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公开(公告)号：CN102623375B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN102290360B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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公开(公告)号：CN102176424B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN102176423B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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公开(公告)号：CN102126208B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102152316A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062744.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J17/00
Abstract: 一种硅片传输机器人R轴结构，具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构，包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点，是使用1个十字交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构，使传动轴的长度有效减短，从而降低了R轴大小臂的高度空间，并由此引发一系列功能的改善。
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公开(公告)号：CN101865215A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高精度的同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
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公开(公告)号：CN101053864B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200710072211.6
申请日：2007-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B06B3/02 , B06B1/06 , B23K20/10 , H01L21/607
Abstract: 本发明提供的是一种并联复合式超声波能量传输装置。它包括并联复合式超声波变幅杆、压电超声换能器以及变幅杆前端的工作劈刀。两套单向振动变幅杆在工作端刚性连接，并联复合式超声波变幅杆通过弹性梁固定在音圈电机的动平台上。本发明提出了一种新型的并联复合式超声波能量传输装置，用来提高引线键合效率。本发明既满足增大超声波变幅杆末端劈刀轨迹覆盖面积的要求，同时，增大了超声波能量密度，减少键合时间，达到提高键合效率的目的。
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公开(公告)号：CN101037186A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710071879.9
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01L2224/78 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明提供的是基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备，它包括底座。在底座上设置有X轴工作台、Y轴工作台和显微镜，在工作台的上方设置有键合头，在底座上还设置有可升降支架，显微镜安装在可升降支架上并且在显微镜上设置有Z轴步进电机，显微镜上安装有放大倍数自动调节机构。由于引入了连续变倍显微镜，解决了大视野范围、高精度显微视觉定位问题，利用图象处理算法实现了整个键合操作的自动化，对批量化MEMS引线键合作业的实现起到了积极地推动作用。
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公开(公告)号：CN1779936A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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