公开(公告)号：CN101898744B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN200911000165.4

申请日：2009-12-23

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡札尼加 ,  L·科罗纳托 ,  G·卡卡特拉

IPC: G01C19/5656 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81B3/0018 ,  G01C19/5712 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明涉及增强抑制加速度噪声的微机电陀螺仪。一种一体式微机电结构(30；30’；30”)具有：驱动质量块(3)，通过弹性锚固元件(8a、8b)与基体(2a)锚固，并设计为在平面(xy)内由驱动运动致动；以及第一敏感质量块(15a；15a’)和第二敏感质量块(15b；15b’)，悬浮在所述驱动质量块(3)内并通过各个弹性支撑元件(18)与其联接，从而在所述驱动运动中与所述驱动质量块固定并响应于角速度执行各自的检测运动。尤其，第一敏感质量块(15a；15a’)和第二敏感质量块(15b；15b’)通过弹性联接元件(32a，32b)连接在一起，从而构造成将它们的振动模式耦合在一起。

公开(公告)号：CN101898744A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200911000165.4

申请日：2009-12-23

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡札尼加 ,  L·科罗纳托 ,  G·卡卡特拉

IPC: B81B7/02 ,  G01C19/56

CPC classification number: B81B3/0018 ,  G01C19/5712 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明涉及增强抑制加速度噪声的微机电陀螺仪。一种一体式微机电结构(30；30’；30”)具有：驱动质量块(3)，通过弹性锚固元件(8a、8b)与基体(2a)锚固，并设计为在平面(xy)内由驱动运动致动；以及第一敏感质量块(15a；15a’)和第二敏感质量块(15b；15b’)，悬浮在所述驱动质量块(3)内并通过各个弹性支撑元件(18)与其联接，从而在所述驱动运动中与所述驱动质量块固定并响应于角速度执行各自的检测运动。尤其，第一敏感质量块(15a；15a’)和第二敏感质量块(15b；15b’)通过弹性联接元件(32a，32b)连接在一起，从而构造成将它们的振动模式耦合在一起。

公开(公告)号：CN101987718A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN201010288878.1

申请日：2010-08-02

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡扎尼加 ,  L·科罗纳托 ,  B·希莫尼

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。

公开(公告)号：CN101987718B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201010288878.1

申请日：2010-08-02

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡扎尼加 ,  L·科罗纳托 ,  B·希莫尼

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。

公开(公告)号：CN101920927B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN200910258473.0

申请日：2009-11-26

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·科罗纳托 ,  G·卡扎尼加 ,  S·泽比尼

IPC: B81B7/02 ,  G01C19/02

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明涉及具有旋转传动和改善的电性质的微电子机械陀螺仪，其具有：芯片(2)，具有衬底(2)和框架(2b)，其内限定检测区域(2c)并具有沿第一水平轴(x)延伸的第一侧边；驱动块(3)，锚定到衬底(2)，设置在检测区域(2c)中，并设计成在平面(xy)内旋转，进行围绕垂直轴(z)的激励运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块，通过弹性支撑元件(20)悬在驱动块(3)内，以在激励运动中相对于驱动块(3)固定并响应第一角速度()执行离开平面(xy)的旋转检测运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块在方向(x1，x2)上对齐，相对于第一水平轴(x)具有相反符号的非零倾斜。

公开(公告)号：CN101920927A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200910258473.0

申请日：2009-11-26

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·科罗纳托 ,  G·卡扎尼加 ,  S·泽比尼

IPC: B81B7/02 ,  G01C19/02

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明涉及具有旋转传动和改善的电性质的微电子机械陀螺仪，其具有：芯片(2)，具有衬底(2)和框架(2b)，其内限定检测区域(2c)并具有沿第一水平轴(x)延伸的第一侧边；驱动块(3)，锚定到衬底(2)，设置在检测区域(2c)中，并设计成在平面(xy)内旋转，进行围绕垂直轴(z)的激励运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块，通过弹性支撑元件(20)悬在驱动块(3)内，以在激励运动中相对于驱动块(3)固定并响应第一角速度()执行离开平面(xy)的旋转检测运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块在方向(x1，x2)上对齐，相对于第一水平轴(x)具有相反符号的非零倾斜。

公开(公告)号：CN101717065A

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200910211676.4

申请日：2009-09-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·卡扎尼加 ,  L·科罗纳托

IPC: B81B7/02 ,  B81B5/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0013 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242

Abstract: 一种微机电设备(100)具有第一结构元件(6)、可相对于第一结构元件(6)移动的第二结构元件(10)、以及弹性支撑结构(12)，其在第一和第二结构元件(6)之间延伸以允许第一和第二结构元件之间的相对移动；该微机电设备还具有抗黏滞结构(1)，其包括至少一个柔性元件(2)，其仅相对于第一结构元件(6)固定，并且在静止状态下，所述至少一个柔性元件被设置在离第二结构元件(10)的第一距离(l1)处。抗黏滞结构(1)被设计为在大于第一距离(l1)的量的相对移动的情况下，在第一和第二结构元件之间产生排斥力(Frep)。