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公开(公告)号：CN112113551A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010561463.0
申请日：2020-06-18
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本公开涉及具有实时校准比例因子的MEMS陀螺仪及其校准方法。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减，并且与储存的差值进行比较，以供应比例因子的变化信息。
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公开(公告)号：CN106066175B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN106931957A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610509398.0
申请日：2016-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司 , 意法半导体国际有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本公开涉及抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法。其中，一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。
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公开(公告)号：CN110514190A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN110514190B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106931957B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201610509398.0
申请日：2016-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司 , 意法半导体国际有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本公开涉及抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法。其中，一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。
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公开(公告)号：CN106066175A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN212658265U
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202021139739.8
申请日：2020-06-18
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本公开涉及MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减，并且与储存的差值进行比较，以供应比例因子的变化信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205991806U
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201620679379.8
申请日：2016-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司 , 意法半导体国际有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: G01C19/5776 , G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 本实用新型涉及微机电陀螺仪和电子系统。其中一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，
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公开(公告)号：CN205593534U
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201520975866.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5762
Abstract: 一种微机电陀螺仪和电子系统。该微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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