增强散热的半导体激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN102593711A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210075617.0

    申请日:2012-03-21

    Abstract: 本发明涉及一种半导体激光器,特别是增强腔面散热的半导体激光器及其制备方法。半导体激光器包括衬底上的下金属化层,下限制层,下波导层,下过渡层,量子阱层,上过渡层,上波导层,上限制层,上金属化层,以及上下金属电极,在半导体激光器前后腔面上设有一层碳纳米管薄膜,在前后腔面的碳纳米管薄膜上沉积增透膜和高反射膜。制备方法是沿芯片边缘线解理,在前后腔面上制备一层碳纳米管薄膜;在碳纳米管薄膜上前腔面沉积增透膜,后腔面沉积高反射膜;芯片焊接到热沉,压焊电极引线。本发明防止腔面光学灾变,提高腔面的损伤阈值,有利于提高半导体激光器的功率与寿命。

    一种基于环形外腔的锥形半导体激光器

    公开(公告)号:CN110233421B

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201910620096.4

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于环形外腔的锥形半导体激光器,包括锥形激光器、衍射光栅、分束镜和全反镜组;所述锥形激光器包括前腔面、后腔面、脊形波导区和锥形增益放大区;衍射光栅位于锥形激光器的出光方向;分束镜位于衍射光栅的衍射光方向;全反镜组将分束镜反射的光变向传输到锥形激光器的后腔面,所述锥形激光器从前腔面发出激光入射到衍射光栅,经衍射光栅衍射传输至分束镜分光,大部分光直接输出,小部分光反射后经过全反镜组变向传输到锥形激光器的后腔面,经过锥形激光器内部的脊形波导区选基横模及锥形增益放大区功率放大再出射,形成循环。采用本发明的一种基于环形外腔的锥形半导体激光器,可以在保持基于环形外腔的锥形半导体激光器高光束质量的同时,产生窄谱宽、可调谐的高亮度激光。

    一种紧凑化布局的外腔反馈式二极管激光光谱合成光学系统

    公开(公告)号:CN104638513A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510101260.2

    申请日:2015-03-09

    Abstract: 本发明公开了一种紧凑化布局的外腔反馈式二极管激光光谱合成光学系统,包括二极管激光器、慢轴转换柱透镜、衍射光栅、聚焦柱透镜和外腔镜,所述衍射光栅位于慢轴转换柱透镜的后焦面上;所述外腔镜与衍射光栅之间设置一个聚焦柱透镜,所述聚焦柱透镜与慢轴转换柱透镜组成透镜组,所述透镜组的等效前焦面位于慢轴转换柱透镜前端一倍焦距以内,且二极管激光器位于透镜组的等效前焦面上,所述外腔镜位于透镜组的等效后焦面;所述二极管激光器发出的激光经过慢轴转换柱透镜、衍射光栅及聚焦柱透镜后,光束将平行出射,且垂直入射到外腔镜上,经外腔镜反射后,激光经过原光路返回原发光单元,形成完整的振荡回路;本发明使二极管激光光谱合成系统减小近一半的尺寸,从而降低了激光器系统的整体体积规模,进一步实现了系统的紧凑化布局。

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