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公开(公告)号：CN1988080B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN102190286A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN102134051A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010570789.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01P1/12
Abstract: 本发明公开一种电子器件，其包括衬底，所述衬底包括有源层；信号电极，所述信号电极形成于所述有源层的表面上；第一驱动电极，所述第一驱动电极形成于所述有源层的所述表面上，并且连接到接地；和第二驱动电极，所述第二驱动地电极包括第一部分和第二部分，所述第一部分形成于所述有源层的所述表面上，所述第二部分连接到所述第一部分，并且所述第二部分设置在所述第一驱动电极上方。所述衬底具有环状凹槽，所述环状凹槽穿透所述有源层并且围绕所述第一部分。
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公开(公告)号：CN101241228B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810083322.1
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。
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公开(公告)号：CN101859643A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010124349.8
申请日：2010-02-26
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分，可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方，并可相对于固定电极移动，固定部分隔着介电层固定到固定电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101764593A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910265526.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H7/0123 , H01P1/203 , H01P1/20381 , H01P1/2135 , H01P1/2136 , H01P3/082 , H03H7/0153
Abstract: 本发明提供一种滤波器、通信模组以及通信装置。其中滤波器包括：衬底；形成于衬底上的信号线，包括信号线两端处的输入端子和输出端子；以及第一对谐振线，连接在信号线和接地部分之间，其中，所述第一对谐振线在相同点连接到信号线。
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公开(公告)号：CN101295809A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810094844.1
申请日：2008-04-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2013 , H01G5/40 , H01P1/203 , H01P11/007 , H03H7/0123 , H03H7/0153 , H03H7/175 , H03H7/1775
Abstract: 本发明提供一种适用于降低驱动电压的可变滤波器元件和可变滤波器模块。该可变滤波器元件包括衬底、两条地线和位于所述两条地线之间的信号线，其中这些线被设置为在所述衬底上平行延伸。该滤波器元件还包括：可移动电容器电极，其桥接在所述两条地线之间，并具有面对所述信号线的部分；驱动电极，其位于所述信号线和地线之间，并对所述可移动电容器电极产生静电引力；以及设置在所述衬底中的地线，其具有面对所述信号线的部分，并接地。所述可移动电容器电极和所述地线构成地互连部，而所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线。
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公开(公告)号：CN100424539C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200610074386.6
申请日：2006-04-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/3584 , Y10S359/90
Abstract: 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。
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公开(公告)号：CN101241228A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810083322.1
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。
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公开(公告)号：CN100410724C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200610059745.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08 , H01L29/84 , G01P15/125 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/033
Abstract: 本发明提供梳齿电极对的制造方法，由材料衬底制造一对梳齿电极，材料衬底包括第一、第二导电层和位于它们之间的绝缘层。梳齿电极包括第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体和由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。在第一导电层上形成预备第一掩模图案；在预备第一掩模图案和第一导电层上形成第二掩模图案；进行蚀刻以由预备第一掩模图案形成第一掩模图案；进行蚀刻以在第一导电层中形成第一导体和第一剩余掩模部分；进行蚀刻以在绝缘层中形成绝缘体和第二剩余掩模部分；去除第二掩模图案；进行蚀刻以去除第一剩余掩模部分并在第二导电层中形成第二导体和第二梳齿电极。
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