低不连续性空气共面射频微波探针及制备方法

    公开(公告)号:CN119881405A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510043481.2

    申请日:2025-01-10

    Abstract: 本发明涉及微波电路测试设备技术领域,尤其涉及一种低不连续性空气共面射频微波探针及制备方法,本发明实施方式公开了一种低不连续性空气共面射频微波探针,其为了降低介质支撑柱对探针不连续性的影响,采用打孔的形式来降低支撑介质的有效介电常数,使其更接近空气,降低不连续性。本发明实施方式对于内部多级宽带匹配所引入的不连续性电容,通过仿真优化引入高阻传输线对不连续性电容进行了补偿。本发明实施方式对于内部唯一的互联焊点,对探针本体针尖尾部进行仿真优化来减小焊点带来的阻抗阶跃,降低不连续性。本发明实施方式探针本体针尖采用玻璃带线共晶焊定位夹持,有效保证传输针和地针之间的间距,保证测试针尖强度。

    一种滤波器件和滤波电路
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115412055A

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202210960582.2

    申请日:2022-08-11

    Abstract: 本发明提供一种滤波器件和滤波电路。该滤波器件包括:芯片滤波器、第一FBAR谐振器、第二FBAR谐振器、第一匹配电感、第二匹配电感和第三匹配电感;第一匹配电感、第二匹配电感、第三匹配电感和芯片滤波器依次串联连接;第一FBAR谐振器一端连接于第一匹配电感与第二匹配电感之间;第二FBAR谐振器一端连接于第二匹配电感与第三匹配电感之间;第一匹配电感悬空一端为输入端;芯片滤波器第一端与第三匹配电感连接第一FBAR谐振器和第二FBAR谐振器的串联谐振频率在芯片滤波器的阻带近端的频率范围内。本发明能够通过设置Q值高的FBAR谐振器,在芯片滤波器阻带近端产生传输零点、形成陷波,FBAR谐振器的串联谐振频率决定传输零点频率,提高了芯片滤波器的阻带近端抑制度。

    凋零模式结构微机械滤波器

    公开(公告)号:CN114094979A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111306761.6

    申请日:2021-11-05

    Abstract: 本发明提供了一种凋零模式结构微机械滤波器,属于半导体封装技术领域,包括上介质层以及下介质层,上介质层设有上层接地金属化通孔、信号馈入部分和信号馈出部分;下介质层键合于上介质层的下面,下介质层设有下层接地金属化通孔和下层电磁屏蔽金属化通孔,下层电磁屏蔽金属化通孔作为凋零模式谐振柱;信号馈入部分和信号馈出部分与凋零模式谐振柱之间不通过物理连通;上介质层和下介质层通过上层接地金属化通孔和下层接地金属化通孔实现共地。本发明将凋零模式结构与微机械滤波器相结合,将MEMS工艺应用到凋零模式结构中,并将谐振耦合结构进行变形和重构,具备窄带宽和超宽带全面覆盖、体积小、相位一致性高、谐波抑制远、Q值高的特点。

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