公开(公告)号：CN102216240A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200980145268.1

申请日：2009-11-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 詹尼弗·Y·孙 ,  段仁官 ,  肯尼思·S·柯林斯

IPC: C04B41/85 ,  C04B41/81 ,  C04B41/45 ,  C04B35/553 ,  C04B35/01

CPC classification number: C03C10/16 ,  C03C3/247 ,  C03C3/325 ,  C03C8/24 ,  C03C2204/00 ,  C04B35/119 ,  C04B37/005 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/80 ,  C04B2237/06 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/10 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/60 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  H01L21/6719

Abstract: 本发明的实施例与适用于等离子体处理腔室中的设备的部件结构相关。使用含氟氧化物的釉料、玻璃陶瓷及其组合物将该部件结构的部分接合在一起。该接合材料抗含卤素的等离子体并且显现所需求的机械特性。

公开(公告)号：CN206173434U

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201590000236.3

申请日：2015-01-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 段仁官 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  周建华

IPC: C23C14/22 ,  C23C14/28 ,  C23C14/54

CPC classification number: B32B37/24 ,  B32B38/0008 ,  B32B2037/246 ,  B32B2038/0016 ,  B32B2264/107 ,  B32B2315/02 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68757 ,  H05B3/143 ,  H05B3/42

Abstract: 本实用新型公开了一种包含扩散结合的耐等离子体的加热器板的基板支撑件。本实用新型的实施方式总体涉及具有在其上的保护涂层的受热的基板支撑件。所述保护涂层是由纯氧化钇或主要为氧化钇的合金制成。所述保护涂层被扩散结合到所述基板支撑件的加热器板。由于所述扩散结合，两个不同的含硅层形成在所述加热器板与所述保护涂层之间。