一种具有表面电荷区结构的功率器件

    公开(公告)号:CN108550628A

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201810399461.9

    申请日:2018-04-28

    Abstract: 本发明提供一种具有表面电荷区结构的功率器件,包括由下至上依次设置的P衬底I(1)、浮空等位层(4)、P衬底II(2)和漂移区(5);所述漂移区(5)上设置有N+漏区、漏电极(10)、栅电极(12)、源电极(11)、N+接触区、P阱(7)以及P+源区;所述漂移区(5)的顶部且位于漂移区内设置有一系列横向且等距离分布的N+电荷区(6)而形成表面电荷区。本发明由于在漂移区表面设置一系列等间距的N+电荷区表面电荷区结构,表面电荷区产生界面电荷,增强了电荷区内电场,提高了器件横向耐压;界面电荷同时增强埋层纵向电场和纵向耐压,降低了漏极附近电场,防止器件表面过早击穿;由于采用等间距N+的表面电荷区结构,工艺简单可行,工艺容差较好,与常规CMOS工艺兼容。

    具有串联槽栅结构的多叠层功率器件

    公开(公告)号:CN108231902A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810010047.4

    申请日:2018-01-05

    Abstract: 本发明公开了一种能够提高器件耐压,降低比导通电阻的具有串联槽栅结构的多叠层功率器件;该结构的栅极采用了槽型结构,槽栅一直延伸到埋氧层,与p阱形成了纵向导电沟道,同时,槽栅与漂移区形成了纵向电子积累层,使电流传导区域在纵向得到显著扩展,降低了器件比导通电阻;漂移区包含多个与纵栅相连接P型的埋层,器件上部采用表面多晶硅氧化层结构,形成级联栅多个器件并联结构;采用该具有串联槽栅结构的多叠层功率器件,有效提高了器件的击穿电压和降低比导通电阻,使得电场分布更加均匀,形成多个级联导通电流。

    具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件

    公开(公告)号:CN108231870A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810010042.1

    申请日:2018-01-05

    Abstract: 本发明公开了一种能够产生界面电荷,增强了表面横向电场,提高了表面横向耐压的具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件。该具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件包括由上至下依次设置的漂移区、埋层一、衬底;所述漂移区的上方设置有埋层二,所述埋层二上方设置有表面结构;所述埋层二上设置有延伸到漂移区内的介质槽二,所述介质槽二沿横向均匀分布。采用该具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件击穿电压能够达到427V,传统槽栅结构击穿电压为258V,提升了65.5%。采用具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件等势线分布均匀,电荷屏蔽效应使得表面高压对漂移区的作用降低,大幅提高漂移区浓度,降低电阻,提高击穿电压。

    惯性传感器信号重构方法
    55.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106595661A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201611007932.4

    申请日:2016-11-16

    CPC classification number: G01C21/20 G06N3/006

    Abstract: 本发明公开了一种惯性传感器信号重构方法,首先,利用量子编码的叠加性构造蜜源,通过量子旋转门更新量子蜜蜂的搜寻方式,加速最优蜜源的搜索进程;然后针对量子蜂群算法易陷入局部最优的缺陷,引入一种自适应的量子交叉和量子变异方法对算法进行改进以产生新蜜源,提高种群多样性,避免算法陷入局部最优;进而选出与惯性传感器信号最为匹配的蜜源以完成信号的重构,实现在提高惯性传感器信号输出精度的同时满足信号实时处理的要求。本发明在缩短运行时间的同时,还提高了信号的信噪比,有利于惯性传感器信号的实时处理。

    一种多层堆叠的LDMOS功率器件

    公开(公告)号:CN111509038B

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202010481812.8

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 本发明公开一种多层堆叠的LDMOS功率器件,利用两个以上MOS器件单元堆叠所形成的双漂移区,而使得下方漂移区的顶部引入P重掺杂区和N重掺杂区,这样不仅增加一条新的电流路径,提升了开态时的工作电流;而且降低了下方漂移区栅漏两极的电场峰值,同时在器件内部引入了两个新的电场峰值,优化了器件的内部电场强度,改善器件内部的电场分布,从而提高了器件的耐压特性。此外,还通过在双漂移区之间引入轻掺杂的交叠浮空层辅助耗尽,以有效增加双漂移区的掺杂浓度,进一步改善耐压特性。再者,通过上部漂移区的底部引入重掺杂的单元内埋层和在双漂移区之间的轻掺杂区中引入重掺杂的单元内浮空层来进一步改善器件的耐压特性。

    一种偶极子共振超表面窄带极化转换器

    公开(公告)号:CN109473785B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201811568530.0

    申请日:2018-12-21

    Abstract: 本发明中的偶极子共振超表面窄带极化转换器能产生线宽较窄且峰值较高的透射峰,单层三孔缝超表面包括三个偶极子共振器,由巴比涅效应,在前向传播时,入射于下层超表面的第二矩形孔缝的电磁波为x线极化波,才会激发基于明暗两种模式干涉的法诺共振,法诺共振具体上由偶极子的同相振荡与失相振荡的干涉引起,偶极子的振荡经中层超表面的旋转孔缝的旋转作用后,与上层超表面的第一矩形孔缝进行互作用,从而产生沿y方向极化的线极化波,由此产生了非对称传输现象,这类非对称传输现象可以用于滤波器、极化开关、波分复用器中。

    基于几何相位的集成超透镜设计
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116661024A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310620408.8

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 几何相位型超表面受光束偏振态的影响,单元结构仅在特定偏振方向发生变化且产生对应的相位延迟,而偏振片的加入会导致入射光能量大大减小,使光学器件的能量利用率偏低。本设计提出一个双层级联结构,在衬底下方排列周期性的金椭圆柱阵列,使之进入的线偏振光转换为圆偏振光,作用相当于四分之一波片;在衬底上方利用几何相位原理排列不同方向角的TiO2矩形块,使转化后的圆偏振光在通过后会聚一点,达到聚焦效果。将该设计和数值孔径相同,但无偏振转换的圆偏振入射的超透镜做对比,有效验证了该集成超表面的偏振转换与聚焦功能。这样的设计思路不仅可以应用于超透镜聚焦,还可以应用在消色差超透镜上。

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