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公开(公告)号：CN116888892A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202280015611.6
申请日：2022-03-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够有效地抑制杂散的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承构件(3)，包含支承基板(4)；压电体层(6)，设置在支承构件(3)上，具有相互对置的第1主面(6a)和第2主面(6b)；第1IDT电极(7A)，设置在第1主面(6a)；以及第2IDT电极(7B)，设置在第2主面(6b)。第2IDT电极(7B)埋入于支承构件(3)。在支承构件(3)中的埋入有第2IDT电极(7B)的多个电极指的部分的周围，设置有至少一个空洞部(9)。
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公开(公告)号：CN110392978B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780086810.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射膜(3)，设置在支承基板(2)上；压电薄膜(4)(压电体)，设置在声反射膜(3)上；以及IDT电极(5)，设置在压电薄膜(4)上。声反射膜(3)是由包含第一低声阻抗层(3a)、第二低声阻抗层(3c)、第三低声阻抗层(3e)、第四低声阻抗层(3g)和第一高声阻抗层(3b)、第二高声阻抗层(3d)、第三高声阻抗层(3f)的多个声阻抗层构成的层叠体。声反射膜(3)具有：第一声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层；以及第二声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层，且算术平均粗糙度(Ra)与第一声阻抗层不同。
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公开(公告)号：CN110392978A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201780086810.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射膜(3)，设置在支承基板(2)上；压电薄膜(4)(压电体)，设置在声反射膜(3)上；以及IDT电极(5)，设置在压电薄膜(4)上。声反射膜(3)是由包含第一低声阻抗层(3a)、第二低声阻抗层(3c)、第三低声阻抗层(3e)、第四低声阻抗层(3g)和第一高声阻抗层(3b)、第二高声阻抗层(3d)、第三高声阻抗层(3f)的多个声阻抗层构成的层叠体。声反射膜(3)具有：第一声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层；以及第二声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层，且算术平均粗糙度(Ra)与第一声阻抗层不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110073596A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201780077270.4
申请日：2017-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 奥永洋梦
Abstract: 本发明提供一种能够使声速不同的区域间的边界的声速梯度陡峭并能够有效地抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有交叉区域。交叉区域具有中央区域和配置在与弹性波传播方向正交的方向两侧的第一、第二低声速区域。在第一、第二低声速区域的外侧设置有第一、第二高声速区域。在多个第一、第二电极指(3a2，3b2)的位于第一、第二低声速区域的部分分别层叠有质量附加膜(6)。在至少一个质量附加膜(6)中，第一端部(6b)的宽度以及第二端部(6c)的宽度比中央部(6a)的宽度窄，且上述质量附加膜(6)具有从第一、第二端部(6b，6c)中的至少一者突出的突出部。
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公开(公告)号：CN117597865A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202280047157.2
申请日：2022-09-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够降低高阶的非线性失真的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，在压电膜(4)的第1主面(4a)上设置有第1IDT电极(5)，在第2主面(4b)上设置有第2IDT电极(6)，压电膜(4)的晶体c轴从第1主面(4a)以及第2主面(4b)的法线方向倾斜，第1IDT电极(5)中的产生于第1梳齿电极(11)中的汇流条(11a)和与该汇流条(11a)对置的电极指(12b)的前端之间的电场的朝向、和第2IDT电极(6)中的产生于汇流条(13a)和与该汇流条(13a)对置的电极指(14b)的前端之间的电场的朝向为相反方向。
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公开(公告)号：CN110073596B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201780077270.4
申请日：2017-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 奥永洋梦
Abstract: 本发明提供一种能够使声速不同的区域间的边界的声速梯度陡峭并能够有效地抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有交叉区域。交叉区域具有中央区域和配置在与弹性波传播方向正交的方向两侧的第一、第二低声速区域。在第一、第二低声速区域的外侧设置有第一、第二高声速区域。在多个第一、第二电极指(3a2，3b2)的位于第一、第二低声速区域的部分分别层叠有质量附加膜(6)。在至少一个质量附加膜(6)中，第一端部(6b)的宽度以及第二端部(6c)的宽度比中央部(6a)的宽度窄，且上述质量附加膜(6)具有从第一、第二端部(6b，6c)中的至少一者突出的突出部。
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公开(公告)号：CN112385144A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980042056.4
申请日：2019-07-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(100)具备支承基板(10)和在该支承基板(10)上相邻地形成的谐振部(12、13)。谐振部(12、13)各自包含：压电薄膜(20)；IDT电极(40)，配置在压电薄膜(20)上；和支承层(30)，配置为在俯视弹性波装置(100)的情况下包围压电薄膜(20)的周围。支承层(30)具有与压电薄膜(20)不同的线膨胀系数。谐振部(12)的压电薄膜和谐振部(13)的压电薄膜被处于谐振部(12)与谐振部(13)之间的支承层(30)分割。通过这样的结构，能够提高在公共的支承基板上形成了多个弹性波谐振器的弹性波装置中的TCF特性。
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公开(公告)号：CN119422327A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202380052132.6
申请日：2023-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，在IDT电极以及覆盖IDT电极的层之间不易产生剥离。弹性波装置（1）具备：支承基板（3）；中间层（4），设置在支承基板（3）上；压电体层（5），设置在中间层（4）上，具有位于中间层（4）侧的第一主面（5a）、以及与第一主面（5a）对置的第二主面（5b）；第一IDT电极（7），设置在压电体层（5）的第一主面（5a），且埋入中间层（4）中；和第二IDT电极（27），设置在压电体层（5）的第二主面（5b）。第一IDT电极（7）具有多个电极指。各电极指分别包含在电极指的厚度方向上相互对置的第一面（7a）以及第二面（7b）、和与第一面（7a）以及第二面（7b）连接的侧面（7c）。第一IDT电极（7）中的电极指的侧面（7c）具有第一部分（7d）以及第二部分（7e），在至少一根电极指中，第一部分（7d）以及第二部分（7e）的相对于电极指的厚度方向倾斜的角度相互不同。
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