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公开(公告)号：CN101327592A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810064983.X
申请日：2008-07-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种集成压阻微力检测的四臂式MEMS微夹持器，它包括梳齿静电驱动结构、末端夹持结构、支撑结构和力检测结构，梳齿静电驱动结构由定齿和动齿组成，在定齿和动齿上加载电压，在静电力作用下，动齿向定齿运动，末端夹持结构设计四个夹持臂，中间的两个臂在动齿的驱动下向两侧的臂贴近，完成夹持；两侧的臂固定，上面集成了压阻，负责检测夹持力的大小。支撑结构将动齿悬空，并起到支撑作用，在静电力消失后利用自身弹性将动齿恢复到初始位置。力检测结构为夹持端的固定臂，在其根部两侧集成了侧壁压阻，实现对夹持力的检测，其中压阻结构、工艺简单，集成性好。整体结构加工在一片单晶硅上，通过硅玻璃键合，实现硅结构的支撑和绝缘。
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公开(公告)号：CN100362641C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块的一侧加工有用来安放加热棒的圆孔，在加热块的另一侧有用来安装温度传感器的圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块上的相应的圆孔中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN100372088C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200610009745.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN101037186A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710071879.9
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01L2224/78 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明提供的是基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备，它包括底座。在底座上设置有X轴工作台、Y轴工作台和显微镜，在工作台的上方设置有键合头，在底座上还设置有可升降支架，显微镜安装在可升降支架上并且在显微镜上设置有Z轴步进电机，显微镜上安装有放大倍数自动调节机构。由于引入了连续变倍显微镜，解决了大视野范围、高精度显微视觉定位问题，利用图象处理算法实现了整个键合操作的自动化，对批量化MEMS引线键合作业的实现起到了积极地推动作用。
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公开(公告)号：CN1850008A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610010024.0
申请日：2006-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于生物医学中生物组织切片的切割、分离方法。压电超声显微切割方法，它克服了手工完成组织切片的切割、分离致使工作强度大、操作者易疲劳、误差大的缺陷。它通过下述步骤完成：使后端固定于微动机械平台(1)上的微切割刀具(2)的尖端贴近生物组织(3)的表面，(1)为具有空间三个坐标方向运动自由度的微动平台；使(2)切入(3)；使(2)在(1)的驱动下，在水平面内进给运动，从而切割分离出生物组织切片，在进给运动的过程中，(2)始终沿其自身长度方向进行超声振动。本发明切割时，微切割刀具在高精度的(1)驱动下沿预定切割轨迹运动，微切割刀具不断作超声振动，在超声的作用下，切割更容易，生物组织切片的边缘更平滑，切割后组织可以直接进行下一步分析，不需要后续处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1815705A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块上开有加热棒和温度传感器安装圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101021944B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710071880.1
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 本发明提供了一种基于小波函数的多尺度显微图像分割处理方法。步骤为：1.首先将一幅图像分成32×32的小图像块，经小波高平能量评价函数分别计算得到特征值；2.采用K-means聚类方法将步骤1得到的图像块分成两类，将每一图像块对应的特征值与预先设定的阈值比较，判定该图像块是背景或者目标；3.对各图像块进一步分解，则任一图像块被再次分成4个小图像块，最终分解到预先设定的最大分割尺度；4.计算新产生的图像子块特征值和平均灰度值，进一步判定图像块为目标或是背景。本发明针对半离焦图像的特点采用了基于清晰度评价函数的显微图像分割以及K-means聚类方法，实现了显微图像聚焦离焦部分的分离。
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公开(公告)号：CN101372310A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064888.X
申请日：2008-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于体硅工艺的纳米级定位平台及其垂直侧壁表面压阻加工方法。整个定位平台主要由作为结构层的硅与作为衬底的玻璃通过阳极键合加工而成，它包括载物台、侧向平动静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁和柔性支撑梁，载物台位于整个定位平台的中心位置，通过呈十字分布的四个柔性支撑梁、折叠梁和检测梁支撑在整个平台中心，侧向平动静电梳齿致动器位于检测梁和折叠梁之间。本发明集结构、驱动和位移检测于一体的，并利用垂直侧壁表面压阻加工技术，把基于压阻检测原理的位移传感器集成到纳米定位平台的检测梁上，从而进一步提高了定位平台的定位精度和应用空间。
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公开(公告)号：CN1875893A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610010025.5
申请日：2006-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于压电超声振动的显微切割装置，本发明属于生物医学中生物组织切片的切割、分离装置。它克服了手工完成生物组织切片的切割、分离工作时操作者工作强度大、易疲劳、人为误差不可避免的缺陷。它由计算机(1)、显微镜(2)、CCD摄像头(3)、空间三自由度机械微动台(4)、夹具体(5)、超声振动发生器(6)、切割针(7)、生物切片载台(8)和刀具杆(11)组成，(2)设置于(8)的开孔的下方，(3)与(2)相连接以采集(2)所放大的物像，(3)的信号输出端连接(1)的信号输入端，(4)设置在(8)的侧面处，(1)的一个信号输出端连接(4)的受控端，(5)固定在(4)的上表面上，(11)固定在(5)上，(11)的一端与(6)的一端相固定，(6)的另一端与(7)的根端相固定，(7)的尖端伸向(8)的上表面，(1)的另一个信号输出端连接(6)的输入端。
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公开(公告)号：CN1834601A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610009745.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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