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公开(公告)号:CN113169266B
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN201980076900.5
申请日:2019-09-04
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H10N30/20 , H10N30/88 , H10N30/30 , H10N30/853
Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111),并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸,且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。
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公开(公告)号:CN115428175A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202180029560.8
申请日:2021-01-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/04 , B06B1/06 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/253
Abstract: 连接部(130)以在一对梁部(120)之间折回的方式设置。连接部(130)包含第1连结部、第2连结部以及架桥部。第1连结部沿着狭缝延伸且与一对梁部(120)中的一个连接。第2连结部沿着狭缝延伸且与一对梁部(120)中的另一个连接。架桥部位于狭缝与开口部之间且与第1连结部和第2连结部分别连接。多个梁部(120)分别位于被在相互交叉的方向上延伸的狭缝夹着的位置,并且经由连接部(130)在环状的基部(110)的周向上相互连接。
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公开(公告)号:CN115315962A
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN202080098947.4
申请日:2020-11-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 超声波换能器包括第1声换能器(110)、第2声换能器(120)以及有底筒状的壳体(130)。第2声换能器(120)还具有:环状部(121),其与第2膜片部(122)的周缘整周接触且支承第2膜片部(122);以及声匹配板(123),其与第2膜片部(122)隔开间隔地相对,并且与周壁部(130s)连接而在与壳体(130)之间形成密闭空间。在上述密闭空间内形成有由第1膜片部(112)和第2膜片部(122)夹着的超声波传送路径(T1)。超声波传送路径(T1)的最大内宽(H1)比周壁部(130s)的最大内宽(H2)小。
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公开(公告)号:CN114402448A
公开(公告)日:2022-04-26
申请号:CN202080064776.3
申请日:2020-07-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/29
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)具有连接面(131)。连接面(131)在第2电极层(130)中的不与第1电极层(120)相对的区域中面向贯通孔(113)。连接电极(140)设于连接面(131)上。连接面(131)与第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分的位置的差为5nm以下。
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公开(公告)号:CN113169266A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980076900.5
申请日:2019-09-04
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111),并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸,且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。
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公开(公告)号:CN113016196A
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN201980074863.4
申请日:2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00 , B81B3/00 , H01L41/053 , H01L41/113
Abstract: 多个梁部(120)各自的端部(121)被基部(110)支承,多个梁部(120)各自在比基部(110)靠上侧的位置向远离基部(110)的方向延伸。多个梁部(120)各自包含多个层。多个梁部(120)各自包含压电体层(122)、配置在压电体层(122)的上侧的上部电极层(123)、和配置为夹着压电体层(122)与上部电极层(123)的至少一部分对置的下部电极层(124)。固定部(130)配置在梁部(120)上,使得与基部(110)夹着多个梁部(120)各自的端部(121)。固定部(130)在上下方向上位于与基部(110)的至少一部分重叠的位置,并且在梁部(120)的延伸方向上延伸,使得比基部(110)突出。
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公开(公告)号:CN112514088A
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN201980049717.6
申请日:2019-04-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/08 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承,位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠,且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界,下侧变得比上侧窄。
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公开(公告)号:CN108474998B
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201780005499.7
申请日:2017-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明获得一种能抑制接合界面处的剥离,并且获得较大振幅的振动装置。振动装置(2)包括筒状构件(14);具有固定于筒状构件(14)的压电振子(16)的筒状振动体部(12);以及外周部与筒状构件(14)的前端面(14b)接合,且具有配置于透镜(9)的前方的透光性部分的透光体部(13)。利用筒状振动体部(12)的振动使透光体部(13)以弯曲模式振动。透光体部(13)的外周部与筒状振动体部(12)的前端面(14b)接合,使得弯曲模式中,Z方向上透光体部(13)的中央最大位移部分和与前端面(14b)连结的外周部在以相同方向位移的第一模式、和以反向位移的第二模式中,第一模式和第二模式的节点位于前端面(14b)和外周部的接合界面内。
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公开(公告)号:CN102959752A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201180030839.4
申请日:2011-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/0805 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括:在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序;在下部电极层(2)上,以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序;在压电薄膜缓冲层(3)上,以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序;以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。
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公开(公告)号:CN113826408B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202080035943.1
申请日:2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上,并且,在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上,在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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