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公开(公告)号：CN205991806U
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201620679379.8
申请日：2016-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司 , 意法半导体国际有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: G01C19/5776 , G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 本实用新型涉及微机电陀螺仪和电子系统。其中一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，
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公开(公告)号：CN205873893U
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201620241631.7
申请日：2016-03-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/0048 , B81C1/00325 , H01L23/055 , H01L23/13 , H01L23/16 , H01L2224/32145 , H01L2224/48145 , H01L2224/48235 , H01L2224/73265 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/15153 , H01L2924/15313 , H01L2924/16195 , H01L2924/16251 , H01L2924/3511 , H01L2924/00012
Abstract: 本申请涉及半导体材料的密封器件。提供一种半导体材料的密封器件，其中半导体材料的芯片(56)通过至少一个柱元件(60)固定至封装本体(51)的基础元件(52)，柱元件具有比芯片大的弹性和可变形性，例如低于300MPa的杨氏模量。在一个实例中，四个柱元件(60)固定为与芯片的固定表面(56A)的角部邻近并且操作为非耦合结构，这防止将基础元件的应力和变形传递至芯片。从而提供对热机械应力敏感度降低的半导体材料的密封器件。
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公开(公告)号：CN217404317U
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202121746092.X
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统加速度计和设备，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，它们各具有相应第一端部和相应第二端部。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。微机电加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构。本加速度计能够以高灵敏度来检测具有相对较高频率的振动，同时可以受益于对由杂散电压引起的杂散静态效果的高度免疫。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209043927U
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201821403583.2
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及惯性传感器和MEMS器件。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，并偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是第一时间间隔期间的振荡频率的值与第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。由此提供性能改善的惯性传感器和MEMS器件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208479584U
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201820784678.7
申请日：2018-05-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开提供了具有改进的电气特征的微机电谐振器以及电子设备。一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构，移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。通过本公开，能够使MEMS谐振器的能量损失最小化，导致了高品质因子Q以及随之提高了在功耗方面的性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207601108U
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201720310128.7
申请日：2017-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了集成MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206514863U
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201621101959.5
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5712
Abstract: 本实用新型涉及一种MEMS多轴陀螺仪(42)和一种电子设备。多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a‑14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置；感测块布置，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a‑25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a‑26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。
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公开(公告)号：CN203011387U
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201220442145.3
申请日：2012-08-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5719 , G01P15/14
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/574 , G01P15/125
Abstract: 本实用新型的实施例涉及一种微机电设备和电子系统。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。
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