-
公开(公告)号：CN101253458A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200680031240.1
申请日：2006-05-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
CPC classification number: F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
Abstract: 本发明的目的在于，不分解、组装压力式流量控制装置，就能简单地更换其节流器，从而可容易地进行控制流量的切换。本发明的节流器更换型压力式流量控制装置，在具有流体供给用配管的连接部的入口侧安装用块(39)和具有流体取出用配管的连接部的出口侧安装用块(43)之间，配置压力式流量控制装置(A)的控制阀(2)的阀体(23)，通过使该阀体(23)的流体入口侧与前述入口侧安装用块(39)、前述阀体(23)的流体出口侧与前述出口侧安装用块(43)分别能够分解地以气密状态连接，形成气体通过前述控制阀(2)流通的流路，并且，在设置于前述阀体(23)的出口侧的垫片型节流器插入孔(42c)与出口侧安装用块(43)的垫片型节流器插入孔(43b)之间，拆装自如地插入压力式流量控制装置(A)的垫片型节流器(38)。
-
公开(公告)号：CN107003236A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
-
公开(公告)号：CN103858212B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280047608.9
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
-
公开(公告)号：CN107003236B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
-
公开(公告)号：CN110017877A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01F15/04
Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110017877B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01F15/04
Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
-
公开(公告)号：CN114270083A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080056892.0
申请日：2020-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
-
公开(公告)号：CN113647008A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025996.5
申请日：2020-04-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部，第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小，测定部在从电源部供给规定电压的状态下，测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压)，控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值，基于所计算出的电阻值，判定压电元件是否发生了劣化。
-
公开(公告)号：CN112703391A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980050994.9
申请日：2019-09-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定方法，其在浓度测定装置中执行，所述浓度测定装置具有：供被测定流体流动的测定单元；发出向测定单元的入射光的光源；检测来自测定单元的出射光的光检测器；基于光检测器的输出计算被测定流体的吸光度以及浓度的运算部；以及测定被测定流体的温度的温度传感器，所述浓度测定方法包括：使分子结构随温度而变化的气体作为被测定流体而在测定单元内流动的工序；使由被测定流体吸收的波长的光从光源向测定单元入射，并且通过光检测器测定从测定单元出射的光的强度的工序；以及基于由温度传感器测定的温度和光检测器的输出，计算被测定流体的浓度的工序。
-
公开(公告)号：CN112703388A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980057237.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具有：具有流路的测定单元(4)、光源(1)、检测从测定单元出射的光的光检测器(7)以及基于光检测器的输出来计算被测定流体的吸光度和浓度的运算部(8)，测定单元具有：单元主体、以与流路相接的方式固定于单元主体的窗部(3)以及对经由窗部而将入射到测定单元的光进行反射的反射部件(5)，窗部经由垫片(15)而通过窗按压部件(30)固定于单元主体(40)，在支撑窗部的垫片的第一面设置有环状的密封用突起部(15a)，在支撑垫片的与第一面相反的一侧的第二面的单元主体的支撑面(42)也设置有环状的密封用突起部(42a)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
261
records
(took 0.132 seconds)
