-
公开(公告)号：CN103620487A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280029086.X
申请日：2012-04-19
Applicant: 信越工程株式会社 , 株式会社FK光实验室 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30 , G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1303 , G02B5/3058 , G02B5/3066 , G02B7/003 , G02F1/133788
Abstract: 本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使来自偏振光照射单元(2)的紫外线沿既定的扫描方向扫描，单位起偏器(31)的邻接面以及单位起偏器(31)的邻接方向相对于扫描方向倾斜。从而在光定向照射装置中谋求实现良好的定向特性。
-
公开(公告)号：CN103620487B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280029086.X
申请日：2012-04-19
Applicant: 信越工程株式会社 , 株式会社FK光实验室 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30 , G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1303 , G02B5/3058 , G02B5/3066 , G02B7/003 , G02F1/133788
Abstract: 本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使来自偏振光照射单元(2)的紫外线沿既定的扫描方向扫描，单位起偏器(31)的邻接面以及单位起偏器(31)的邻接方向相对于扫描方向倾斜。从而在光定向照射装置中谋求实现良好的定向特性。
-
公开(公告)号：CN103765303A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280029104.4
申请日：2012-04-19
Applicant: 信越工程株式会社 , 株式会社FK光实验室 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30 , G02F1/13
CPC classification number: G02B5/3025 , G02F1/1303 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 光定向照射装置，具备：偏振单元（3），其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器（31a～f）；扫描单元，其通过使工作台（4）或偏振光照射单元（2）的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台（4）的基板（9），沿既定的扫描方向扫描来自所述偏振光照射单元（2）的紫外线；以及偏振方向检测单元（6a～f），其能够对于每个所述单位起偏器（31a～f）检测从所述单位起偏器（31a～f）出射的紫外线的偏振方向，从而谋求实现良好的定向特性。
-
公开(公告)号：CN103765303B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280029104.4
申请日：2012-04-19
Applicant: 信越工程株式会社 , 株式会社FK光实验室 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30 , G02F1/13
CPC classification number: G02B5/3025 , G02F1/1303 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 光定向照射装置，具备：偏振单元（3），其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器（31a～f）；扫描单元，其通过使工作台（4）或偏振光照射单元（2）的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台（4）的基板（9），沿既定的扫描方向扫描来自所述偏振光照射单元（2）的紫外线；以及偏振方向检测单元（6a～f），其能够对于每个所述单位起偏器（31a～f）检测从所述单位起偏器（31a～f）出射的紫外线的偏振方向，从而谋求实现良好的定向特性。
-
公开(公告)号：CN103403614B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201080070445.7
申请日：2010-10-01
Applicant: 株式会社FK光实验室 , 信越工程株式会社 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F1/1337 , G02F1/133753 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 提供能形成优异特性的取向膜的光取向曝光装置及光取向曝光方法。本发明所涉及的光取向曝光装置1，具备：照射光学系统11，包含偏振光照射单元12和偏振光控制元件14，向表面具有取向膜的基板2照射光束；以及扫描单元15，使基板2或照射光学系统11的至少一部分移动，沿既定的扫描方向对基板2扫描光束，偏振光照射单元12向偏振光控制元件14射出直线偏振光，偏振光控制元件14具有沿与扫描方向正交的方向排列的单位偏振光控制区域，从单位偏振光控制区域照射的光束的偏振方向按每既定数量的单位偏振光控制区域而周期性变化，并且在所述周期内关于与所述扫描方向平行且与所述基板正交的平面大致对称。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103403614A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201080070445.7
申请日：2010-10-01
Applicant: 株式会社FK光实验室 , 信越工程株式会社 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F1/1337 , G02F1/133753 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 提供能形成优异特性的取向膜的光取向曝光装置及光取向曝光方法。本发明所涉及的光取向曝光装置1，具备：照射光学系统11，包含偏振光照射单元12和偏振光控制元件14，向表面具有取向膜的基板2照射光束；以及扫描单元15，使基板2或照射光学系统11的至少一部分移动，沿既定的扫描方向对基板2扫描光束，偏振光照射单元12向偏振光控制元件14射出直线偏振光，偏振光控制元件14具有沿与扫描方向正交的方向排列的单位偏振光控制区域，从单位偏振光控制区域照射的光束的偏振方向按每既定数量的单位偏振光控制区域而周期性变化，并且在所述周期内关于与所述扫描方向平行且与所述基板正交的平面大致对称。
-
公开(公告)号：CN115803851A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180048968.X
申请日：2021-01-21
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明提供一种工件分离装置及工件分离方法，对支承体与凝固层的局部性的接合部位进行选择性的光照射，从而从凝固层轻易地剥离支承体。本发明的工件分离装置的特征在于，具备：保持部件，将层叠体的工件侧或支承体中的任一方保持成装卸自如；光照射部，透过被保持部件保持的层叠体的支承体或工件侧中的另一方而朝向分离层照射光；隔离部件，相对于层叠体的工件侧或支承体中的任一方，使另一方朝厚度方向隔离移动；及控制部，对光照射部及隔离部件进行操作控制，层叠体具有：分离层，沿支承体的表面层叠；及凝固层，沿分离层层叠，控制部进行如下控制：通过光照射部进行遍及分离层的整个面照射光的整体照射、以及仅对支承体的表面及凝固层的接合部位局部照射光的选择照射。
-
公开(公告)号：CN103623972B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310368612.1
申请日：2013-08-22
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供一种流体涂布装置，其能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。本发明的流体涂布装置在第一分割头（1）和第二分割头（2）分离移动以便插入空间（S）比垫片（3）的厚度更宽的状态下，朝向插入空间（S）插入垫片（3），由此垫片（3）的表背两面（3a、3b）不与第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）接触而被夹入。与此同时，使被设置于垫片（3）上的第一限位器（5）与第一分割头（1）或第二分割头（2）中的任意一方或者双方接触，由此凹部（3c）向垫片（3）的插入方向被定位。并且插入垫片（3）之后，使第一分割头（1）及第二分割头（2）接近移动以便插入空间（S）与垫片（3）的厚度成为相同尺寸，由此使第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）分别与垫片（3）的表背两面（3a、3b）密接，垫片（3）向其厚度方向被定位。
-
公开(公告)号：CN104904004A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201380069904.3
申请日：2013-01-09
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6838
Abstract: 本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触，从而板状工件(W)从粘附部(1)被剥离。之后，在保持使剥离部(2)的按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触的状态下，使板状工件(W)的周围大气开放，从而空气通过流路(2p)从剥离部(2)的外侧空间(S2)向内侧空间(S1)流入，剥离部(2)的内侧空间(S1)与板状工件(W)之间被真空破坏。
-
公开(公告)号：CN104369517A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410405931.X
申请日：2014-08-13
Applicant: 信越工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板(1)保持于腔室(14)内的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向即Z方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下驱动机构的按压部通过空间部且沿厚度方向与第一基板的膨胀部抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此压扁膨胀部使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
62
records
(took 0.035 seconds)
