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公开(公告)号：CN105337168A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510667065.6
申请日：2015-10-16
Applicant: 南京邮电大学
Inventor： 朱刚毅 , 金明俐 , 陆良宇 , 马少鹏 , 王永进 , 李欣
IPC: H01S5/343 , H01S5/10
Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化物回音壁激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备非对称氮化物悬空薄膜微腔，在合适的光泵浦条件下，获得单方向发射的回音壁模激光。
