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公开(公告)号：CN105973952A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610392191.X
申请日：2016-06-01
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成；其特征在于：所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔；矩形空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)靠近光源(8)一侧的空腔壁上，构成异形微悬臂；且矩形质量块(7a)的表面沉积了一层气敏材料层(7c)。该种光电式气敏传感器灵敏度高、分辨率好、响应快、成本低、且使用寿命长。
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公开(公告)号：CN105891549A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610214796.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01Q60/38
CPC classification number: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种基于原子力显微镜的多功能组合探针系统。该系统能在各种设定的工作环境中通过程序控制原位切换具有不同功能的探针，从而在同一实验区域原位实现微观摩擦磨损实验、表面形貌扫描、晶体结构演变探测和摩擦能量耗散测量等功能。该系统在原位切换探针时，无需破坏工作环境，有效避免外界环境对样品表面的污染。
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公开(公告)号：CN105181501A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510488002.4
申请日：2015-08-10
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01N3/56
Abstract: 本发明公开了一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，包括主体和外部手动驱动装置；所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件；其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换，使摩擦学测试及原位形貌探测在高真空环境下可相继完成，且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体，确保了实验样品不受外界因素干扰，使实验所得结果更为真实可信；不仅如此，也节省了实验前期设备调整校准时间，提高实验效率。
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公开(公告)号：CN102730631B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210237442.9
申请日：2012-07-10
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种多点接触模式下的大面积硅表面织构化加工方法，它将硅(100)单晶片置于多微球的多点接触板垂直下方位置，再使硅片与多点接触板两者垂直相对运动至发生接触，并达到一定接触载荷F；使多点接触板和硅片按照既定轨迹相对运动，进行刻划；刻划后，将硅片放入质量分数为15～25％的KOH溶液中腐蚀一段分钟，即可得到具有预先设定结构的对应的织构化结构该方法在多点接触模式下进行，可以方便地控制所加工织构化结构的图案、排列方式等；刻划过程中硅片与多点接触板始终保持平行状态。该方法的设备和原材料成本低，操作简便、步骤简单，能够一次性完成硅(100)单晶片的大面积织构化结构的加工，具有明显的低成本、高效率的特点。
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公开(公告)号：CN102730631A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210237442.9
申请日：2012-07-10
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种多点接触模式下的大面积硅表面织构化加工方法，它将硅(100)单晶片置于多微球的多点接触板垂直下方位置，再使硅片与多点接触板两者垂直相对运动至发生接触，并达到一定接触载荷F；使多点接触板和硅片按照既定轨迹相对运动，进行刻划；刻划后，将硅片放入质量分数为15～25％的KOH溶液中腐蚀一段分钟，即可得到具有预先设定结构的对应的织构化结构该方法在多点接触模式下进行，可以方便地控制所加工织构化结构的图案、排列方式等；刻划过程中硅片与多点接触板始终保持平行状态。该方法的设备和原材料成本低，操作简便、步骤简单，能够一次性完成硅(100)单晶片的大面积织构化结构的加工，具有明显的低成本、高效率的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102503155A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110392803.2
申请日：2011-12-01
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，主要应用于玻璃表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是：将尖端为球状的探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷F′，并使探针沿着设定的扫描轨迹，循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描；扫描后将玻璃置于质量浓度为10-20％的HF溶液中，腐蚀5-10秒，即可。该方法不需要模版或掩膜，单次腐蚀就能在玻璃表面加工斜面、台阶、阵列等三维纳米图案；其加工流程极其简便，腐蚀速率极快，是一种简单、精确、高效的玻璃表面的纳米加工方法。
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公开(公告)号：CN101549853A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910059272.8
申请日：2009-05-13
Applicant: 西南交通大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 一种基于摩擦诱导构造单晶硅纳米凸起结构的加工方法，在扫描探针显微镜上采用尖端部为球冠状的金刚石针尖为加工工具，对单晶硅材料表面进行扫描；金刚石针尖上施加的载荷为单晶硅材料表面发生破坏的临界理论载荷的0.02－1倍，即可在单晶硅材料表面加工形成线状或面状及其他复杂形状的凸起结构。该方法在实施过程中不需要外加电场，不需要对材料表面进行任何化学处理，对环境无污染；只要通过针尖对材料表面施加一定载荷，就可以在表面加工出纳米级凸起结构；加工过程简单；加工重复性好；凸起结构的机械稳定性好。加工中使用大曲率半径的针尖，并且所用的载荷小，针尖的使用寿命长。
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公开(公告)号：CN101251456A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810045100.0
申请日：2008-04-01
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 一种测试纳米厚度薄膜疲劳特性的试验方法，其作法主要是利用压痕设备在疲劳试验中连续记录纳米厚度薄膜的载荷F和位移ht数据，并分析得到每次加卸载循环中的接触刚度数值，当接触刚度出现连续性的急剧下降时，判定对应的循环次数即为薄膜的疲劳寿命次数。该种试验方法操作简单，试验结果准确、可靠，适用性广，能够实现对各种超薄薄膜的疲劳特性的研究，达到宏观测试所不能达到测试效果和精度，为纳米厚度薄膜疲劳性能的研究提供可靠依据。
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公开(公告)号：CN118684185B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202410722998.X
申请日：2024-06-05
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明提供了三维双层悬空纳米结构制备方法，操作简单，绿色环保，成本低，吞吐量高，采用等离子体辅助纳米转移印刷技术，可实现双层悬空纳米结构的一次性制备，且无需额外的粘附层。本发明还提供了三维双层悬空纳米结构，其具有独特的三维双层悬空结构，具备高比表面积，展现出巨大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN118837408A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410817953.0
申请日：2024-06-24
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明属于气敏传感器领域，具体涉及一种基于钯掺杂α‑Fe2O3纳米管的氢气传感元件、制备方法及应用，一种基于钯掺杂α‑Fe2O3纳米管的氢气传感元件的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：S1：将9～90：1的FeCl3·6H2O和PdCl2混合溶于溶剂中搅拌，然后加入聚乙烯吡罗烷酮进行磁力搅拌，脱泡得到前驱体溶液；S2：将S1得到的前驱体溶液进行静电纺丝，然后退火冷却得到Pd@Fe2O3纳米管固体粉末；本发明可以提高材料的氧空位浓度，从而增强对H2的传感响应，并且降低检测限，可在H2气体检测领域取得更加显著的效果。
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