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公开(公告)号：CN103884659A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410057831.2
申请日：2014-02-20
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/25
Abstract: 本发明公开了一种角分辨微纳光谱分析装置，包括入射光路、反射光路和透射光路。入射光路为装置提供入射光；反射光路是由样品反射光形成的光路，用于测量样品角分辨反射傅里叶信息；透射光路是由样品透射光形成的光路，用于测量样品角分辨透射傅里叶信息。本发明通过获取样品反射和透射光谱成像信息，对样品进行表征，能够用于微纳光子晶体的测量。其中，接收端探测器通过自动化控制电机使光纤探测器能够接收样品不同反射角度的光谱信息。
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公开(公告)号：CN115189226B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202210782463.2
申请日：2022-07-05
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种Si‑GaN悬空波导单模激光器及制备方法、电调控系统及方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、N型氮化镓层，量子井层，P型氮化镓层和设置在氮化镓层上表面的电极。悬臂梁和两侧电极支架构成器件主体，电极结构则采用悬臂梁配合电极正下方支撑体的结构。本发明在硅衬底上的氮化物材料上，利用光刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺，实现两侧引脚支持结构的上下分层，以达到控制电流导通的目的，并用蒸镀方法制备Au电极结构。本发明在光激发条件下通过光谱仪对出射激光进行光谱分析协同电源对电流的调节引入焦耳热构成负反馈机制，实现对出射激光的模式的调控。
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公开(公告)号：CN119562757A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411737522.X
申请日：2024-11-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种在高阻硅片衬底上基于悬浮纳米电极的太赫兹忆阻射频开关及其制备方法，包括衬底，衬底的上表面设置有连接层，连接层的上表面设置有惰性电极层，惰性电极层上表面设置有Nafion介质层，Nafion介质层上表面设置有活性电极层，活性电极层上表面设置有惰性金属层，该设计中的射频开关以Nafion离子交换膜为主要材料，包括从下至上一次设置的硅衬底层、铬连接层、惰性底层电极、Nafion薄膜中间层、活性顶层电极以及惰性金属保护层。在硅衬底层通过刻蚀工艺制备突起型微结构，实现惰性电极悬空，整个忆阻射频开关主要由两个电极和一个中间层叠加构成，通过对活性电极连接正极，惰性电极连接负极，施加开启、关断电压展现非易失性。
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公开(公告)号：CN113624992B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202110847839.9
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/093 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法，所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构，质量块设置在悬空波导结构的中间位置；悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极，其中，量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧，硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上，制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成，具有更高的分辨率和灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117870847A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202310203589.4
申请日：2023-03-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于覆盖MoS2感光层的GaN悬臂梁发光二极管的声波传感器。包括硅衬底，硅衬底上设置有第一引脚支撑和第二引脚支撑，二者都通过硅柱固定在硅衬底上。第一引脚支撑和第二引脚支撑之间通过第一悬臂梁支撑和第二悬臂梁支撑连接，构成一个中间有长条状空腔的双桥结构。第一引脚支撑侧及中间双桥结构部分由下至上依次设置有n‑GaN层，量子阱层，p‑GaN层，第一引脚电极，构成发光二极管。第二引脚支撑上设置有第二引脚电极。双桥结构长条状空腔顶部设置有MoS2薄膜。本发明利用MoS2薄膜随声波振动的物理特性和在发光二极管激发下的发光特性，通过光电探测器监测MoS2发出的光功率变化，并汇总到电源控制和监测模块上，实现声波传感功能。
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公开(公告)号：CN117606753A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311429789.8
申请日：2023-10-31
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种程控式空间光谱分布测试系统，包括包括彼此通信连接的控制模块（1）、多维运动模块、光谱采集模块和载物台；控制模块（1）用于对多维运动模块发出控制信号，并接收光谱采集模块所采集的光谱信息；光谱采集模块包括光谱采集探头，光谱采集探头用于面向载物台上方的自发光待测物进行光谱采集工作。本发明使用电脑一键式控制全部过程：由LabView程序统一控制系统实现PC端给出信号、待测物电源接通、样品发光、CCD辅助成像、样品采集位置调整，对自发光待测物外边缘的不同角度进行全面光谱采集，以及后续的具体数值数据对比和保存等功能。
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公开(公告)号：CN114256735B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202111355966.3
申请日：2021-11-16
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物外延片为载体，包括自下而上依次设置的硅衬底层、设置在硅衬底底层上表面的n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的二硫化钼层、p型电极、设置在n型氮化镓层上表面中心的n型电极；激光器具有圆环微腔结构，圆环微腔结构的下方由硅衬底层支撑。制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀、电子束蒸镀工艺制备悬空圆环结构的氮化物微腔，将二维材料沉积在p型氮化镓表面，作为频梳的发光区，在圆环发光区和环形微腔增益区重合的表面蒸镀Ni/Au，在圆环中心的n型氮化镓表面蒸镀Ni/Au，最终制备电泵浦光频梳激光器。
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公开(公告)号：CN116499460A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310470161.6
申请日：2023-04-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法，该惯导系统以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个惯导系统由4个p型和4个n型电极首尾相连，构成一个正八边形，分别测量东西南北以及东北、东南、西北、西南八个方向的角速度和线速度。
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公开(公告)号：CN116477562A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310472870.8
申请日：2023-04-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于电泵浦片上InGaN量子肼梁三轴加速度计的设计及其制备方法，该三轴加速度计以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个三轴加速度计由2个p型和2个n型电极首尾相连，构成一个正四边形，可以测量水平方向x轴和y轴以及垂直方向z轴的加速度。
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