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公开(公告)号：CN110093588B
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201910439319.7
申请日：2019-05-24
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合，得到预混液；然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨，得到铝钪合金靶材浆料；将所述铝钪合金靶材浆料注浆成型后，再将得到铝钪合金坯体依次进行脱脂和烧结，即得到本发明的细晶粒铝钪合金靶材。本发明提供的方法步骤简单，成本低，容易操作，所得铝钪合金靶材晶粒细小均匀，且氧含量低、密度大，适合用于微波通信系统相关器件的制备。
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公开(公告)号：CN110370426A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910689033.4
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: B28B1/20 , C04B35/457
Abstract: 本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部，靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合，提高了ITO旋转靶材的成型效率，解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题，可成型较大尺寸的ITO旋转靶材，有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。
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公开(公告)号：CN110318024A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910689041.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种银铜合金靶材及其制备方法，属于溅射靶材技术领域。本发明提供的银铜合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铜和银在保护气氛下进行熔炼，得到液态合金；将所述液态合金进行喷射沉积处理，得到银铜合金铸锭；将所述银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、ECAP挤压、低温退火、镦粗变形和轧制处理，得到银铜合金粗锭；将所述银铜合金粗锭进行再结晶退火处理，得到银铜合金靶材。本发明制得的银铜合金靶材具有晶粒尺寸细小、晶粒分布均匀、成分均匀和致密性高的特点。
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公开(公告)号：CN108220895B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201810035520.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种等离子体加热式高温供氧器，涉及靶材制造领域，包括氧气瓶、氧气增压泵、等离子体加热筒、等离子喷枪和立式烧结炉，所述立式烧结炉内设置有烧结室，所述氧气瓶、氧气增压泵、等离子体加热筒和烧结室依次连通，所述等离子体加热筒内靠近入口处设置有叶片，所述叶片与电机连接，所述等离子喷枪设置于所述等离子体加热筒外侧，所述等离子喷枪与所述等离子喷涂系统连接。本发明的等离子体加热式高温供氧器，通过等离子体加热在短距离内快速将纯氧气的温度从常温加热到烧结室内的温度，保证烧结室内温场的均匀性，提高ITO靶材的性能，保证烧结靶材的致密性。
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公开(公告)号：CN110257790A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910688134.X
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种Al2O3-TiOx靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。本发明提供的Al2O3-TiOx靶材包含以下百分含量的组分：30wt％～50wt％TiOx和50wt％～70wt％Al2O3；所述TiOx中x为1.8～1.98。本发明通过在Al2O3-TiOx靶材中掺杂百分含量为30wt％～50wt％的TiOx，使Al2O3-TiOx靶材具有半导体材料的特性，有效地提高了Al2O3-TiOx靶材的导电性能，可实现采用中频磁控溅射Al2O3-TiOx靶材的方法制得Al2O3-TiOx薄膜，用于替代Al2O3薄膜，实现工业化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108151531B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201711384094.7
申请日：2017-12-20
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: F27B7/06 , F27B7/10 , F27B7/28 , F27B7/34 , F27B7/36 , F27B7/42 , C04B35/457 , C04B35/622 , C04B35/64
Abstract: 本发明公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置，包括底座、转盘、制靶室、电热元件和供氧装置，转盘设置于底座顶部，制靶室设置于转盘顶部，转盘能够带动制靶室转动，电热元件设置于制靶室内部，电热元件由制靶室的底部延伸到制靶室的顶部，供氧装置用于向制靶室内部充入氧气；本发明在管状ITO靶材的高温离心烧结装置的基础上还公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结方法，包括混分原料的配置，处理和置于制靶室内部进行烧结成型，烧结过程中开启转盘，电热元件和供氧装置，最后在离心力作用下原料在制靶室侧壁上烧结成型；本发明能够成型大尺寸靶材，并且极大的提高了出品率和良品率。
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公开(公告)号：CN108220895A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810035520.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种等离子体加热式高温供氧器，涉及靶材制造领域，包括氧气瓶、氧气增压泵、等离子体加热筒、等离子喷枪和立式烧结炉，所述立式烧结炉内设置有烧结室，所述氧气瓶、氧气增压泵、等离子体加热筒和烧结室依次连通，所述等离子体加热筒内靠近入口处设置有叶片，所述叶片与电机连接，所述等离子喷枪设置于所述等离子体加热筒外侧，所述等离子喷枪与所述等离子喷涂系统连接。本发明的等离子体加热式高温供氧器，通过等离子体加热在短距离内快速将纯氧气的温度从常温加热到烧结室内的温度，保证烧结室内温场的均匀性，提高ITO靶材的性能，保证烧结靶材的致密性。
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公开(公告)号：CN118460971A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410200421.2
申请日：2024-02-23
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种银合金靶材及其制备方法和应用，属于有机发光二极管（OLED）器件的阳极材料技术领域。本发明在纯银中添加锌和钕，锌在银中的固溶度较高，添加锌可以形成固溶强化，增加银的强度，稀土钕元素在银合金中除了典型的固溶强化作用外，还能够改善银合金的凝固，从而产生细化晶粒的效果，并且在热处理过程中，钕元素也能起到细化晶粒的效果，同时在溅射成膜时，钕原子有钉扎作用，从而提高薄膜的粘附性能，控制锌和钕的含量，使得银合金靶材适合于溅射镀膜工艺，制备得到同时具有良好导电率、反射率、粘附性、表面粗糙度和可靠性的银合金薄膜和ITO/Ag合金/ITO薄膜。
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公开(公告)号：CN117428157A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311406225.2
申请日：2023-10-27
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铝钕合金铸锭的制备方法，属于合金领域。本发明提供了一种铝钕合金铸锭的制备方法，包括以下步骤：将铝钕合金熔体从保温温度场中以1～10mm/min的速度拉出后冷却凝固，得到所述铝钕合金铸锭。本发明通过调整熔体拉出的速度，延长凝固结晶的时间，从而使晶粒度长大得更多。实验结果表明，本发明制备的铝钕合金铸锭平均晶粒度大于200微米。
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公开(公告)号：CN116695038A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310803302.1
申请日：2023-07-03
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司 , 福建理工大学
IPC: C22F1/14
Abstract: 本发明提供了一种高比例孪晶银及其制备方法和应用，属于银材料制备技术领域。本发明提供的一种高比例孪晶银的制备方法，本发明对银原料进行退火处理，可以使其均质化，会让晶粒完全再结晶，形成等轴晶，然后通过水冷进行快速降温，会形成大量的特殊晶界，接着通过冷轧可以使银原料中的晶粒破碎，最后进行二次退火，使破碎的晶粒再结晶，并通过二次水冷得到更多的特殊晶界，从而大幅度提高了银中孪晶的比例。实施例的结果显示，本发明提供的高比例孪晶银中低∑CSL晶界的比例为71.2％，孪晶含量高达70％，维氏硬度＞100HV，电导率≥54*106Ms/m。
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