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公开(公告)号：CN118020250A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065560.8
申请日：2022-09-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山根毅
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备：安装基板；弹性波元件，其位于安装基板的厚度方向的一个主面上；以及凸起，其配设在弹性波元件与安装基板之间。弹性波元件具备：支承基板，其具有空洞部；压电层，其层叠在支承基板上，具有在该层叠方向上至少部分地与空洞部重叠的重复区域；以及功能电极，其配设在压电层的重复区域。安装基板包括金属部。在弹性波元件与安装基板之间产生的固定电容是在弹性波元件与安装基板之间产生的变动电容以上。
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公开(公告)号：CN116547910A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180080393.X
申请日：2021-12-02
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 一种声波设备包括：支撑基板，包括顶表面和底表面以及空腔或气隙；压电层，在支撑基板上，并包括顶表面和底表面；以及电极，在压电层的顶表面上，并包括顶表面和底表面。电极的至少一部分在空腔或气隙上方，并且满足方程式0.002Tg≤0.5(Lb‑Ls)＜Te，其中，Ls是电极的顶表面的最大长度，Lb是电极的底表面的最大长度，Tg是压电层的顶表面和支撑基板的顶表面之间的距离，并且Te是电极的厚度。
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公开(公告)号：CN114467258A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066156.3
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够应对高频化且能够提高线性度。弹性波装置(1)具备压电体层(4)、第一电极(51)以及第二电极(52)。第一电极(51)和第二电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料为铌酸锂或钽酸锂。压电体层(4)设置在硅基板(2)的第一主面(21)上。弹性波装置(1)还具有陷获区域(10)。陷获区域(10)设置在压电体层(4)的第二主面(42)侧。
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公开(公告)号：CN114467254A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066167.1
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够使失真特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自包含形成在压电体层(4)上的铝层(511、521)。构成铝层(511、521)的晶体的取向方向是相对于铝层(511、521)中的压电体层(4)侧的第2主面(524)正交的方向。
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公开(公告)号：CN114430885A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080066070.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够容易地进行频率的调整的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或者钽酸锂，具有相互对置的第1主面(2a)以及第2主面(2b)；至少一对电极(3、4)(第1电极、第2电极)，设置在压电层(2)的第1主面(2a)上；和附加膜(10)，设置在电极(3、4)中的至少一个电极上或者压电层(2)上，使得在俯视下与形成有电极(3、4)的区域以及各电极(3、4)彼此之间的区域中的至少一个区域重叠，电极(3、4)是彼此相邻的电极，将压电层(2)的厚度设为d，将电极(3、4)的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114424457A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080065535.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明即使在促进了小型化的情况下，也提高Q值且保持强度。弹性波装置还具备压电体层(4)、第1电极(51)以及第2电极(52)、第1分割谐振器(RS3)以及第2分割谐振器(RS4)、和支承基板(2)。支承基板(2)具有第1能量封闭层和第2能量封闭层。第1能量封闭层与压电体层(4)的第1区域(451)的至少一部分重叠。第2能量封闭层与压电体层(4)的第2区域(452)的至少一部分重叠。支承基板(2)具有位于第1能量封闭层与第2能量封闭层之间的壁部(27)。
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公开(公告)号：CN112868177A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201980066809.5
申请日：2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种不易产生Q的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体(5)，具有相互对置的一个主面以及另一个主面；IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面上，具有多根电极指(11、12)；高声速构件(3)，配置在压电体(5)的另一个主面侧，传播的体波的声速比在压电体(5)传播的弹性波的声速高；以及第1电介质膜(13)，设置在电极指(11、12)的上表面，在IDT电极(6)的电极指(11、12)间有不存在电介质的部分。
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公开(公告)号：CN117859267A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202280056699.6
申请日：2022-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明抑制在引出电极间流过电流。弹性波装置包含：第1基板；压电层，在俯视下与第1基板重叠，具有第1主面和相反侧的第2主面；功能电极，设置在压电层的第1主面以及压电层的第2主面中的至少一者；第2基板，具有在第1方向上与压电层的第1主面对置的第1主面和相反侧的第2主面；以及多个引出电极。多个引出电极具备：支承部，在压电层的第1主面与第2基板的第1主面之间对第2基板进行支承；贯通过孔，贯通第2基板；第1连接盘，设置在第2基板的第1主面，与贯通过孔电连接；以及第2连接盘，设置在第2基板的第2主面，与贯通过孔电连接。在至少一个引出电极中，在第2基板的第1主面与第1连接盘之间、第2基板的第2主面与第2连接盘之间、以及贯通过孔的侧壁与第2基板之间具有绝缘体。
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公开(公告)号：CN117678159A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280050759.3
申请日：2022-06-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供在压电层难以产生裂纹的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备包括支承基板的支承构件、设置在支承构件上的压电层(14)以及设置在压电层(14)上且包括至少一对电极的功能电极(IDT电极(11))。在支承构件设置有空洞部。空洞部在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。压电层(14)包括在俯视下与空洞部重叠的膜片部(14c)以及被支承构件支承的被支承部(14d)。遍及压电层(14)上的在俯视下与膜片部(14c)和被支承部(14d)的边界(E)重叠的部分整体而设置有边界被覆电极。
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公开(公告)号：CN114467257A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066155.9
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在谋求小型化的同时还能够提高Q值且能够增大电容的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自的至少一部分埋入到压电体层(4)。
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