公开(公告)号：CN205593534U

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201520975866.4

申请日：2015-11-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·普拉蒂 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  L·G·法罗尼 ,  M·F·布鲁内托

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

Abstract: 一种微机电陀螺仪和电子系统。该微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。

公开(公告)号：CN221826184U

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202322918081.0

申请日：2023-10-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： P·卡鲁里 ,  L·G·法罗尼 ,  P·费德利 ,  L·奎利诺尼

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5649 ,  G01C19/5663

Abstract: 本公开涉及微机电陀螺仪和电子器件。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。利用本公开的实施例有利地导致零速率水平(ZRL)和比例因子(SF)的稳定性增加。

公开(公告)号：CN220819017U

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202321699428.0

申请日：2023-06-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·G·法罗尼 ,  P·费德利 ,  G·加特瑞 ,  C·瓦尔扎西纳 ,  P·卡鲁里

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。

公开(公告)号：CN219843590U

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202223436036.3

申请日：2022-12-21

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·G·法罗尼 ,  A·弗兰吉 ,  V·泽加 ,  C·加佐拉

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS装置。一种基于MEMS的装置，包括由晶胞形成并具有延伸穿过声子晶体主体的缺陷线的声子晶体主体。缺陷线内的晶胞缺少与缺陷线外的晶胞相同的声子带隙。输入MEMS谐振器被机械耦接到缺陷线的第一端，输出MEMS谐振器机械被耦接到缺陷线的第二端。缺陷线外的每个晶胞具有相同的几何形状。输入MEMS谐振器和输出MEMS谐振器各自在缺陷线外的晶胞所拥有的相同声子带隙内具有固有频率。可以存在多于一条缺陷线，并且在这种情况下，MEMS装置可以包括多于一个输入MEMS谐振器和/或多于一个输出MEMS谐振器。根据本公开的MEMS装置有助于减轻能量损耗。

公开(公告)号：CN206440281U

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201621103727.3

申请日：2016-09-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·加特瑞 ,  L·G·法罗尼 ,  C·瓦尔扎希纳

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: 提供了一种微机械检测结构(20)和MEMS传感器设备(40)。微机械检测结构(20)包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。

公开(公告)号：CN216869584U

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202122935046.0

申请日：2021-11-26

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·奎利诺尼 ,  L·G·法罗尼

IPC: G01C25/00

Abstract: 本公开的实施例涉及微机电陀螺仪和电子系统。一种微机电陀螺仪，其特征在于，包括：支撑结构；感测质量块，其以沿驱动方向以及感测方向的自由度耦合到支撑结构，驱动方向与感测方向彼此垂直；校准结构，其面向感测质量块、并且通过具有平均宽度的间隙与感测质量块间隔开，校准结构相对于感测质量块可移动，使得校准结构的位移引起间隙的平均宽度的变化；以及校准致动器，其被配置为控制校准结构相对于感测质量块的相对位置和间隙的平均宽度。本公开的实施例有利地抵消或在任何情况下显著降低零率输出的温度漂移。

公开(公告)号：CN212658265U

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202021139739.8

申请日：2020-06-18

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·奎利诺尼 ,  L·G·法罗尼 ,  M·F·布鲁内托

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5776 ,  G01C25/00

Abstract: 本公开涉及MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减，并且与储存的差值进行比较，以供应比例因子的变化信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207816283U

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201720686289.6

申请日：2017-06-13

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  L·G·法罗尼 ,  C·科米 ,  V·泽加

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769

Abstract: 一种频率调制MEMS三轴陀螺仪，具有：两个可移动质量块；第一和第二驱动体，通过弹性元件联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在第一方向上是刚性的并且在横向于第一方向的第二方向上是柔顺的；以及第三和第四驱动体，通过弹性元件联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在第二方向上是刚性的并且在第一方向上是柔顺的。第一和第二驱动元件联接至第一和第二驱动体，用于使得这些可移动质量块在第一方向上反相地平移。第三和第四驱动元件联接至第三和第四驱动体，用于使得这些可移动质量块在第二方向上且反相地平移。平面外驱动元件联接至第一和第二可移动质量块，用于使得在第三方向上反相地平移。移动感测电极根据外部角速度生成频率信号。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206514863U

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201621101959.5

申请日：2016-09-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·加特瑞 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  L·G·法罗尼

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01C19/5747 ,  G01C19/5712

Abstract: 本实用新型涉及一种MEMS多轴陀螺仪(42)和一种电子设备。多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a‑14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置；感测块布置，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a‑25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a‑26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。