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公开(公告)号：CN100345021C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200480007555.3
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00 , G01B11/00 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 相对于作为观察对象的试样的半导体装置(S)而设置有进行半导体装置(S)的观察用的图像取得部(1)和含有物镜(20)的光学系统(2)。此外，扩大半导体装置(S)的图像用的固体浸没透镜SIL(3)被设置成能够在插入位置和偏离光轴的待机位置之间移动，其中，该插入位置被设置成包含从半导体装置(S)朝向物镜(20)的光轴，并且与半导体装置(S)的表面密接。然后，当插入SIL(3)时，取得含有来自SIL(3)的反射光的图像，并通过SIL驱动部(30)参照该图像来调整SIL(3)的插入位置。通过这样而能够实现在半导体装置的微细构造解析等方面易于进行必要的试样观察的半导体检查装置(显微镜)和半导体检查方法(试样观察方法)。
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公开(公告)号：CN1875306A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032468.3
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明，形成具备在使固体浸没透镜3的底面通过开口9b向下方突出的状态下在自重方向上支撑该固体浸没透镜3的保持器9的构成。由此，固体浸没透镜3被载置于观察对象物时，形成固体浸没透镜3被该观察对象物抬起的状态，形成相对于保持器9自由的状态。而且，此时，不会在观察对象物上施加过度的压力，并且，固体浸没透镜3紧密地密合于观察对象物，同时，保持器9侧或观察对象物侧的温度漂移相对于对方侧被隔断而消除温度漂移造成的影响。由此，可获得不会对观察对象物造成损伤、并且可进行高精度的观察的固体浸没透镜。
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公开(公告)号：CN1761903A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200480007555.3
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00 , G01B11/00 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 相对于作为观察对象的试样的半导体装置(S)而设置有进行半导体装置(S)的观察用的图像取得部(1)和含有物镜(20)的光学系统(2)。此外，扩大半导体装置(S)的图像用的固体浸没透镜SIL(3)被设置成能够在插入位置和偏离光轴的待机位置之间移动，其中，该插入位置被设置成包含从半导体装置(S)朝向物镜(20)的光轴，并且与半导体装置(S)的表面密接。然后，当插入SIL(3)时，取得含有来自SIL(3)的反射光的图像，并通过SIL驱动部(30)参照该图像来调整SIL(3)的插入位置。通过这样而能够实现在半导体装置的微细构造解析等方面易于进行必要的试样观察的半导体检查装置(显微镜)和半导体检查方法(试样观察方法)。
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公开(公告)号：CN113646686A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025057.0
申请日：2020-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 实施方式的共聚焦显微镜单元(1)包括：第1子单元(6a)，其具有光源(10a)、针孔板(12a)、和光检测器(13a)；第2子单元(6b)，其具有光源(10b)、针孔板(12b)、和光检测器(13b)；扫描镜(4)，其使激发光在试样(M)上扫描，并将从试样(M)产生的荧光向第1和第2子单元(6a、6b)引导；扫描透镜(7)，其对激发光进行导光，并将荧光导光至扫描镜(4)；和主壳体(2)，其能够安装于连接端口(P1)，并且固定有扫描镜(4)、扫描透镜(7)、和子单元(6a、6b)，第1子单元(6a)具有将由自身单元处理的激发光和荧光与第2子单元(6b)处理的激发光和荧光分离的分色镜(9a)。
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公开(公告)号：CN113631980A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024983.6
申请日：2020-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 实施方式的共聚焦显微镜单元(1A)包括：第1子单元(6a)，其具有光源(10a)、针孔板(12a)、和光检测器(13a)；第2子单元(6b)，其具有光源(10b)、针孔板(12b)、和光检测器(13b)；扫描镜(4)，其使从第1和第2子单元(6a、6b)输出的激发光经由显微镜光学系统在试样(M)上扫描，并将根据激发光而从试样(M)产生且由显微镜光学系统成像的荧光向第1和第2子单元(6a、6b)引导；和主壳体(2)，其构成为能够安装于连接端口(P1)，且固定有扫描镜(4)、第1子单元(6a)、和第2子单元(6b)，第1子单元(6a)和第2子单元(6b)以向扫描镜(4)的2个激发光的入射角错开规定的角度(θS)的方式配置于主壳体(2)内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106796337B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580051469.0
申请日：2015-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B7/027 , G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/0052 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/33 , G02B21/361 , G02B21/362
Abstract: 固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有构成为自第1开口(71)的内表面(71a)向第1开口(71)的中心侧延伸且能够与球面部(6a)接触的3个突出部(73)。
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公开(公告)号：CN106796337A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580051469.0
申请日：2015-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B7/027 , G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/0052 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/33 , G02B21/361 , G02B21/362
Abstract: 固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有构成为自第1开口(71)的内表面(71a)向第1开口(71)的中心侧延伸且能够与球面部(6a)接触的3个突出部(73)。
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公开(公告)号：CN106415354A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580025634.5
申请日：2015-05-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/6458 , G01B9/021 , G01B11/24 , G01N21/64 , G01N21/6486 , G01N2201/06113 , G02B5/32 , G02B21/00 , G02B21/08 , G02B21/26 , G02B21/361 , G02B21/365 , G02B27/0068 , G03H1/0005 , G03H2001/005
Abstract: 本发明所涉及的显微镜装置1A具备：生物体试样台11，其支撑生物体试样B；物镜12，其与生物体试样台11相对配置；激光光源31，其输出通过物镜12而照射于生物体试样B的光；形状测量单元20，其获取生物体试样B的表面形状；控制单元40，其根据在形状测量单元20中获取的信息制作用于矫正起因于生物体试样B的表面形状的像差的像差校正全息数据；第1空间光调制器33，其呈现基于像差校正全息数据的全息图并调制由激光光源31输出的光；检测器37，其检测在生物体试样B中产生的被检测光L2的强度。由此，可以实现能够抑制在生物体试样内部的照射光的聚光强度的降低以及聚光形状的扩大的显微镜装置以及图像获取方法。
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公开(公告)号：CN102947922B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201180031209.9
申请日：2011-06-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/01 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , H01L21/68785 , H01L22/12
Abstract: 本发明的吸附器（10）包含：主体部，其具有配置形成有半导体器件（D）的半导体晶圆（W）的第1面（13）、及与第1面（13）为相反侧的面的第2面（14），且形成有贯通第1面（13）与第2面（14）的贯通孔（15）；以及透光部，其具有供来自半导体器件（D）的光入射的光入射面（16）、及供自光入射面（16）入射的光出射的光出射面（17），且嵌合于贯通孔（15）。而且，在第1面（13）上形成有用于将半导体晶圆（W）真空吸附而将半导体器件（D）固定于光入射面（16）的第1吸附槽（13a），在第2面（14）上形成有用于将固浸透镜（S）真空吸附而固定于光出射面（17）的第2吸附槽（14a）。
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