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公开(公告)号：CN1731081A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台19与X轴宏动平台16之间设有X轴柔性铰链17，X轴压电陶瓷18设置在X轴微动平台19内，内导向板28和外导向板30之间固定有缓冲铰链29，Y轴压电陶瓷24的一端与Y轴微动平台23相连接，两个轴承34分别与Y轴宏/微动平台8上的内导向板28和外导向板30滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103410440A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310387231.8
申请日：2013-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: E21B7/00
Abstract: 一种蠕动掘进式星壤潜入器，包括：掘进单元、进尺单元、定姿单元，其特征在于：掘进单元中，主掘进电机安装在主机架上，电机轴与花键传动轴相连，花键传动轴与掘进头连接，掘进头与主机架之间安装有密珠轴承，主机架与掘进头之间安装有调力弹簧和压力传感器；掘进头可相对于主机架转动和向下移动实现回转下潜，而下潜压力可以通过调力弹簧和压力传感器进行调节和监控。本发明的有益效果是：结构精巧，设计合理，自动化控制运转，工作过程平稳有序，专门为星体探测设计使用。
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公开(公告)号：CN1731083A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器1和纳米级光栅位移传感器2的输出端分别连接计数及切换电路3的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器1检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器2检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN103410440B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310387231.8
申请日：2013-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: E21B7/00
Abstract: 一种蠕动掘进式星壤潜入器，包括：掘进单元、进尺单元、定姿单元，其特征在于：掘进单元中，主掘进电机安装在主机架上，电机轴与花键传动轴相连，花键传动轴与掘进头连接，掘进头与主机架之间安装有密珠轴承，主机架与掘进头之间安装有调力弹簧和压力传感器；掘进头可相对于主机架转动和向下移动实现回转下潜，而下潜压力可以通过调力弹簧和压力传感器进行调节和监控。本发明的有益效果是：结构精巧，设计合理，自动化控制运转，工作过程平稳有序，专门为星体探测设计使用。
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公开(公告)号：CN100342211C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器和纳米级光栅位移传感器的输出端分别连接计数及切换电路的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN1306247C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台(19)与X轴宏动平台(16)之间设有X轴柔性铰链(17)，X轴压电陶瓷(18)设置在X轴微动平台(19)内，内导向板(28)和外导向板(30)之间固定有缓冲铰链(29)，Y轴压电陶瓷(24)的一端与Y轴微动平台(23)相连接，两个轴承(34)分别与Y轴宏/微动平台(8)上的内导向板(28)和外导向板(30)滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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