射光进行聚光;扫描部,在与所述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描所述观察对象物中的所述多个聚光点的位置;光检测器,检测从所述多个聚光点分别产生的多个观察光;所述控制部根据所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置而设定相邻的所述聚光点的中心间隔。
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公开(公告)号:CN106415354A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201580025634.5
申请日:2015-05-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/6458 , G01B9/021 , G01B11/24 , G01N21/64 , G01N21/6486 , G01N2201/06113 , G02B5/32 , G02B21/00 , G02B21/08 , G02B21/26 , G02B21/361 , G02B21/365 , G02B27/0068 , G03H1/0005 , G03H2001/005
Abstract: 本发明所涉及的显微镜装置1A具备:生物体试样台11,其支撑生物体试样B;物镜12,其与生物体试样台11相对配置;激光光源31,其输出通过物镜12而照射于生物体试样B的光;形状测量单元20,其获取生物体试样B的表面形状;控制单元40,其根据在形状测量单元20中获取的信息制作用于矫正起因于生物体试样B的表面形状的像差的像差校正全息数据;第1空间光调制器33,其呈现基于像差校正全息数据的全息图并调制由激光光源31输出的光;检测器37,其检测在生物体试样B中产生的被检测光L2的强度。由此,可以实现能够抑制在生物体试样内部的照射光的聚光强度的降低以及聚光形状的扩大的显微镜装置以及图像获取方法。
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公开(公告)号:CN104620163A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201280075814.0
申请日:2012-09-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/292 , B23K26/032 , B23K26/035 , B23K26/0622 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , G02B21/0024 , G02F1/136277
Abstract: 在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中,取得激光的入射图案、以及传播路径上的第1、第2传播介质各个的折射率(步骤S101),设定聚光点的个数以及各聚光点的聚光位置、聚光强度(S104),导出由第1、第2传播介质所得到的像差条件(S107),并考虑像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制图案(S108)。另外,在调制图案的设计中,使用着眼于1个像素的相位值的影响的设计法,并且在评价聚光点的聚光状态时,使用考虑了像差条件的传播函数。由此,可以实现能够适当控制激光的聚光状态的光调制控制方法、程序、装置、以及激光照射装置。
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公开(公告)号:CN104246574A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380020852.0
申请日:2013-04-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B15/00
CPC classification number: G02B17/0896 , G02B3/0081 , G02B5/32 , G02B15/00 , G02B21/002 , G02B27/0025
Abstract: 变焦透镜(10A)具备由SLM或者VFL当中的任一者构成的第一透镜部(12)、光学结合在第一透镜部与焦平面(F)之间并且由SLM或者VFL当中的任一者构成的第二透镜部(14)、以及控制第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离的控制部(16)。第一透镜部(12)与第二透镜部(14)的距离以及第二透镜部(14)与焦平面(F)的距离均不变。控制部(16)通过变更第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离来使变焦透镜10A的放大倍率发生变化。由此,实现可以简易地构成并且可以缩短变更放大倍率时的所需时间的变焦透镜。
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公开(公告)号:CN102227667B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN200980147787.1
申请日:2009-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G02B5/28 , B23K26/064
CPC classification number: G02B26/0833 , G02B5/285 , G02F2203/02 , G02F2203/055 , G02F2203/12 , G03B15/02 , G03B15/03 , G03B15/05 , G03B2215/0567 , G03B2215/0571 , G03B2215/0592 , H04N9/3161
Abstract: 本发明涉及光调制装置和激光加工装置。光调制装置(101A)包括:反射型SLM(107),其调制沿按第1方向延伸的第1光路而入射的激光(Lr);电介质多层膜镜(106),形成于使照明光(Li)透射的透光性部件(105)上,将从反射型SLM(107)而入射至前面的激光(Lr)反射到沿与第1方向相交叉的第2方向延伸的第2光路上,并将入射到背面的照明光(Li)在第2光路上透射;聚光透镜(109),从电介质多层膜镜(106)接收照明光(Li)和激光(Lr),并聚光照明光(Li)和激光(Lr)。
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公开(公告)号:CN103907048A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201280053042.0
申请日:2012-10-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: B23K26/064 , B23K26/032 , B23K26/0608 , G02F2203/12 , G02F2203/18 , G02F2203/50
Abstract: 在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中,取得激光的波长数、各个波长的值以及激光的入射条件(步骤S101),设定聚光点数、以及各个聚光点上的聚光位置、波长、聚光强度(步骤S104),对于各个聚光点,设定赋予激光的聚光控制图案(步骤S107)。然后,考虑聚光控制图案来设计呈现于空间光调制器的调制图案(S108)。另外,在调制图案的设计中,使用着眼于一个像素中的相位值的影响的设计法并且在评价聚光点上的聚光状态的时候使用加上了聚光控制图案的相反的相位图案的传播函数。由此,实现了能够适当地实现激光的聚光控制的光调制控制方法、程序、装置以及激光照射装置。
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公开(公告)号:CN102137731B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN200980133930.1
申请日:2009-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02F1/061
CPC classification number: G02B5/32 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/066 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2210/452 , G03H2225/32 , G03H2240/51
Abstract: 本发明涉及激光加工装置以及激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光,分别在二维排列的多个像素中展示调制激光的相位的全息图,并输出该相位调制后的激光。控制部(22)在存在于加工区域的聚光位置上使一部分相位调制后的激光(入射光)作为具有规定的阈值(X)以上的一定的能量的激光(贡献光)而聚光。另一方面,聚光在存在于加工区域的聚光位置上的贡献光以外的激光(不要光)在存在于非加工区域的聚光位置上作为具有不到规定的阈值(X)的能量的多个激光(非贡献光)而被分散并被聚光。
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公开(公告)号:CN101889238B
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN200880119574.3
申请日:2008-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13318 , G02F1/136277 , G02F2203/50 , G09G3/2092 , G09G3/3611 , G09G2300/0491 , G09G2320/02 , G09G2320/0285
Abstract: 本发明涉及相位调制装置以及相位调制方法。即使入射光的条件发生变化,该相位调制装置也能够高精度且简单地进行反射型电寻址空间光调制器的相位调制特性的修正。该LCOS型相位调制装置中,输入部输入输入光的条件,处理部对各像素设定输入值。修正值导出部对应于输入光的条件决定修正条件。控制输入值变换部基于修正条件,将对各像素所设定的输入值变换为修正后输入值。查找表处理部将修正后输入值变换为电压值,并使用相当于变换了的电压值的驱动电压来驱动各像素。
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公开(公告)号:CN102265208A
公开(公告)日:2011-11-30
申请号:CN200980152900.5
申请日:2009-12-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/06 , G02B21/086 , G02B26/0808 , G02B27/4205 , G02F2203/12
Abstract: 本发明涉及光控制装置以及光控制方法。光控制装置(1)具备光源(10)、棱镜(20)、空间光调制器(30)、驱动部(31)、控制部(32)、透镜(41)、缝隙(42)以及透镜(43)。空间光调制器(30)是相位调制型的空间光调制器,具有二维排列的多个像素,能够在4π以上的范围内进行这些多个像素的各个中的相位调制,显示在多个像素的各个中对光的相位进行调制的相位图案。该相位图案由用于光衍射的炫耀光栅图案和具有规定的相位调制分布的相位图案重叠而成,相位调制范围为2π以上。
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