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公开(公告)号：CN101604627A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910164535.1
申请日：2005-04-28
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/073
CPC分类号： H01L21/02686 , B23K26/04 , B23K26/0738 , H01L21/02532 , H01L21/02689 , H01L21/2026 , H01L21/268 , H01L27/1285
摘要： 本发明提供一种激光辐射方法，用于即使被辐射物的厚度不均匀也能够对被辐射物进行均匀的激光辐射。在对具有不均匀厚度的被辐射物进行辐射的情况下，通过使用自动聚焦机构，可以在执行激光辐射的同时使被辐射物和透镜之间的距离保持不变，其中该透镜用于使激光束在被辐射物的表面上聚光。特别是，在用激光束对被辐射物进行辐射时，通过沿被辐射物上形成的光斑的第一方向和第二方向相对于激光束移动该被辐射物，在被辐射物沿第一和第二方向移动被辐射物之前，由自动聚焦机构控制被辐射物和透镜之间的距离。
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公开(公告)号：CN100483180C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510072607.1
申请日：2005-05-16
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： G02B27/00 , H01L21/027 , G02B3/00
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K15/0093 , B23K15/10 , B23K26/0648 , B23K26/0732 , B23K26/0738 , B23K2103/56 , G02B3/0062 , G02B27/0927 , G02B27/0961 , G02B27/0966
摘要： 本发明的目的是提供一种激光辐射技术，其利用柱面透镜阵列、以强度分布均匀的激光束来照射辐射表面而不受原束强度分布影响。激光振荡器发射的激光束被两种柱面透镜阵列分割成多个光束，它们是能量强度分布彼此相反的两种线性激光束，且此两种线性激光束沿短轴方向被叠加。这就能够在辐射表面上形成强度分布均匀的线性激光束。
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公开(公告)号：CN101258112A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680013907.5
申请日：2006-04-19
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： H·E·梅内格斯
IPC分类号： C03C15/00
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/06 , B23K26/0736 , B23K26/0738 , B23K26/0869 , B23K26/0892 , B23K26/40 , B23K2103/50
摘要： 一种刻痕平板玻璃的方法，包括移动光学组件，其适应于引导源自辐射源的电磁辐射。该方法也包括使电磁辐射照射到玻璃板上，在玻璃板上形成细长的加热区域，其中从辐射源到玻璃板的距离在移动过程中是基本恒定的。本文也描述了一种装置。
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公开(公告)号：CN100394617C
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200410003656.5
申请日：2004-02-05
申请人： 三星SDI株式会社
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/00 , H05B33/00
CPC分类号： H01L21/02532 , B23K26/073 , B23K26/0732 , B23K26/0738 , H01L21/0268 , H01L27/1285 , H01L27/1296 , H01L29/04 , H01L29/78672 , H01L29/78696 , Y10S438/945
摘要： 本发明公开了一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜具有彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm2，还公开了一种多晶硅薄膜的制造方法，以及用该方法制造的薄膜晶体管。
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公开(公告)号：CN1725441A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510081724.4
申请日：2005-04-28
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/324 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02686 , B23K26/04 , B23K26/0738 , H01L21/02532 , H01L21/02689 , H01L21/2026 , H01L21/268 , H01L27/1285
摘要： 本发明提供一种激光辐射方法，用于即使被辐射物的厚度不均匀也能够对被辐射物进行均匀的激光辐射。在对具有不均匀厚度的被辐射物进行辐射的情况下，通过使用自动聚焦机构，可以在执行激光辐射的同时使被辐射物和透镜之间的距离保持不变，其中该透镜用于使激光束在被辐射物的表面上聚光。特别是，在用激光束对被辐射物进行辐射时，通过沿被辐射物上形成的光斑的第一方向和第二方向相对于激光束移动该被辐射物，在被辐射物沿第一和第二方向移动被辐射物之前，由自动聚焦机构控制被辐射物和透镜之间的距离。
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公开(公告)号：CN1714459A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN03802916.2
申请日：2003-01-30
申请人： 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司
CPC分类号： B23K26/073 , B23K26/0732 , B23K26/0738 , C30B29/403 , C30B29/406 , C30B29/42 , C30B33/00 , H01L21/2007 , H01L21/76251 , H01L24/83 , H01L33/0079
摘要： 本发明说明用于制造半导体器件尤其是薄层器件的方法，其中通过激光光束照射把半导体层从基片分离开，所述激光光束具有平台样的空间光束特性曲线。此外在分离前把半导体层设置在带有适配的热膨胀系数的载体上。本发明特别适用于含有氮化合物半导体的半导体层。
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公开(公告)号：CN1696763A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200510072607.1
申请日：2005-05-16
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： G02B27/00 , H01L21/027 , G02B3/00
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K15/0093 , B23K15/10 , B23K26/0648 , B23K26/0732 , B23K26/0738 , B23K2103/56 , G02B3/0062 , G02B27/0927 , G02B27/0961 , G02B27/0966
摘要： 本发明的目的是提供一种激光辐射技术，其利用柱面透镜阵列、以强度分布均匀的激光束来照射辐射表面而不受原束强度分布影响。激光振荡器发射的激光束被两种柱面透镜阵列分割成多个光束，它们是能量强度分布彼此相反的两种线性激光束，且此两种线性激光束沿短轴方向被叠加。这就能够在辐射表面上形成强度分布均匀的线性激光束。
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公开(公告)号：CN1649109A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200410091294.X
申请日：2004-12-01
申请人： 株式会社日立显示器
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/477 , H01L21/20 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02691 , B23K26/0738 , C30B13/24 , C30B29/06 , H01L21/02678 , H01L21/02683 , H01L21/2026 , H01L29/04 , H01L29/78675
摘要： 在用光束整形器把由调制器调制过的激光整形成细长形的光束时，使光束整形器整形为细长形的光束沿扫描方向的尺寸为2～10μm、2～4μm更好，扫描速度为300～1000mm/s、500～1000mm/s更好，从而使激光能源利用效率高，而且能够不易对硅薄膜产生损伤。这样，就能够以高产量在扫描照射激光的基板上的规定区域内得到横方向生长结晶(带状结晶)的区域。
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公开(公告)号：CN1487522A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03154918.7
申请日：2003-08-25
申请人： 日本发条株式会社
CPC分类号： B23K26/0738 , B21D11/20 , Y10T29/49041
摘要： 一种薄板的成形方法、薄板以及悬梁的校正装置及其校正方法，可以高精度使悬梁的载荷弯曲部以及角度调整部折曲。在悬梁的载荷弯曲部(202)以及角度调整部上在折曲方向上设定激光照射区域(211)，对该激光照射区域(211)照射给定长度以及形状的激光。这样，由于载荷弯曲部(202)以及角度调整部按照激光照射弯曲，通过控制该激光照射可以高精度进行弯曲，可以获得适当的载荷以及角度。
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