公开(公告)号：CN108427016A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810637066.X

申请日：2018-06-20

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 江亮 ,  林斌 ,  钱林茂 ,  邹乙稼 ,  赵婷

IPC: G01Q70/00

Abstract: 本发明公开了一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置，包括腔体上盖和探针切换结构。所述腔体上盖设置有非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构。本发明具有如下突出优点：1)非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率；2)内凹槽、L型过渡板连接结构以及探针托架与探针载动块非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置；3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针的高效、精确切换，进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。

公开(公告)号：CN105891549A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610214796.X

申请日：2016-04-08

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  张超杰 ,  江亮 ,  余丙军 ,  邹乙稼

IPC: G01Q60/38

CPC classification number: G01Q60/38

Abstract: 本发明公开了一种基于原子力显微镜的多功能组合探针系统。该系统能在各种设定的工作环境中通过程序控制原位切换具有不同功能的探针，从而在同一实验区域原位实现微观摩擦磨损实验、表面形貌扫描、晶体结构演变探测和摩擦能量耗散测量等功能。该系统在原位切换探针时，无需破坏工作环境，有效避免外界环境对样品表面的污染。

公开(公告)号：CN108427016B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201810637066.X

申请日：2018-06-20

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 江亮 ,  林斌 ,  钱林茂 ,  邹乙稼 ,  赵婷

IPC: G01Q70/00

Abstract: 本发明公开了一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置，包括腔体上盖和探针切换结构。所述腔体上盖设置有非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构。本发明具有如下突出优点：1)非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率；2)内凹槽、L型过渡板连接结构以及探针托架与探针载动块非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置；3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针的高效、精确切换，进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。

公开(公告)号：CN108333390A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810076164.0

申请日：2018-01-26

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 余丙军 ,  刘潇枭 ,  陈磊 ,  钱林茂 ,  邹乙稼 ,  周超

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种基于导电性变化的单晶硅表面机械损伤的检测方法，包括以下步骤：首先将清洁、干燥的待检测的单晶硅片放入导电原子力显微镜样品腔内，并对待检测的损伤区域进行扫描，获得表面形貌图和电流分布图；再对比分析扫描结果，并寻找单晶硅表面机械损伤位置，得出检测结果。本发明所提供的一种基于导电性变化的单晶硅表面机械损伤的检测方法中，采用原子力显微镜的微针尖进行扫描检测，接触压力远小于单晶硅的屈服时的临界接触压力，不会对样品造成损坏。本发明适用于检测单晶硅表面在切削、研磨、抛光等机械加工过程中所产生的机械损伤。

公开(公告)号：CN106918723A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201710037466.2

申请日：2017-01-19

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  邹乙稼 ,  江亮 ,  余丙军 ,  张超杰

IPC: G01Q60/26

CPC classification number: G01Q60/26

Abstract: 本发明涉及一种基于原子力显微镜的可控气氛下的多探针探测方法，该方法的主要步骤包括根据实验要求，向真空腔体内部通入设定的气氛，然后通过外部驱动装置依次原位切换具有不同功能的探针，从而实现不同功能的实验。该方法可在同一气氛下对样品原位实现微观摩擦磨损、表面形貌扫描、电学性能表征、晶体结构演变探测和摩擦能量耗散测量等不同功能的实验，无需破坏原有实验环境气氛，有效地避免了外界环境对样品的污染，并且操作便捷、效率较高。

公开(公告)号：CN208367033U

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201820951304.X

申请日：2018-06-20

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 江亮 ,  林斌 ,  钱林茂 ,  邹乙稼 ,  赵婷

IPC: G01Q70/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置，包括腔体上盖和探针切换结构。所述腔体上盖设置有非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构。本实用新型具有如下突出优点：1)非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率；2)内凹槽、L型过渡板连接结构以及探针托架与探针载动块非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置；3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针的高效、精确切换，进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利