公开(公告)号：CN104904004A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201380069904.3

申请日：2013-01-09

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触，从而板状工件(W)从粘附部(1)被剥离。之后，在保持使剥离部(2)的按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触的状态下，使板状工件(W)的周围大气开放，从而空气通过流路(2p)从剥离部(2)的外侧空间(S2)向内侧空间(S1)流入，剥离部(2)的内侧空间(S1)与板状工件(W)之间被真空破坏。

公开(公告)号：CN104369517A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201410405931.X

申请日：2014-08-13

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 坂下光邦 ,  大谷义和

IPC: B32B37/10 ,  B32B37/12

CPC classification number: B32B37/10 ,  B32B37/12

Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板(1)保持于腔室(14)内的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向即Z方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下驱动机构的按压部通过空间部且沿厚度方向与第一基板的膨胀部抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此压扁膨胀部使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。

公开(公告)号：CN103620487A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280029086.X

申请日：2012-04-19

Applicant: 信越工程株式会社 ,  株式会社FK光实验室 ,  WI-A公司

Inventor： 大谷义和 ,  内山一荣 ,  立川洁 ,  远藤润二 ,  川越康弘 ,  尹炯烈 ,  桥诘幸司

IPC: G02F1/1337 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3066 ,  G02B7/003 ,  G02F1/133788

Abstract: 本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使来自偏振光照射单元(2)的紫外线沿既定的扫描方向扫描，单位起偏器(31)的邻接面以及单位起偏器(31)的邻接方向相对于扫描方向倾斜。从而在光定向照射装置中谋求实现良好的定向特性。

公开(公告)号：CN102598091A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080003057.7

申请日：2010-08-30

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: G09F9/00 ,  C09J5/00 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  C09J5/00 ,  C09J2203/318 ,  G02F1/13338 ,  G02F2001/133325 ,  G02F2001/133331 ,  G02F2001/133354 ,  G02F2202/28

Abstract: 本发明提供一种显示面板的制造方法及其制造系统，其在完全无气泡的状态下且以均等的间隙粘接电光面板与基板。首先，通过电光面板(1)和基板(2)的对置面(1a、2a)彼此在真空气氛中夹着液状粘接剂(3)向Z方向重叠，使液状粘接剂(3)沿着对置面(1a、2a)强制地伸展。接着，通过使液状粘接剂(3)在电光面板(1)与基板(2)之间自然伸展，液状粘接剂(3)中的部分真空等消失，液状粘接剂(3)成为大致静止稳定的状态，液状粘接剂(3)的层厚在电光面板(1)及基板(2)的整个对置面(1a、2a)向Z方向成为大致均等，从而成为不需要进一步调整间隙的状态。之后，在大气中将电光面板(1)及基板(2)中的任意一方相对于另一方向XYθ方向相互移动而对位时，仅使放在大致均等层厚的液状粘接剂(3)上的电光面板(1)或基板(2)中的任意一方沿着液状粘接剂(3)的界面顺畅地滑动即可而不进行加压，所以液状粘接剂(3)不会变形流动且不会卷入空气。

公开(公告)号：CN101061528A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200580023347.7

申请日：2005-09-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  大谷义和

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: H01L21/6875 ,  G02F1/136277 ,  H01J2209/00 ,  H01L21/68757

Abstract: 本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面(1)上分散地凹入设置多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央，朝向基板(D)突出而安装比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使这些两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上以平坦状进行平面承接并进行保持，从而，在由弹性材料构成的平面承接板(4)的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板(4′)与基板(D)接触，其固定板(3)或该平面承接板(4′)朝向空隙部(2)弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部(2)，由此，厚度尺寸大的平面承接板(4′)沉入到空隙部(2)侧，从而与其他的平面承接板(4)形成平坦化。

公开(公告)号：CN1985288A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200580023277.5

申请日：2005-09-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  大谷义和 ,  板下光邦

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1333

Abstract: 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。

公开(公告)号：CN1568493A

公开(公告)日：2005-01-19

申请号：CN03801164.6

申请日：2003-04-18

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 关川利夫 ,  横田明义 ,  石坂一朗

IPC: G09F9/00 ,  H01J9/26 ,  G02F1/13

CPC classification number: H01J9/241 ,  G02F1/1341 ,  H01J9/24 ,  H01J9/261

Abstract: 提供一种平面板用基板之粘合装置，其不须使用XYθ台即可在真空中从外部使两基板顺畅进行XYθ移动而完成对位。以移动密封机构(4)使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间维持密闭状态并使密闭空间(S)内维持真空状态下，用配设于密闭空间(S)外的定位用移动机构(8)，使两基板(1、2)相对地在XYθ方向进行调整移动，据此使位置调整机构(5)往相同方向移动，以进行两基板(A、B)彼此间的对位，并利用该位置调整机构(5)所具备的Z方向上的高刚性，而使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间保持规定间隔，因此使移动密封机构(4)所承受的支承阻力保持在适当值。

公开(公告)号：CN1449303A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN01814678.3

申请日：2001-10-24

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大野田忠与 ,  坂井郁夫

IPC: B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/302

CPC classification number: C23C16/45578 ,  B01J19/123 ,  B01J2219/0875 ,  B08B7/0057 ,  C23C16/455 ,  C23C16/482 ,  C23C16/54 ,  Y10T117/10

Abstract: 一种准分子UV光反应装置，自反应性气体供应机构(1)将反应性气体(C)仅集中供应至被照射体(A)上的活性区域(A1)，从而在低温环境气氛下促进准分子UV与反应性气体(C)的光化学反应，由于对该化学反应不活泼的区域(A2)不供应反应性气体(C)，不致造成浪费，故即使不使用气体供应能力大的反应性气体供应源已足够。因此，能以简单构成且在低温环境气氛下稳定地进行光化学反应。

公开(公告)号：CN117043836A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202180094651.X

申请日：2021-07-20

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: G09F9/00

Abstract: 本发明提供一种即使不利用特别的对准标记或布线等也能够高精度地贴合显示体构成要素图案形成到基板端部附近的显示基板的装置及方法。一种显示基板的贴合装置，其进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合，其特征在于，具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构，所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板的特征及所述第二基板的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点，所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理，以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点，然后完成位置对准，并且进行贴合。

公开(公告)号：CN115315346A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202180023060.3

申请日：2021-03-11

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  稻叶亮一

IPC: B29C59/02

Abstract: 本发明提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。