MEMS微镜的闭环位置控制
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114578546B

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202111453537.X

    申请日:2021-12-01

    Abstract: 本文公开了一种用于投影系统的控制系统,包括第一减法器,第一减法器接收输入驱动信号和反馈信号、并从中生成第一差信号,反馈信号指示投影系统的准静态微镜的位置。2型补偿器接收第一差信号并从中生成第一输出信号。基于导数的控制器接收反馈信号并从中生成第二输出信号。第二减法器接收第一和第二输出信号,并从中生成第二差信号。第二差信号用于控制投影系统的反射镜驱动器。高阶谐振均衡电路从接收来自投影系统前端接收指示准静态微镜位置的预输出信号,投影系统前端信号指示准静态的位置以及、并从中生成反馈信号。

    用于控制MEMS反射镜的线性轴线的系统

    公开(公告)号:CN113835216B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202110704027.9

    申请日:2021-06-24

    Abstract: 本公开的实施例涉及用于控制MEMS反射镜的线性轴线的系统。一种设备,具有存储器和被耦合到存储器的处理电路装置。处理电路装置生成共振轴线驱动信号来以共振频率驱动微机电系统(MEMS)反射镜系统,并且生成线性轴线驱动信号来以对应于视频帧速率的线性频率驱动MEMS镜系统。生成线性轴线驱动信号包括:基于存储的形状值集合和视频帧速率的指示来使用插值生成当前形状值集合。线性轴线驱动信号使用当前形状值集合被生成。

    具有可倾斜结构和改善的控制的MEMS器件

    公开(公告)号:CN115215282A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210397660.2

    申请日:2022-04-15

    Abstract: 本公开的实施例涉及具有可倾斜结构和改善的控制的MEMS器件。一种MEMS器件,包括:半导体主体,其具有腔并且形成锚定部段;可倾斜结构,弹性地悬置在所述腔上方;第一支撑臂和第二支撑臂,支撑所述可倾斜结构;以及第一压电致动结构和第二压电致动结构,可偏置以机械地变形,从而产生所述可倾斜结构围绕旋转轴线的旋转。压电致动结构承载第一压电位移传感器和第二压电位移传感器。当可倾斜结构围绕旋转轴线旋转时,位移传感器受到相应的机械变形,并且产生彼此相位相反的相应感测信号,指示可倾斜结构的旋转。感测信号被配置成以差分方式获取。

    MEMS微镜的闭环位置控制
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114578546A

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202111453537.X

    申请日:2021-12-01

    Abstract: 本文公开了一种用于投影系统的控制系统,包括第一减法器,第一减法器接收输入驱动信号和反馈信号、并从中生成第一差信号,反馈信号指示投影系统的准静态微镜的位置。2型补偿器接收第一差信号并从中生成第一输出信号。基于导数的控制器接收反馈信号并从中生成第二输出信号。第二减法器接收第一和第二输出信号,并从中生成第二差信号。第二差信号用于控制投影系统的反射镜驱动器。高阶谐振均衡电路从接收来自投影系统前端接收指示准静态微镜位置的预输出信号,投影系统前端信号指示准静态的位置以及、并从中生成反馈信号。

    用于控制MEMS反射镜的线性轴线的系统

    公开(公告)号:CN113835216A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202110704027.9

    申请日:2021-06-24

    Abstract: 本公开的实施例涉及用于控制MEMS反射镜的线性轴线的系统。一种设备,具有存储器和被耦合到存储器的处理电路装置。处理电路装置生成共振轴线驱动信号来以共振频率驱动微机电系统(MEMS)反射镜系统,并且生成线性轴线驱动信号来以对应于视频帧速率的线性频率驱动MEMS镜系统。生成线性轴线驱动信号包括:基于存储的形状值集合和视频帧速率的指示来使用插值生成当前形状值集合。线性轴线驱动信号使用当前形状值集合被生成。

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