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公开(公告)号：CN108028637A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055793.4
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02929 , H01L41/0477 , H01L41/29 , H01L41/312 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02228 , H03H9/02559 , H03H9/02637 , H03H9/0561 , H03H9/058 , H03H9/145 , H03H9/175 , H03H9/25 , H03H2003/025
Abstract: 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
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公开(公告)号：CN108028636A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055300.7
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02897 , H01L41/0477 , H01L41/0533 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02228 , H03H9/02559 , H03H9/0585 , H03H9/14538 , H03H9/175 , H03H9/6406 , H03H2003/025
Abstract: 提供一种难以产生压电基板的翘曲、且难以产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支撑基板(2)、被设置于支撑基板(2)上的声多层膜(3)、被设置于声多层膜(3)上的压电基板(4)、和被设置于压电基板(4)上的IDT电极(5)，压电基板(4)的热膨胀系数的绝对值大于支撑基板(2)的热膨胀系数的绝对值，声多层膜(3)具有至少4层的声阻抗层，还具备接合层，该接合层被设置在从压电基板(4)侧向支撑基板(2)侧的第1层的声阻抗层(3g)中至第3层的声阻抗层(3e)与第4层的声阻抗层(3d)的界面为止的任意的位置。
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公开(公告)号：CN107925396A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048608.9
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/145 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , H03H9/05 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/25 , H03H2003/025
Abstract: 本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置，其中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。
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公开(公告)号：CN107251427A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680012264.6
申请日：2016-01-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供难以产生无用波造成的特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)，作为激励电极而在压电体层(2)设置有IDT电极(3)，在压电体层(2)的第1主面(2a)上层叠音响反射层(5)，音响反射层(5)具有音响阻抗相对高的高音响阻抗层(5b、5d、5f)和音响阻抗相对低的低音响阻抗层(5a、5c、5e)，音响反射层(5)具有抑制无用波向压电体层(2)侧的反射的无用波反射抑制构造(5x)。
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公开(公告)号：CN113412579B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN201980091764.7
申请日：2019-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17 , H10N30/06 , H10N30/87 , H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/045 , H04R17/00
Abstract: 压电驱动部(120)由多个层构成，直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中，通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。
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公开(公告)号：CN110392978B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780086810.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射膜(3)，设置在支承基板(2)上；压电薄膜(4)(压电体)，设置在声反射膜(3)上；以及IDT电极(5)，设置在压电薄膜(4)上。声反射膜(3)是由包含第一低声阻抗层(3a)、第二低声阻抗层(3c)、第三低声阻抗层(3e)、第四低声阻抗层(3g)和第一高声阻抗层(3b)、第二高声阻抗层(3d)、第三高声阻抗层(3f)的多个声阻抗层构成的层叠体。声反射膜(3)具有：第一声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层；以及第二声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层，且算术平均粗糙度(Ra)与第一声阻抗层不同。
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公开(公告)号：CN115210891A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202180017323.X
申请日：2021-02-22
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H04R17/00 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/17
Abstract: 层叠部(120)至少在凹部(113)的上方包含单晶压电体层(130)和对单晶压电体层(130)施加电压的一对电极层。构成一对电极层的至少一部分且沿着单晶压电体层(130)的基部(111)侧延伸存在的下部电极层(150)仅位于凹部(113)内。
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公开(公告)号：CN114402447A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064677.5
申请日：2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/313 , H01L41/332 , H01L41/337
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)以及第2电极层(130)。压电体层(110)具有第1面(111)和第2面(112)。第2面(112)位于与第1面(111)相反的那一侧。第1电极层(120)设于第1面(111)上。第2电极层(130)设于第2面(112)上。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。压电体层(110)由单晶形成。
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公开(公告)号：CN113412579A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201980091764.7
申请日：2019-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17 , H01L41/29 , H04R17/00 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/257
Abstract: 压电驱动部(120)由多个层构成，直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中，通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。
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公开(公告)号：CN108028637B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201680055793.4
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
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