公开(公告)号：CN102997905B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210323167.2

申请日：2012-08-28

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： B·希莫尼 ,  C·瓦尔扎希纳

IPC: G01C19/5719 ,  G01P15/14

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明的实施例涉及一种含有陀螺仪和加速计的微机电设备。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。

公开(公告)号：CN102997905A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210323167.2

申请日：2012-08-28

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： B·希莫尼 ,  C·瓦尔扎希纳

IPC: G01C19/5719 ,  G01P15/14

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明的实施例涉及一种含有陀螺仪和加速计的微机电设备。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。

公开(公告)号：CN101987718B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201010288878.1

申请日：2010-08-02

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡扎尼加 ,  L·科罗纳托 ,  B·希莫尼

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。

公开(公告)号：CN101987718A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN201010288878.1

申请日：2010-08-02

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡扎尼加 ,  L·科罗纳托 ,  B·希莫尼

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。

公开(公告)号：CN203011387U

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201220442145.3

申请日：2012-08-28

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： B·希莫尼 ,  C·瓦尔扎希纳

IPC: G01C19/5719 ,  G01P15/14

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

Abstract: 本实用新型的实施例涉及一种微机电设备和电子系统。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。