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公开(公告)号：CN214795413U
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202023093933.X
申请日：2020-12-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电装置和微型投影仪设备。一种微机电装置由具有腔的固定结构形成。可倾斜结构被弹性地悬挂在腔上方并且在可倾斜平面中具有主延伸部，并且能够绕平行于可倾斜平面的旋转轴线旋转。压电致动结构包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂和第二驱动臂承载相应的压电材料区并且在旋转轴线的相对侧延伸。第一驱动臂和第二驱动臂被刚性地耦合至固定结构并且被弹性地耦合至可倾斜结构。在操作期间，止动结构限制可倾斜结构相对于致动结构沿着垂直于旋转轴线的平面方向的运动。止动结构具有被形成在第一驱动臂与可倾斜结构之间的第一平面止动元件以及被形成在第二驱动臂与可倾斜结构之间的第二平面止动元件。根据本公开的实施例的微机电装置和微型投影仪设备的优点在于，对冲击具有高鲁棒性。
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公开(公告)号：CN221101146U
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202321872022.8
申请日：2023-07-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统反射镜器件。本文公开了一种微机电反射镜器件，其具有：固定结构，限定对腔进行界定的外部框架；可倾斜结构，延伸到腔中；反射表面，由可倾斜结构承载，并且在水平平面中具有主延伸部；以及致动结构，被耦合在可倾斜结构和固定结构之间。致动结构由第一致动臂对形成，使得可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一轴旋转。致动臂借助弹性耦合元件而弹性耦合到可倾斜结构，并且各自由轴承结构和压电结构形成。每个致动臂的轴承结构由第一材料的软区域形成，并且弹性耦合元件由第二材料的轴承层形成，第二材料具有比第一材料更大的刚度。
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公开(公告)号：CN218413054U
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202221030620.6
申请日：2022-04-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置。一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：支撑框架，由半导体材料形成；板，连接到支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；微反射镜，位于板上；悬臂结构，从支撑框架延伸并且耦合到板，使得悬臂结构的弯曲引起板围绕至少一个旋转轴线的旋转；压电致动器，位于悬臂结构上；焊盘，位于支撑框架上；以及间隔件结构，从支撑框架突出得比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多。利用本公开的实施例有利地使总产率提高、并且减少了成本。
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公开(公告)号：CN218181211U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202221324536.5
申请日：2022-05-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及MEMS致动器和装置。MEMS致动器包括质量块，质量块沿第一方向被悬置在衬底上方并且在限定垂直于第一方向的第二和第三方向的平面中延伸。被布置在衬底与质量块之间的弹性元件沿平行于第一方向的方向具有第一柔量，第一柔量小于沿平行于第二方向的方向的第二柔量。压电致动结构具有相对于衬底固定的部分和响应于致动电压而沿第一方向变形的部分。被耦合到压电致动结构的移动变换结构包括弹性移动转换结构，弹性移动转换结构被布置在压电致动结构与质量块之间。弹性移动转换结构在由第一和第二方向形成的平面中是柔性的，并且具有横向于第一和第二方向的第一轴线和第二惯性主轴线。保证了位移精度更高，使MEMS致动器的机械性能改进。
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公开(公告)号：CN218145865U
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202220875855.9
申请日：2022-04-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件和电子器件。一种MEMS器件，包括：半导体主体，其具有腔并且形成锚定部段；可倾斜结构，弹性地悬置在所述腔上方；第一支撑臂和第二支撑臂，支撑所述可倾斜结构；以及第一压电致动结构和第二压电致动结构，可偏置以机械地变形，从而产生所述可倾斜结构围绕旋转轴线的旋转。压电致动结构承载第一压电位移传感器和第二压电位移传感器。当可倾斜结构围绕旋转轴线旋转时，位移传感器受到相应的机械变形，并且产生彼此相位相反的相应感测信号，指示可倾斜结构的旋转。感测信号被配置成以差分方式获取。利用本公开的实施例有利地可以比使用现有技术更准确地控制可倾斜结构的运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217230242U
