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公开(公告)号：CN102161199A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110062736.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102152297A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062767.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/02 , B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的串联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径要求过大，而结构本身的限制又使R轴的大臂、小臂及取片臂无法做的更大时，采用串联型R轴扩展机械臂是一种有效的解决途径。串联型R轴扩展机械臂的动力由独立的直线驱动模块输出，由计算机统一控制其工作程序；当需要R轴的回转半径加大时，串联型R轴扩展机械臂的直线驱动模块驱动执行机构开始向前运动，带动FORK组合的工作位置前伸，从而额外获得以R轴旋转中心为圆心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102126208A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN101327592B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200810064983.X
申请日：2008-07-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种集成压阻微力检测的四臂式MEMS微夹持器，它包括梳齿静电驱动结构、末端夹持结构、支撑结构和力检测结构，梳齿静电驱动结构由定齿和动齿组成，在定齿和动齿上加载电压，在静电力作用下，动齿向定齿运动，末端夹持结构设计四个夹持臂，中间的两个臂在动齿的驱动下向两侧的臂贴近，完成夹持；两侧的臂固定，上面集成了压阻，负责检测夹持力的大小。支撑结构将动齿悬空，并起到支撑作用，在静电力消失后利用自身弹性将动齿恢复到初始位置。力检测结构为夹持端的固定臂，在其根部两侧集成了侧壁压阻，实现对夹持力的检测，其中压阻结构、工艺简单，集成性好。整体结构加工在一片单晶硅上，通过硅玻璃键合，实现硅结构的支撑和绝缘。
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公开(公告)号：CN101436562A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810209690.6
申请日：2008-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J3/00 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1319892C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1792937A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1770615A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510010339.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电容。对电荷反馈压电陶瓷电源进行了性能测试，当加在压电陶瓷上电压70V左右，定位6秒位移变化情况，在该电源的驱动下，0－7.4um位移变化量，压电陶瓷50ms达到稳定；压电陶瓷输出位移纹波在－0.05－+0.05um波动，几乎没有蠕变现象。
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公开(公告)号：CN1731081A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台19与X轴宏动平台16之间设有X轴柔性铰链17，X轴压电陶瓷18设置在X轴微动平台19内，内导向板28和外导向板30之间固定有缓冲铰链29，Y轴压电陶瓷24的一端与Y轴微动平台23相连接，两个轴承34分别与Y轴宏/微动平台8上的内导向板28和外导向板30滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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公开(公告)号：CN111744723B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202010574087.9
申请日：2020-06-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种激光陀螺腔体衬套自动装配系统，涉及精密仪器设备技术领域，针对现有技术中激光陀螺腔体衬套手工装配精度低、一致性差且效率低的问题的问题，本发明采用各装夹机构的气缸从衬套及腔体的内外侧的非装配面进行夹持固定，通过检测机构的电感测微仪快速测得零件在系统中精确位置后，由涂胶机构完成变粘度胶液的均匀涂敷，由精密电机带动零件运动进行自动装配；基于显微视觉对装配结果自动检测和调整，直至产品同轴度满足装配要求。具有装配精度高、涂胶均匀、装配效率高、产品一致性好等优点。
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