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202122476285.4
申请日：2021-10-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件。一种MEMS器件，包括：半导体材料主体，限定支撑结构；其中贯通式腔体被限定在半导体材料主体中并且由支撑结构包围；可移动结构，被悬置在贯通式腔体中；弹性结构，在支撑结构与可移动结构之间在贯通式腔体中延伸，弹性结构包括第一部分和第二部分并且经受机械应力；以及金属区域，在弹性结构的第一部分上延伸；其中弹性结构具有被限定在其中的掩埋腔体；以及其中掩埋腔体在弹性结构的第一部分与第二部分之间延伸。利用本公开的实施例有利地实现在可移动结构的旋转期间，导电轨不太会经受分层和/或破坏的风险，因此MEMS微反射镜具有改善的可靠性。
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公开(公告)号：CN212334582U
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201922237308.9
申请日：2019-12-13
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电设备和微型投影仪装置。一种微机电设备，包括固定结构，该固定结构限定具有可倾斜结构的腔，该可倾斜结构被弹性地悬挂在该腔中。压电驱动的致动结构，被插入在可倾斜结构和固定结构之间，其被偏置，以用于使可倾斜结构围绕第一旋转轴旋转，该第一旋转轴属于可倾斜结构所在的水平平面。致动结构包括一对驱动臂，该一对驱动臂承载压电材料的相应区域，并且通过相应的弹性解耦元件，在第一旋转轴的相对侧上弹性地耦合到该可倾斜结构。弹性解耦元件关于离开水平平面的运动表现出刚性，并且关于绕第一旋转轴的扭转表现出顺应性。根据本公开的实施例的，可以获得改进的机械性能和电气性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN219603256U
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202223188759.6
申请日：2022-11-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 提供MEMS快门和包括MEMS快门的设备。MEMS快门包括：由主要孔径穿过的半导体材料的衬底，和形成固定到衬底的支撑结构的第一半导体层和第二半导体层；多个可变形结构；多个致动器；以及多个屏蔽结构，多个屏蔽结构中的每个屏蔽结构由第一半导体层与第二半导体层之间的至少一者的对应部分形成，屏蔽结构被布置为成角度地围绕底层主要孔径以便提供对主要孔径的屏蔽，每个屏蔽结构经由对应可变形结构进一步耦合到支撑结构。每个致动器可以被控制以便引起对应屏蔽结构在相应第一位置与相应第二位置之间的旋转，从而改变对主要孔径的屏蔽。屏蔽结构的第一和第二位置使得在MEMS快门的至少一种操作条件下相邻屏蔽结构对至少部分地彼此重叠。
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公开(公告)号：CN218181210U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202221222220.5
申请日：2022-05-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜器件和光电系统。一种微机电反射镜器件，包括半导体材料管芯，包括：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载反射区域并且弹性地悬置在腔体上方，可倾斜结构具有在水平平面中的主延伸部；至少一个第一对驱动臂，被耦接至可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域；弹性悬置元件，被配置为在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦接至固定结构；压阻传感器，被配置为提供指示可倾斜结构围绕旋转轴的旋转的检测信号；以及至少一个测试结构，被集成在管芯中。利用本公开的实施例，有利地允许利用压电致动和反射镜致动的压阻感测的优点，同时相对于已知解决方案具有改进的机械和电气性能。
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公开(公告)号：CN218099782U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202220989120.9
申请日：2022-04-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电反射镜器件和微型投影仪设备。微机电反射镜器件包括限定腔的固定结构、弹性地悬置在腔上方并且承载反射表面并且具有在水平平面中的主延伸的可倾斜结构。第一对驱动臂弹性地耦接到可倾斜结构，并且承载相应的压电材料区域，该压电材料区域被偏置以引起可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一水平轴线的第一旋转轴线旋转。在第一旋转轴线处将可倾斜结构耦接到固定结构的弹性悬置元件相对于离开水平平面的移动是刚性的且相对于围绕第一旋转轴线的扭转是柔性的，还在可倾斜结构和固定结构之间延伸。弹性悬置元件沿第一旋转轴线在可倾斜结构的相对侧具有不对称的布置方式。本实用新型的实施例提供了张角增大的微机电器件。
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